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電子ビーム励起プロセシングを対象とした分子シミュレーションの開発

Research Project

Project/Area Number 20656058
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Electron device/Electronic equipment
Research InstitutionOsaka Prefecture University

Principal Investigator

安田 雅昭  Osaka Prefecture University, 工学研究科, 准教授 (30264807)

Project Period (FY) 2008 – 2009
Project Status Completed (Fiscal Year 2009)
Budget Amount *help
¥3,500,000 (Direct Cost: ¥3,500,000)
Fiscal Year 2009: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,300,000)
Fiscal Year 2008: ¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Keywords電子ビーム / ナノ材料 / 電子励起 / 分子動力学法 / 照射効果 / ナノカーボン / 励起プロセシング
Research Abstract

電子ビーム励起による材料改質を再現できる分子シミュレーションの開発を行った。電子衝突過程は衝突断面積に基づくモンテカルロ法により分子シミュレーションに導入した。すなわち、衝突の種類を衝突断面積により確率的に決定した。弾性衝突が起こった場合は二体衝突モデルにより照射電子から被衝突原子へ運動量を移行させた。また、非弾性衝突が起こった場合は被衝突原子周辺に一時的に遮蔽クーロン斥力を付加し、電離により電荷のバランスが崩れた状態をモデル化した。被衝突原子はランダムに選択し、電子照射下の構造変化を分子動力学法により追跡した。
また、計算対象となる材料を多元材料に拡張するため、各元素の衝突断面積に基づき衝突を受ける元素を確率的に決定する過程をシミュレーションに導入した。この多元材料への拡張については、シリカガラスを対象に弾性衝突過程についてのみシミュレーションへの導入が終了した。多元材料への非弾性衝突過程の導入は今後の課題である。
開発したシミュレーションによりナノカーボン材料を対象に電子ビーム励起プロセスの解析を行ったところ、高エネルギーでの電子ビーム照射では非弾性衝突(電子励起)過程が欠陥生成を抑制する働きをすることが分かった。低エネルギーでの電子ビーム照射では電子励起過程が欠陥構造を部分的に修復し、再結晶化を促進することが分かった。また、開発したシミュレーションにより電子ビーム照射によるナノカーボン材料加工を試行したところ、電子照射を受けた部位の照射損傷生成が電子励起により抑制され、結晶性の比較的良い状態で材料加工が再現された。これらの知見は実験的に得ることが困難であるため、開発したシミュレーションはナノ材料の電子ビーム加工や改質を原子レベルで理解する上で有効な解析ツールとなることが期待できる。

Report

(2 results)
  • 2009 Annual Research Report
  • 2008 Annual Research Report
  • Research Products

    (12 results)

All 2010 2009 2008

All Presentation (12 results)

  • [Presentation] ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム加工の分子シミュレーション(III)2010

    • Author(s)
      和久田真也, 他
    • Organizer
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      神奈川県 平塚市
    • Year and Date
      2010-03-18
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] Computational study on defect formation in electron-irradiated carbon nanomaterials2009

    • Author(s)
      R.Mimura, et al.
    • Organizer
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
    • Place of Presentation
      米国 マウイ島
    • Year and Date
      2009-12-08
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム誘起構造変化の分子シミュレーション2009

    • Author(s)
      和久田真也, 他
    • Organizer
      第50回真空に関する連合講演会
    • Place of Presentation
      東京都
    • Year and Date
      2009-11-05
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] Simulation of structural modification of carbon nanotubes with electronbeam2009

    • Author(s)
      M.Yasuda, et al.
    • Organizer
      35th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2009
    • Place of Presentation
      ベルギー ゲント
    • Year and Date
      2009-09-29
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] Simulation of electron irradiation effects in carbon nanotubes-Introduction of relativistic effect-2009

    • Author(s)
      M.Yasuda, et al.
    • Organizer
      5th International Conference on Materials for Advanced Technologies
    • Place of Presentation
      シンガポール
    • Year and Date
      2009-06-30
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] 電子線照射によるナノカーボン構造変化の分子動力学解析2009

    • Author(s)
      和久田真也, 他
    • Organizer
      日本顕微鏡学会第65回学術講演会
    • Place of Presentation
      宮城県 仙台市
    • Year and Date
      2009-05-27
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] Molecular dynamics study on bending deformation of carbon nanotubesby electron beam irradiation2009

    • Author(s)
      M.Yasuda, et al.
    • Organizer
      The 53rd International Conf.on Electron, Ion, Photon Beam Technology and Nanofabrication
    • Place of Presentation
      米国 マルコアイランド
    • Year and Date
      2009-05-27
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] 電子線照射下のカーボンナノベアリングの動的特性解析2009

    • Author(s)
      三村亮介, 他
    • Organizer
      第14回分子動力学シンポジウム
    • Place of Presentation
      愛媛県 松山市
    • Year and Date
      2009-05-22
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム加工の分子シミュレーション(II)2009

    • Author(s)
      三村亮介, 他
    • Organizer
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      茨城県つくば市
    • Year and Date
      2009-03-30
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] Simulation of Structural changes in Carbon Nanotubes under Electron Beam Irradiation2008

    • Author(s)
      M. Yasuda, et al.
    • Organizer
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference
    • Place of Presentation
      韓国済州島
    • Year and Date
      2008-11-06
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] Molecular Dynamics Study on Electron Energy Dependence of Electron Irradiation Damages in Graphite2008

    • Author(s)
      T. Majima, et al.
    • Organizer
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference
    • Place of Presentation
      韓国済州島
    • Year and Date
      2008-11-06
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム加工の分子シミュレーション2008

    • Author(s)
      三村亮介, 他
    • Organizer
      第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      愛知県春日井市
    • Year and Date
      2008-09-04
    • Related Report
      2008 Annual Research Report

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Published: 2008-04-01   Modified: 2016-04-21  

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