Real-time analysis of silicide formation processes of refractory metals controlled by surfactant effects

• Project/Area Number: 20760021
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Thin film/Surface and interfacial physical properties
• Research Institution: Yokohama National University
• Principal Investigator: OHNO Shinya Yokohama National University, 工学研究院, 特別研究教員 (00377095)
• Project Period (FY): 2008 – 2009
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2009)
• Budget Amount: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2009: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000); Fiscal Year 2008: ¥3,120,000 (Direct Cost: ¥2,400,000、Indirect Cost: ¥720,000)
• Keywords: 表面・界面物性 / シリコン / 酸化反応 / シリサイド / 光電子分光 / 走査トンネル顕微鏡

Research Abstract

The objective of the present research is to investigate surfactant effect of oxygen or hydrogen on silicide formation processes of refractory metals. In 2009, defect formation process on titanium and oxygen coadsorbed Si(001) surfaces was clarified. In 2010, effect of oxygen on titanium silicide formation processes on Si(001), Si(311) and Si(120) surfaces was systematically investigated.

Research Products

• [Journal Article] Reaction kinetics in the rapid oxide growth on Si(001)-(2x1) probed with reflectance difference spectroscopy (2010)
  • Author(s): S. Ohno, T. Ochiai, M. Morimoto, T. Suzuki, K. Shudo, M. Tanaka
  • Journal Title: Jpn. J. Appl. Phys. (in press)
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Reaction kinetics in the rapid oxide growth on Si(001)-(2x1)probed with reflectance difference spectroscopy (2010)
  • Author(s): S.Ohno
  • Journal Title: Jpn.J.Appl.Phys. 49(in press.)
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Modification by H-termination in growth process of titanium silicide on Si(001)-(2x1) observed with scanning tunneling microscopy (2009)
  • Author(s): T. Aoki, K. Shudo, K. Sato, S. Ohno, H. Nishioka, T. Iida, M. Toramaru, M. Tanaka
  • Journal Title: Appl. Surf. Sci. 256 Pages: 1191-1195
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 酸素存在下におけるSi(001)-(2x1)上でのチタンシリサイド形成の走査トンネル顕微鏡(STM)観察 (2009)
  • Author(s): 佐藤和成, 首藤健一, 青木健志, 飯田貴則, 西岡広明, 寅丸雅光, 大野真也, 田中正俊
  • Journal Title: J. Vac. Soc. Jpn. 52 Pages: 461-464
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Modification by H-termination in growth process of titanium silicide on Si(001)-2x1 observed with scanning tunneling microscopy (2009)
  • Author(s): T.Aoki
  • Journal Title: Appl. Surf. Sci. 256 Pages: 1191-1195
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 酸素存在下におけるSi(001)00-2x1上でのチタンシリサイド形成の走査トンネル顕微鏡(STM)観察 (2009)
  • Author(s): 佐藤和成
  • Journal Title: J.Vac.Soc.Jpn. 52 Pages: 461-464
  • Peer Reviewed
• [Presentation] 表面差分反射分光と反射率差分光を用いたSi(001)酸化膜形成過程と酸窒化膜形成過程のリアルタイム観測 (2010)
  • Author(s): 大野真也, 三戸部史岳, 小泉順也, 落合俊之, 鈴木隆則, 首藤健一, 田中正俊
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 東海大学湘南キャンパス
• [Presentation] 表面差分反射分光と反射率差分光を用いたSi(001)酸化膜形成過程と酸窒化膜形成過程のリアルタイム観測 (2010)
  • Author(s): 大野真也
  • Organizer: 応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 東海大学湘南キャンパス
• [Presentation] 酸素吸着Ti/Si表面における高温酸化状態の面方位依存性 (2009)
  • Author(s): 市川雄一, 島津知彦, 大野真也, 首藤健一, 原沢あゆみ, 柿崎明人, 田中正俊
  • Organizer: 真空に関する連合講演会
  • Place of Presentation: 学習院大学
• [Presentation] 反射分光によるSi(001)表面における酸化過程と酸窒化過程の比較検討 (2009)
  • Author(s): 大野真也, 落合俊之, 鈴木隆則, 首藤健一, 田中正俊
  • Organizer: 真空に関する連合講演会
  • Place of Presentation: 学習院大学
• [Presentation] 酸化Ti/Si表面ナノ構造のSTM/STS測定 (2009)
  • Author(s): 青木健志, 首藤健一, 佐藤和成, 大野真也, 田中正俊
  • Organizer: 真空に関する連合講演会
  • Place of Presentation: 学習院大学
• [Presentation] Real-time observation of NO reaction processes on Si(001)-(2x1) studied by means of surface reflectance spectroscopy 11th International Conference on Electronic Spectroscopy & Structure (2009)
  • Author(s): 大野真也, 落合俊之, 鈴木隆則, 首藤健一, 田中正俊
  • Organizer: Nara
  • Place of Presentation: Japan
• [Presentation] 酸素吸着Ti/Si(001)表面の構造と電子状態 (2009)
  • Author(s): 大野真也, 山崎紀明, 中山史人, 市川雄一, 佐藤和成, 青木健志, 首藤健一, 田中正俊, 奥田太一, 原沢あゆみ, 松田巌, 柿崎明人
  • Organizer: II日本物理学会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
• [Presentation] Ti/Si表面のナノ構造と局所電子状態 (2009)
  • Author(s): 青木健志, 首藤健一, 佐藤和成, 大野真也, 田中正俊
  • Organizer: 応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 富山大学
• [Presentation] The effect of oxygen adsorption on titanium silicide formation on Si(001)-(2x1) European Conference on Surface Science(ECOSS26) (2009)
  • Author(s): 大野真也, 山崎紀明, 中山史人, 市川雄一, 佐藤和成, 首藤健一, 田中正俊, 奥田太一, 原沢あゆみ, 松田巌, 柿崎明人
  • Organizer: Parma
  • Place of Presentation: Italy
• [Presentation] Si(001)表面におけるO2, NO, CO反応過程のリアルタイム光学計測 (2009)
  • Author(s): 大野真也, 落合俊之, 小泉順也, 三戸部史岳, 鈴木隆則, 首藤健一, 田中正俊
  • Organizer: 応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 筑波大学筑波キャンパス
• [Presentation] Si(001)表面におけるNO吸着構造の反射分光による解析 (2009)
  • Author(s): 大野真也, 落合俊之, 鈴木隆則, 首藤健一, 田中正俊
  • Organizer: 日本物理学会
  • Place of Presentation: 立教大学池袋キャンパス
• [Presentation] Si(001)表面におけるO2, NO, CO反応過程の反射分光による検討 (2009)
  • Author(s): 落合俊之, 大野真也, 三戸部史岳, 小泉順也, 鈴木隆則, 首藤健一, 田中正俊
  • Organizer: 日本物理学会
  • Place of Presentation: 立教大学池袋キャンパス
• [Presentation] Si(001)表面におけるO_2,NO,CO反応過程の反射分光による検討 (2009)
  • Author(s): 落合俊之
  • Organizer: 日本物理学会
  • Place of Presentation: 立教大学池袋キャンパス
• [Presentation] Si(001)表面におけるO_2,NO,CO反応過程のリアルタイム光学計測 (2009)
  • Author(s): 大野真也
  • Organizer: 応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 筑波大学筑波キャンパス
• [Presentation] The effect of oxygen adsorption on titanium silicide formation on Si(001)-(2x1) (2009)
  • Author(s): S.Ohno
  • Organizer: European Conference on Surface Science(ECOSS26)
  • Place of Presentation: Parma, Italy
• [Presentation] 酸素吸着Ti/Si(001)表面の構造と電子状態II (2009)
  • Author(s): 大野真也
  • Organizer: 日本物理学会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
• [Presentation] Real-time observation of NO reaction processes on Si(001)-(2x1)studied by means of surface reflectance spectroscopy (2009)
  • Author(s): S.Ohno
  • Organizer: 11th International Conference on Electronic Spect roscopy & Structure
  • Place of Presentation: Nara, Japan
• [Presentation] Electronic states of titanium silicide and titamum-silicon-oxide on Si(001) (2008)
  • Author(s): 中山史人
  • Organizer: International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-5)
  • Place of Presentation: 早稲田大学
  • Year and Date: 2008-11-11
• [Presentation] STM observation of titanium silicide formation on Si(001)-2x1 in the presence of oxygen (2008)
  • Author(s): 佐藤和成
  • Organizer: International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-5)
  • Place of Presentation: 早稲由大学
  • Year and Date: 2008-11-10
• [Presentation] Modification of titanium silicide growth by H-termination on Si(001)-2x1 observed with scanning tunneling microscopy (2008)
  • Author(s): 青木健志
  • Organizer: 4^<th> Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia(VASSCAA-4)
  • Place of Presentation: くにびきメッセ松江市
  • Year and Date: 2008-10-29
• [Presentation] Effect of oxygen coadsorption on titanium silicide fomation on Si(001) studied with photoemission spectroscopy (2008)
  • Author(s): 山崎紀明
  • Organizer: 4^<th> Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia(VASSCAA-4)
  • Place of Presentation: くにびきメッセ松江市
  • Year and Date: 2008-10-28
• [Presentation] 酸素吸着Ti/Si(001)表面の構造と電子状態 (2008)
  • Author(s): 大野真也
  • Organizer: 日本物理学会
  • Place of Presentation: 岩手大学
  • Year and Date: 2008-09-22
• [Presentation] Si(001)表面におけるTiシリサイド形成過程へのサーファクタント効果の検討 (2008)
  • Author(s): 山崎紀明
  • Organizer: 日本物理学会
  • Place of Presentation: 岩手大学
  • Year and Date: 2008-09-22
• [Presentation] Electronic states of titanium silicide and titanium-silicon-oxide on Si(001) International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-5) (2008)
  • Author(s): 中山史人, 山崎紀明, 大野真也, 寅丸雅光, 市川雄一, 山崎貴彦, 首藤健一, 田中正俊, 奥田太一, 原沢あゆみ, 松田巌, 柿崎明人
  • Organizer: International Conference Center, Waseda University
  • Place of Presentation: Tokyo
• [Presentation] STM observation of titanium silicide formation on Si(001)-2x1 in the presence of oxygen International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-5) (2008)
  • Author(s): 佐藤和成, 寅丸雅光, 飯田貴則, 青木健志, 西岡広明, 首藤健一, 大野真也, 田中正俊
  • Organizer: International Conference Center, Waseda University
  • Place of Presentation: Tokyo
• [Presentation] 酸素存在下におけるSi(001)-2x1上でのチタンシリサイド形成の走査トンネル顕微鏡(STM)観察 (2008)
  • Author(s): 佐藤和成, 飯田貴則, 西岡広明, 青木健志, 首藤健一, 大野真也, 田中正俊
  • Organizer: 真空に関する連合講演会
  • Place of Presentation: くにびきメッセ松江市
• [Presentation] Modification of titanium silicide growth by H-termination on Si(001)-2x1 observed with scanning tunneling microscopy 4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia(VASSCAA-4) (2008)
  • Author(s): 青木健志, 佐藤和成, 西岡広明, 飯田貴則, 首藤健一, 大野真也, 田中正俊
  • Organizer: Matsue
  • Place of Presentation: Japan
• [Presentation] Effect of oxygen coadsorption on titanium silicide formation on Si(001) studied with photoemission spectroscopy 4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia(VASSCAA-4) (2008)
  • Author(s): 山崎紀明, 中山史人, 大野真也, 寅丸雅光, 市川雄一, 山崎貴彦, 首藤健一, 田中正俊, 奥田太一, 原沢あゆみ, 松田巌, 柿崎明人
  • Organizer: Matsue
  • Place of Presentation: Japan
• [Presentation] Si(001)表面におけるTiシリサイド形成過程へのサーファクタント効果の検討 (2008)
  • Author(s): 山崎紀明, 中山史人, 大野真也, 寅丸雅光, 市川雄一, 山崎貴彦, 飯田貴則, 佐藤和成, 青木健志, 西岡広明, 首藤健一, 田中正俊, 奥田太一, 原沢あゆみ, 松田巌, 柿崎明人
  • Organizer: 日本物理学会
  • Place of Presentation: 岩手大学上田キャンパス
• [Presentation] 酸素吸着Ti/Si(001)表面の構造と電子状態 (2008)
  • Author(s): 大野真也, 寅丸雅光, 飯田貴則, 佐藤和成, 青木健志, 山崎紀明, 中山史人, 市川雄一, 山崎貴彦, 首藤健一, 田中正俊, 奥田太一, 原沢あゆみ, 松田巌, 柿崎明人
  • Organizer: 日本物理学会
  • Place of Presentation: 手大学上田キャンパス