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マイクロ・ナノ構造光学素子の大面積ガラス成形における原子スケールの界面制御

Research Project

Project/Area Number 20F20368
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section外国
Review Section Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Research InstitutionKeio University

Principal Investigator

閻 紀旺  慶應義塾大学, 理工学部(矢上), 教授 (40323042)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) ZHANG LIN  慶應義塾大学, 理工学部, 外国人特別研究員
Project Period (FY) 2020-11-13 – 2023-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2022)
Budget Amount *help
¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Fiscal Year 2022: ¥400,000 (Direct Cost: ¥400,000)
Fiscal Year 2021: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2020: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Keywordsガラス成形 / 金型加工 / 超精密切削 / グラフェン成膜 / 微細構造表面 / 超硬合金 / SiC / レンズアレイ / プレス成形 / 自由曲面
Outline of Research at the Start

本研究では、単結晶ダイヤモンド工具を用いた微細切削による自由曲面金型加工技術と金型表面へのグラフェン成膜とガラス成形技術を融合させ、マイクロ・ナノスケールの光学素子の大面積成形を実現させる。本研究により、バイオニック構造やマイクロレンズアレイ、低反射表面、特定波長吸収表面など様々な機能性表面の製作が実現でき、光学製品の高機能化および低コスト化が期待できる。

Outline of Annual Research Achievements

光学デバイスなどに用いられているガラス材料はそれ自体で固有の機能を有しているが、その材料表面にマイクロ・ナノレベルの規則的な微細構造を形成することにより、表面機能が飛躍的に向上されることが知られている。本研究では、単結晶ダイヤモンド工具を用いて切削した自由曲面金型表面へグラフェン成膜を行い、ガラスプレス成形技術へ応用し、マイクロ・ナノスケールの微細構造の大面積成形を行う際の界面現象を原子レベルで解明する。本研究により、バイオニック構造やマイクロレンズアレイ、低反射表面など様々な機能性表面の高精度加工およびその低コスト化が期待できる。2022年度では、前年度で切削加工した金型表面へグラフェン成膜を行い、異なる条件での成膜特性の調査を行い、成膜したグラフェン膜の厚さ測定や断面構造の観察を行った。また、ナノインデンテーションおよびナノスクラッチ実験によりグラフェン膜の力学的特性の評価を行った。さらに、成膜した単結晶シリコン、単結晶シリコンカーバイドおよび超硬合金製の金型を用いて高精度ガラスモールド成形装置でのガラスプレス成形実験を実施し、マイクロ・ナノスケールのガラス表面への微細構造の転写成形に使用可能であることを確認した。そして、プレス成形時の界面現象の実験観察を行い、成形された光学素子の形状精度および光学性能の評価を行った。さらに、本研究の学問への発展としてグラフェン膜とガラスおよび金型本体間の界面現象を解析するための分子動力学モデルを作成し、高温ガラス成形におけるグラフェン膜の物理的・化学的安定性および耐久性について原子スケールでの解析を行った。

Research Progress Status

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(3 results)
  • 2022 Annual Research Report
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • Research Products

    (5 results)

All 2023 2022 2021

All Journal Article (5 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 5 results,  Open Access: 1 results)

  • [Journal Article] Optimization of fast tool servo diamond turning for enhancing geometrical accuracy and surface quality of freeform optics2023

    • Author(s)
      Lin ZHANG, Yusuke SATO and Jiwang YAN
    • Journal Title

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      Volume: 17 Issue: 1 Pages: JAMDSM0012-JAMDSM0012

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2023jamdsm0012

    • ISSN
      1881-3054
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Study on nano-graphitic carbon coating on Si mold insert for precision glass molding2022

    • Author(s)
      Lin Zhang, Jiwang Yan
    • Journal Title

      Surface & Coatings Technology

      Volume: 448 Pages: 128893-128893

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2022.128893

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Amorphous Carbon Coated Silicon Wafer as Mold Insert for Precision Glas Molding2022

    • Author(s)
      Lin Zhang, Jiwang Yan
    • Journal Title

      Procedia CIRP

      Volume: 108 Pages: 525-530

    • DOI

      10.1016/j.procir.2022.03.082

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Flexible fabrication of Fresnel micro-lens array by off-spindle-axis diamond turning and precision glass molding2022

    • Author(s)
      L. Zhang, J. Yan
    • Journal Title

      Precision Engineering

      Volume: 74 Pages: 186-194

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2021.11.013

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Evolution of high-pressure metastable phase Si-XIII during silicon nanoindentation: A molecular dynamics study2021

    • Author(s)
      Lin Zhang, Jiwang Yan
    • Journal Title

      Computational Materials Science

      Volume: 191 Pages: 110344-110344

    • DOI

      10.1016/j.commatsci.2021.110344

    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Peer Reviewed

URL: 

Published: 2020-11-16   Modified: 2024-03-26  

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