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Wide diameter range measurement of silicon sphere for mass standard

Research Project

Project/Area Number 20H02040
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Review Section Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

Michihata Masaki  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 高橋 哲  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (30283724)
門屋 祥太郎  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (60880234)
Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥17,810,000 (Direct Cost: ¥13,700,000、Indirect Cost: ¥4,110,000)
Fiscal Year 2022: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
Fiscal Year 2021: ¥7,410,000 (Direct Cost: ¥5,700,000、Indirect Cost: ¥1,710,000)
Fiscal Year 2020: ¥8,320,000 (Direct Cost: ¥6,400,000、Indirect Cost: ¥1,920,000)
KeywordsWhispering gallery mode / テーパ光ファイバー / 球 / 直径 / 伝搬定数 / 光ファイバー / 近接場 / 光共振 / ビート周波数 / WGM共振 / 球体 / 屈折率 / 自律校正 / Goos-Haenchenシフト / 偏光 / SNOM / 有限要素解析 / 近接場プローブ / 定在波 / テーパ光ファイバ
Outline of Research at the Start

質量の基準となる高精度な計測原理を構築するため、直径94 mmから94 μmのシリコン球の計測が求められている。本研究では、球の中を周回共振する光の伝搬形態であるWGMという光学現象を用いて計測する原理を提案している。球の円周長を測定し、そこからシリコン球の直径を計測する。円周長は共振する光波長の倍数で正確に求められる。この倍数を正確に求めること、球の屈折率を測定することで、超高精度なシリコン球の計測原理確立を目指す。

Outline of Final Research Achievements

The objective of this research was to establish a technique that can measure the diameter of a wide range of silicon sphere from 94 mm to 94 μm in diameter with a relative accuracy of 1.0 × 10^(-6) using the unique measurement principle, in order to construct a traceability system of mass. For this purpose, we have proposed a method using optical resonance phenomenon called Whispering gallery mode (WGM) resonance. In this research project, we improved the measurement uncertainty of this method by estimating the mode number of the WGM and by using the refractive index autocorrection method.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

具体的にな成果については、まず「WGM励起光ファイバー直径計測法の確立によるWGM伝搬定数の推定法」を確立した。従来、1 μm以下の細い光ファイバーをその場環境で測定する技術はなく、本研究で、これを確立することができた。また、WGMは広く用いられている技術であるものの、そのモード解析および屈折率の補正方法についての報告例は非常に少ない。本研究では、「近接場光の直接検出によるWGMモード番号の推定」「WGMのモード解析による屈折率補正方法の提案とその手法の検証」を行い、今後のWGM研究における特性理解について貢献することが期待される。

Report

(4 results)
  • 2023 Final Research Report ( PDF )
  • 2022 Annual Research Report
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • Research Products

    (19 results)

All 2024 2023 2022 2021 2020 Other

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results,  Open Access: 2 results) Presentation (13 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Diameter Measurement for Micro-Spheres via Coherent Scanning Interferometry with Reference to Gauge Block2024

    • Author(s)
      Michihata Masaki、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • Journal Title

      International Journal of Automation Technology

      Volume: 18 Issue: 1 Pages: 11-17

    • DOI

      10.20965/ijat.2024.p0011

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • Year and Date
      2024-01-05
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Propagation Constant-Based Diameter Measurement Technique for Sub-micrometer Scale Optical Fiber2024

    • Author(s)
      Liu Yushen、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • Journal Title

      Optics Letters

      Volume: in press Issue: 10 Pages: 2649-2649

    • DOI

      10.1364/ol.521545

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Measurement properties of electric field intensity distribution of whispering gallery mode with near-field optical probe2022

    • Author(s)
      Liu Yushen、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • Journal Title

      Measurement Science and Technology

      Volume: 33 Issue: 9 Pages: 095501-095501

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ac74a2

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Measurement of diameter of sub-micrometer fiber based on analysis of scattered light intensity distribution under standing wave illumination2022

    • Author(s)
      Michihata Masaki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • Journal Title

      CIRP Annals

      Volume: 71 Issue: 1 Pages: 421-424

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2022.03.008

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] In-Process Diameter Measurement Technique for Micro-Optical Fiber with Standing Wave Illumination2021

    • Author(s)
      Michihata Masaki、Zheng Zhao、Funaiwa Daiki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • Journal Title

      Nanomanufacturing and Metrology

      Volume: 4 Issue: 1 Pages: 28-36

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00081-4

    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第18報)-球表面のWGM定在波強度分布測定-2024

    • Author(s)
      Yushen Liu
    • Organizer
      2024年度精密工学会学術講演会春季大会
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      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Measurement of the diameter of the thinned optical fiber based on the spatial period of standing wave2023

    • Author(s)
      Yushen Liu
    • Organizer
      Optical Technology and Measurement for Industrial Applications
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      2022 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 定在波ピッチを利用したサブマイクロファイバの直径計測2023

    • Author(s)
      Yushen Liu
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      2023年度精密工学会学術講演会秋季大会
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      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Concept of controlling rotational reference point for dimensional inner shape measurement using dual period grating2022

    • Author(s)
      Souki Fujimura
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      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE) 2022
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      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] High precision distance measurement based on external cavity with dual periodic grating2022

    • Author(s)
      Shuhei Goda
    • Organizer
      the 9th Intl. Conf. of Asian Society for Precision Eng. and Nanotechnology (ASPEN 2022)
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      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
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    • Author(s)
      合田周平
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    • Author(s)
      藤村蒼輝
    • Organizer
      2022年度精密工学会学術講演会秋季大会
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      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] WGM 共振を利用した微小球の直径計測(第16報) -屈折率自律補正法の提案2022

    • Author(s)
      田中理香子
    • Organizer
      2022年度精密工学会学術講演会春季大会
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      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] ファブリーペロー共振器を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究(第1報) -二平面間の距離測定-2021

    • Author(s)
      加藤千聖,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • Organizer
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
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      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測(第1報) -計測手法提案-”2021

    • Author(s)
      合田周平,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • Organizer
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
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      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第3報) -サブマイクロ光ファイバの計測のための測定原理の拡張-2021

    • Author(s)
      村上宗二朗,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • Organizer
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] WGM共振を利用した微小級の直径計測(第14報) -WGM光強度分布センシングのためのガラスプローブ先端形状の検討-2021

    • Author(s)
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • Organizer
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
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      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第13報) -光損失が共振波長に及ぼす影響の検討-2020

    • Author(s)
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • Organizer
      2020年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Remarks] 個人HP

    • URL

      https://masakimichihata.weebly.com

    • Related Report
      2020 Annual Research Report

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Published: 2020-04-28   Modified: 2025-01-30  

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