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薄膜状電子デバイスの複曲面上実装を実現する微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステム

Research Project

Project/Area Number 20H02112
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Review Section Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

齋藤 滋規  東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 武田 行生  東京工業大学, 工学院, 教授 (20216914)
宝田 亘  東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (50467031)
田岡 祐樹  東京工業大学, 環境・社会理工学院, 助教 (50845766)
Project Period (FY) 2020-04-01 – 2024-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥17,550,000 (Direct Cost: ¥13,500,000、Indirect Cost: ¥4,050,000)
Fiscal Year 2023: ¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
Fiscal Year 2022: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Fiscal Year 2021: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000)
Fiscal Year 2020: ¥5,330,000 (Direct Cost: ¥4,100,000、Indirect Cost: ¥1,230,000)
Keywords静電吸着力 / 静電吸着 / 生産技術 / 生体模倣
Outline of Research at the Start

有機ELディスプレイなどの大面積の薄膜状電子デバイスを複曲面形状に均一に張り付ける技術が求められているが,従来型のロボットハンドリング手法では対応が不可能である.本研究の目的は,薄膜状対象物を自在に吸着・離脱可能にする『微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステム』を創製し,自在ハンドリングを可能にすることにある.具体的には,『微細毛柔軟静電吸着モジュール積層デバイス』および『各デバイスを連結し曲面に対応させる劣駆動閉リンク機構』を実現し,従来ハンドリング困難だったフィルム状/シート状の対象物に対して「確実な吸着」と「容易な離脱」 の両立を可能にする技術体系を確立することである.

Outline of Annual Research Achievements

本研究の目的は、薄膜状対象物を自在に吸着・離脱可能にする『微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステム』を創製し、従来、取り扱いが困難だった薄膜状対象 物の自在ハンドリングを可能にすることにある。具体的には、『微細毛柔軟静電吸着モジュール積層デバイス』および『各デバイスを連結し曲面に対応させる劣 駆動閉リンク機構』を実現し、システムを統合・制御することで、フィルム状/シート状の対象物に対して「確実な吸着」と「容易な離脱」の両立を可能にする 技術体系を確立することである。
2022年度は、「劣駆動閉リンク機構による大面積フィルムハンドリングシステムの開発」及び「複曲面の曲率に対応する微細毛静電吸着デバイスの力学モデルの構築」を中心に研究を実施しした。具体的には、開発した劣駆動閉リンク機構の先端に、微細毛柔軟静電吸着モジュールを取り付け、薄膜の把持と曲面形状への貼り付けを実施し、単純な貼り付け軌道では、貼り付けの際に薄膜にシワができることを明らかにし、劣駆動閉リンク機構や微細毛柔軟静電吸着モジュールの形状や貼り付け機動を検討するための指針を得た。また、微細毛静電吸着デバイスの針先端に回転自由度を与えた際の力学モデルを、トータルエネルギー及び力学的なモデルから解析するための理論的な検証を行い、理論モデル構築のための指針を得た。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

劣駆動閉リンク機構と微細毛柔軟静電吸着モジュールを統合し、産業用ロボットアームを用いた実験により、提案コンセプトの評価・検証を行った。

Strategy for Future Research Activity

微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステムの開発に向けて、今後の研究推進の方向性はいくつかある。曲面貼り付け時にシワが発生しないような劣機動リンク機構及び、微細毛静電吸着モジュールの開発である。また、列駆動リンク機構は大規模な構造等なるため、Authentic機構など構造由来の変形様式を用いた貼り付け機構の検討も実施する。

Report

(3 results)
  • 2022 Annual Research Report
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • Research Products

    (11 results)

All 2023 2022 2021

All Journal Article (2 results) Presentation (9 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Journal Article] Development of bipolar electrostatic chucks with a compliant beam-array assembly from composite-laminated plates using abrasive water jet2022

    • Author(s)
      Ryo Tomohiro、Taoka Yuki、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • Journal Title

      MRS Advances

      Volume: 7 Issue: 31 Pages: 923-928

    • DOI

      10.1557/s43580-022-00329-9

    • Related Report
      2022 Annual Research Report 2021 Annual Research Report
  • [Journal Article] Development of a bipolar electrostatic chuck with a compliant beam-array assembly having four 3D-printed layers for large film handling2022

    • Author(s)
      Taoka Yuki、Hayashi Terumichi、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • Journal Title

      Engineering Research Express

      Volume: 4 Issue: 1 Pages: 015010-015010

    • DOI

      10.1088/2631-8695/ac4a49

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価2023

    • Author(s)
      吉田周平, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Influence of heatinduced changeable stiffness a t the contact interface o n the gripping force of a bipolar electrostatic chuck2023

    • Author(s)
      Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, Shigeki Saito
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] 高分子薄膜の曲面自在貼付を可能にする帯状柔軟電極を有した双極型静電吸着デバイス2023

    • Author(s)
      江頭正洋, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Influence of the surface conductivity of a polymer film on the attractive force of a bipolar electrostatic chuck2022

    • Author(s)
      Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, Shigeki Saito.
    • Organizer
      MRS 2022 Spring
    • Related Report
      2022 Annual Research Report 2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 微細毛静電チャックの表面柔軟性確保のためのシート状交互五層(導電層、絶縁層)高分子複合材料の開発2022

    • Author(s)
      駒田ひろ, 田岡祐樹, 宝田亘, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 梁先端に回転自由度 を有する微細毛双極 型静電チャックの開発2022

    • Author(s)
      凌智寛, 田岡祐樹, 齋藤滋規
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] Rotational-Degree-Of -Freedom Tip Structure Used in Collective Beam Structure Electrostatic Chuck for Curved Surfaces,2022

    • Author(s)
      Sanchuan XU, Yuki Taoka, Shigeki SAITO
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた曲面形状への薄膜対象物貼り付け手法の開発2021

    • Author(s)
      林 輝道, 田岡 祐樹, 齊藤 滋規.
    • Organizer
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響2021

    • Author(s)
      ジェレミー ガブリエル, 田岡 祐樹, 齊藤 滋規.
    • Organizer
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report

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Published: 2020-04-28   Modified: 2024-12-25  

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