• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

Fabrication of carbon nanotube bipolar-FET by dielectrophoresis for sensor application

Research Project

Project/Area Number 20H02164
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Review Section Basic Section 21030:Measurement engineering-related
Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

Suehiro Junya  九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (70206382)

Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2022)
Budget Amount *help
¥17,680,000 (Direct Cost: ¥13,600,000、Indirect Cost: ¥4,080,000)
Fiscal Year 2022: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2021: ¥7,930,000 (Direct Cost: ¥6,100,000、Indirect Cost: ¥1,830,000)
Fiscal Year 2020: ¥5,590,000 (Direct Cost: ¥4,300,000、Indirect Cost: ¥1,290,000)
Keywordsカーボンナノチューブ / 電界効果型トランジスタ / 誘電泳動 / ガスセンサ / 両極性CNT-FET / ショットキー障壁 / NO2ガス / DNA検出 / 両極性FET
Outline of Research at the Start

本研究では、カーボンナノチューブ(CNT)をチャンネルとする電界効果型トランジスタ(CNT-FET)を誘電泳動集積法で作製する。誘電泳動集積法のメリットを活かし、電極材料の仕事関数やCNTのカイラリティの組合せを最適化することで、p型、n型の両方の伝達特性を示す両極性CNT-FETを再現性良く作製する技術を開発する。両極性CNT-FETの伝達機構解明と併行して、CNT表面へのDNA結合によって誘起されるCNT-FETの伝達特性変化を利用した高感度かつ迅速なDNA検出技術への応用展開を行い、先進医療など多方面への応用を通じて安全・安心な社会の実現に貢献する。

Outline of Final Research Achievements

In this study, we fabricated bipolar field-effect transistors (CNT-FETs) with carbon nanotubes (CNTs) as channels by dielectrophoretic integration method and attempted to develop an application technology for sensitive detection of NO2, an environmental pollutant gas, with high sensitivity.
As a result, two types of reactions were observed: a steady-state current shift in the positive direction in the hole conduction region due to channel potential modulation and a sudden decrease in mutual conductance in the electronic conduction region due to Schottky barrier modulation, and NO2 gas with a concentration of 100 ppb at room temperature was successfully detected in a few minutes.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

①大気汚染の原因となる環境汚染ガスNO2を高感度で迅速に検出するセンサーの開発に貢献できる。
②近年、有機系のナノ半導体材料に大きな注目が集まっている。中でもカーボンナノチューブやグラフェンシートなどのカーボンナノ材料は、バイオセンサや電子デバイスへの応用が活発に研究されている。本研究の成果はこれら有機系ナノ半導体材料をチャンネルに用いたFETのセンシングメカニズム解明の一助となり得る。

Report

(4 results)
  • 2022 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • Research Products

    (17 results)

All 2023 2022 2021 2020

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Open Access: 2 results) Presentation (14 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Journal Article] Comparison between modulations of contact and channel potential in nitrogen dioxide gas response of ambipolar carbon nanotube field-effect transistors2022

    • Author(s)
      Nakahara Shota、Morita Takahiro、Omachi Haruka、Inaba Masafumi、Nakano Michihiko、Suehiro Junya
    • Journal Title

      AIP Advances

      Volume: 12 Issue: 12 Pages: 125302-125302

    • DOI

      10.1063/5.0124891

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Effect of mixing ratio on NO2 gas sensor response with SnO2-decorated carbon nanotube channels fabricated by one-step dielectrophoretic assembly2021

    • Author(s)
      Inaba Masafumi、Oda Takenori、Kono Masaki、Phansiri Nisarut、Morita Takahiro、Nakahara Shota、Nakano Michihiko、Suehiro Junya
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B: Chemical

      Volume: 344 Pages: 130257-130257

    • DOI

      10.1016/j.snb.2021.130257

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Response properties of nitrogen dioxide gas sensors with tin oxide decorated carbon nanotube channel fabricated by two-step dielectrophoretic assembly2020

    • Author(s)
      Inaba Masafumi、Kono Masaki、Oda Takenori、Phansiri Nisarut、Nakano Michihiko、Suehiro Junya
    • Journal Title

      AIP Advances

      Volume: 10 Issue: 5 Pages: 055223-055223

    • DOI

      10.1063/5.0008188

    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] Nitrogen dioxide gas response rate at contact and channel in ambipolar carbon nanotube field-effect transistors2023

    • Author(s)
      Masafumi Inaba, Shota Nakahara, Haruka Omachi, Michihiko Nakano, Junya Suehiro
    • Organizer
      第64回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Effect of NO2 gas adsorption to CNT/electrode contacts on gas response of CNT-FETs2022

    • Author(s)
      Shota Nakahara, Takahiro Morita, Takuya Okamoto, Haruka Omachi, Masafumi Inaba, Michihiko Nakano, Junya Suehiro
    • Organizer
      15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] CNT-FET型ガスセンサ応答のゲート電圧スイープ方向依存性2022

    • Author(s)
      中原 正太, 八木 凱斗, 大町 遼, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
    • Organizer
      第83回応用物理学会 秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] CNTの半導体・金属比率とCNT-FETのNO2ガス応答の関係2022

    • Author(s)
      八木 凱斗, 中原 正太, 大町 遼, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
    • Organizer
      第83回応用物理学会 秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] 誘電泳動集積法を用いて作製したCNT-FETガスセンサの正孔や電子伝導とNO2応答速度の関係2022

    • Author(s)
      中原 正太, 八木 凱斗, 大町 遼, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
    • Organizer
      第75回電気・情報関係学会 九州支部連合大会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] CNT-FETのNO2応答にCNTの半導体・金属比率が与える影響2022

    • Author(s)
      八木 凱斗, 中原 正太, 大町 遼, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
    • Organizer
      第75回電気・情報関係学会 九州支部連合大会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] 誘電泳動集積法を用いて作製したカーボンナノチューブ電界効果トランジスタのNO2 応答メカニズム2022

    • Author(s)
      S. Nakahara, K. Yagi, H. Omachi, M. Inaba, M. Nakano, and J. Suehiro
    • Organizer
      第41回電子材料シンポジウム
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] 誘電泳動集積を用いて作製した両極性CNT-FET ガスセンサの電子伝導領域におけるNO2高速応答2022

    • Author(s)
      中原 正太, 八木 凱人, 大町 遼, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
    • Organizer
      第36回ダイヤモンドシンポジウム
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] CNT/電極コンタクトへのNO2ガス吸着がCNT-FET型ガスセンサ応答に与える影響2022

    • Author(s)
      中原 正太, 森田 貴大, 岡本 拓也, 大町 遼, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
    • Organizer
      第69回 応用物理学会 春季学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 誘電泳動集積法を用いて作製した両極性CNTFETの電子伝導領域におけるNO2応答2021

    • Author(s)
      中原 正太, 森田 貴大, 岡本 拓也, 大町 遼, 稲葉 雅文, 中野 道彦, 末廣純也
    • Organizer
      第82回 応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 誘電泳動集積による両極性カーボンナノチューブ電界効果トランジスタの電子伝導領域におけるNO2応答2021

    • Author(s)
      中原 正太, 森田 貴大, 岡本 拓也, 大町 遼, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
    • Organizer
      電気・情報関係学会九州支部第74回連合大会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] カーボンナノチューブ電界効果トランジスタ型NO2ガスセンサにおける電極-カーボンナノチューブコンタクトの影響2021

    • Author(s)
      森田 貴大, 中原正太, 岡本 拓也, 大町 遼, 稲葉 優文, 中野 道彦, 末廣 純也
    • Organizer
      電気・情報関係学会九州支部第74回連合大会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 誘電泳動集積法を用いたFET型両極性カーボンナノチューブガスセンサのNO2に対する応答2021

    • Author(s)
      中原 正太、森田 貴文、大町 遼、稲葉 優文、中野 道彦、末廣 純也
    • Organizer
      令和3年電気学会全国大会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 誘電泳動法を用いて作製した両極性カーボンナノチューブ電界効果トランジスタのNO2ガス応答2021

    • Author(s)
      森田 貴大、中原 正太、大町 遼、稲葉 優文、末廣 純也、中野 道彦
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report

URL: 

Published: 2020-04-28   Modified: 2024-01-30  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi