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非定常環境振動から電力自給可能なマイクロエレクトロニクス

Research Project

Project/Area Number 20J14049
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Review Section Basic Section 21060:Electron device and electronic equipment-related
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

遠山 幸也  東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2020-04-24 – 2022-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2021)
Budget Amount *help
¥2,300,000 (Direct Cost: ¥2,300,000)
Fiscal Year 2021: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 2020: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
KeywordsMEMS / 振動発電素子 / エナジーハーベスタ / 振動発電 / 広帯域発電素子 / 整流昇圧回路
Outline of Research at the Start

身の回りに存在する小さな振動からエネルギーを回収して電力として活用する振動発電は、IoTなどに使用する小型センサ端末の保守作業不要な電源として期待されている。機械振動など特定の定常振動下において高効率な発電が実現されている一方、より広い環境に存在する、性質がランダムに変化する非定常振動下における発電が課題となっている。
本研究では非定常振動のもとで高効率発電可能な発電素子の試作と、その出力で駆動可能な電子回路の試作、及びそれらの一体化に取り組み、広い環境で連続自立駆動が可能なシステムの実現を目指す。

Outline of Annual Research Achievements

昨年度に引き続き、発電機構の構造密度を高め、電気的なダンピングを増強することによる広帯域振動発電素子のデバイス施策及び評価に取り組んだ。発電素子のデザインを見直すことで試作プロセス上のMEMSの深堀りエッチング構造のアスペクト比を変更するなど製作条件を緩和し、特性評価用のデバイスを実現した。評価用デバイスの外部振動印加時の機械特性、及び負荷接続時の電気的な周波数特性の測定を行った。その結果、出力端子につける負荷の大きさを変更することで発電量の周波数特性が変化し、30 Hz ほどの共振周波数のシフトを伴いながら帯域を変化することが確認できた。この結果は広帯域特性を持つ振動発電素子の設計のみならず、接続する後段回路によって共振周波数を大幅に変化させるシステムの可能性を示唆する結果である。また、発電に関わるエレクトレットの帯電電位を変化させることにより、最も帯域の広くなる条件間において 30 Hz 程度帯域が向上することが確認できた。こちらの結果により、これまで理論的な静電モデルと電気回路シミュレータ上の等価回路モデルを用いたシミュレーションを用いて提案していた広帯域発電素子の設計手法を実証した。
また、これまで取り組んだ微小な電圧の発電量の回収を可能とする低しきい値の整流昇圧回路についての実験結果を学術論文としてまとめ、投稿・採択された。従来の共振型発電素子と整流昇圧回路を組み合わせることで微小非定常振動のもとでの昇圧性能が向上した結果、及び発電素子の帯域の向上した結果をそれぞれ投稿し、原著論文として採択されている。以上より、発電素子と後段回路それぞれで発電特性の広帯域化を実現する手法を示し、回路を含めた発電システムとして広帯域性能を実現するための方法論を提案したといえる。

Research Progress Status

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • Research Products

    (8 results)

All 2022 2021 2020

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results,  Open Access: 2 results) Presentation (4 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results)

  • [Journal Article] Bandwidth Broadening of MEMS Vibration Energy Harvesters by Voltage-Boost Rectifier Circuit2022

    • Author(s)
      Tohyama Yukiya、Honma Hiroaki、Toshiyoshi Hiroshi、Yamane Daisuke
    • Journal Title

      Sensors and Materials

      Volume: 34

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Energy Harvesting from Non-Stationary Vibrations Using a Low-Threshold Voltage-Boost Rectifier Circuit2021

    • Author(s)
      Tohyama Yukiya、Honma Hiroaki、Sekiya Hidehiko、Toshiyoshi Hiroshi、Yamane Daisuke
    • Journal Title

      IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

      Volume: 141 Issue: 7 Pages: 228-232

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.141.228

    • NAID

      130008060170

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • Year and Date
      2021-07-01
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Power enhancement of MEMS vibrational electrostatic energy harvester by stray capacitance reduction2021

    • Author(s)
      Honma Hiroaki、Tohyama Yukiya、Mitsuya Hiroyuki、Hashiguchi Gen、Fujita Hiroyuki、Toshiyoshi Hiroshi
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      Volume: 31 Issue: 12 Pages: 125008-125008

    • DOI

      10.1088/1361-6439/ac2e46

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Equivalent Circuit Model for MEMS Vibrational Energy Harvester Compatible with Sinusoidal and Nonsinusoidal Vibrations2020

    • Author(s)
      Honma Hiroaki、Tohyama Yukiya、Ikeno Sho、Toshiyoshi Hiroshi
    • Journal Title

      Sensors and Materials

      Volume: 32 Issue: 7 Pages: 2475

    • DOI

      10.18494/SAM.2020.2821

    • ISSN
      0914-4935, 2435-0869
    • Year and Date
      2020-07-31
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] A Short-Stroke Electrostatic Vibrational Energy Harvester with Extended Bandwidth and Sensitivity2021

    • Author(s)
      Honma Hiroaki、Tohyama Yukiya、Toshiyoshi Hiroshi
    • Organizer
      21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2021)
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 低閾値整流昇圧回路を用いた非定常環境振動下における振動発電2020

    • Author(s)
      遠山幸也、本間浩章、石原昇、関屋英彦、年吉洋、山根大輔
    • Organizer
      電気学会・第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 閾値自己補償整流昇圧回路による振動発電素子の実効帯域向上2020

    • Author(s)
      遠山幸也、本間浩章、年吉洋、山根大輔
    • Organizer
      令和2年度・電気学会E部門総合研究会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] Enlargement of Frequency Bandwidth of Vibrational MEMS Energy Harvester by High Density Electrets2020

    • Author(s)
      Hiroaki Honma、Yukiya Tohyama、Hiroyuki Mitsuya、Hisayuki Ashizawa、Hiroshi Toshiyoshi
    • Organizer
      2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020)
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2020-07-07   Modified: 2024-03-26  

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