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1-nm-wide X-ray beams by developing millimeter-scale ultra-precision reflective optics

Research Project

Project/Area Number 20J21562
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Review Section Basic Section 30020:Optical engineering and photon science-related
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

島村 勇徳  東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2020-04-24 – 2023-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2022)
Budget Amount *help
¥3,100,000 (Direct Cost: ¥3,100,000)
Fiscal Year 2022: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Fiscal Year 2021: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Fiscal Year 2020: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
KeywordsX線 / 集光ビーム / 高精度成膜 / 短い焦点距離 / 大きな開口数 / 軟X線 / 集光鏡 / 蛍光X線観察 / X線ミラー
Outline of Research at the Start

世界で最も微細なX線レーザー光を実現する.
病院でレントゲン写真に使うX線は,材料特性を非破壊評価する上で科学や産業に不可欠なツールである.このX線を微小なスポットに集光して試料に照射すると,細かく試料観察できるため,直近30年でX線集光サイズは約1万倍縮小した.
本研究はX線の集光に用いる集光鏡に注目し,その超小型化と反射層の新設計で世界最小のX線集光サイズ1nmを達成する.新開発の超小型集光鏡は既に優れた性能が実証され,作製精度を今後改善する.一方,集光サイズをさらに縮小するには,単層の反射層を積層する多層膜化が必要になる.独自の多層膜技術を開発し,原子サイズに匹敵する1nmにX線を集光する.

Outline of Annual Research Achievements

【概要】本研究は世界で最も微細なX線ビームの実現を目標とし,2つの独自案を集光鏡設計に盛り込む.令和4年度は,1つ目の案「集光鏡の超小型化」の実証実験について,過去に例を見ない集光結果を確かめ,試料を多角的に評価可能な顕微手法を開発した.また,2つ目の案「反射膜を積層する多層膜構造の新設計」について,実現可能性がある方針を見出した.
【具体的内容】集光鏡を超小型化すると,X線を小さいスポットに集め,かつスポットを理想的な状態に保持しやすくなる.しかし,集光鏡の半径を従来の数十メートルから150 mmと100倍以上急峻にする必要があり,加工・計測手法が確立していなかった.新たに作製方法を確立し,兵庫県の大型放射光施設SPring-8にて集光鏡の集光性能を評価した.光子エネルギーに依らない一定位置での理想集光を,軟X線領域で初めて実現し,集光サイズは最小20.4 nmに到達した.この特性を利用し,二色の軟X線を混合した微小集光スポットを形成した.本スポットを使った蛍光X線観察と新たに導出したアルゴリズムを使用し,試料密度・厚み・軽元素・金属元素の分布を同時に定量評価できる唯一の手法を開発した.また,多層膜構造の新設計について,フランスにある欧州大型放射光施設(ESRF)の研究者と議論・実験し,本構造が可能と思われる材料のペアを見出した.
【意義】集光・顕微観察結果は共に世界随一である.提案する顕微観察法によって,従来観察された重元素分布に加え,軽元素と試料形状も同時に高分解能で定量評価できる.提案する多層膜構造は,各層が非常に薄いことが課題となっていた.検討中の材料であれば,その薄さを実現できると期待される.
【重要性】例えば,薬粒子の場所を細胞内で追跡するナノ薬理動態分野への応用が期待され,さらなる空間分解能向上が見込まれる.

Research Progress Status

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(3 results)
  • 2022 Annual Research Report
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • Research Products

    (25 results)

All 2023 2022 2021 2020 Other

All Int'l Joint Research (1 results) Journal Article (6 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 4 results,  Open Access: 4 results) Presentation (11 results) (of which Int'l Joint Research: 7 results) Book (1 results) Remarks (6 results)

  • [Int'l Joint Research] European Synchrotron Radiation Facility(フランス)

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      Shimamura Takenori、Takeo Yoko、Kimura Takashi、Perrin Francois、Vivo Amparo、Senba Yasunori、Kishimoto Hikaru、Ohashi Haruhiko、Mimura Hidekazu
    • Journal Title

      Review of Scientific Instruments

      Volume: 94 Issue: 4 Pages: 043102-043102

    • DOI

      10.1063/5.0135367

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    • Author(s)
      Shunya Yokomae, Yoko Takeo, Takenori Shimamura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura
    • Journal Title

      Review of Scientific Instruments

      Volume: 94 Issue: 1 Pages: 015106-015106

    • DOI

      10.1063/5.0125242

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    • Author(s)
      Shimamura Takenori、Takeo Yoko、Moriya Fumika、Kimura Takashi、Shimura Mari、Senba Yasunori、Kishimoto Hikaru、Ohashi Haruhiko、Shimba Kenta、Jimbo Yasuhiko、Mimura Hidekazu
    • Journal Title

      Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XVII

      Volume: 12240 Pages: 1224004-1224004

    • DOI

      10.1117/12.2632949

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    • Author(s)
      島村 勇徳、竹尾 陽子、木村 隆志、仙波 泰徳、岸本 輝、大橋 治彦、三村 秀和
    • Journal Title

      Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

      Volume: 2021A Issue: 0 Pages: 543-544

    • DOI

      10.11522/pscjspe.2021A.0_543

    • Year and Date
      2021-09-08
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      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • Journal Title

      2021 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      Volume: 1 Pages: 664-665

    • NAID

      130008084164

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  • [Journal Article] Design of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror for soft x-ray nanofocusing2020

    • Author(s)
      Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
    • Journal Title

      SPIE Proceedings

      Volume: 11492 Pages: 1-9

    • DOI

      10.1117/12.2569845

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  • [Presentation] Design of soft x-ray fluorescence microscopy beyond 100-nm spatial resolution with ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror2022

    • Author(s)
      T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, and H. Mimura
    • Organizer
      Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XVII, SPIE Optical Engineering + Applications, SPIE Optical Engineering + Applications, 2022, 1224004, San Diego, California, United States
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  • [Presentation] Development of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirrors for sub-50-nm achromatic soft-X-ray probes2022

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      T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
    • Organizer
      XOPT2022 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2022 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2022), Online + Yokohama, Kanagawa, Japan
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    • Author(s)
      T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
    • Organizer
      IWXM 2022 (7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication), Online only.
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  • [Presentation] Development of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirrors for sub-50-nm achromatic soft-X-ray probes2022

    • Author(s)
      T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
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      XOPT2022 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2022 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2022)
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  • [Presentation] Design, fabrication, and testing of 2-mm-long X-ray mirrors for soft-X-ray nanofocusing2022

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      T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
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      IWXM 2022 (7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication)
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  • [Presentation] 超小型 KB ミラーを用いた軟 X 線 sub 50 nm 集光システムの開発2021

    • Author(s)
      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • Organizer
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
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      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 差分成膜法による超小型 X 線集光ミラーの作製2021

    • Author(s)
      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • Organizer
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
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  • [Presentation] 差分成膜法による超小型X線集光ミラーの作製2021

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      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
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      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
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      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
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      第 34 回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
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  • [Presentation] Design of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror for soft x-ray nanofocusing2020

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      Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
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      Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX, Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum
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    • Author(s)
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    • Total Pages
      3
    • Publisher
      日本放射光学会
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  • [Remarks] 三村研究室ウェブページ

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      http://webpark1181.sakura.ne.jp/mimuralab/

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  • [Remarks] 島村勇徳ウェブページ

    • URL

      https://iappotakebee.github.io/index.html

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  • [Remarks] 東京大学工学部・大学院工学系研究科YouTubeチャンネル

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=41v-6dHWQKA

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  • [Remarks] 三村研究室ホームページ

    • URL

      http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/wpMimura/

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  • [Remarks] HIRAKU 3MT Competition 2021 English Division 録画

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      https://www.youtube.com/watch?v=QiAjXKsTg14

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  • [Remarks] UTokyo Three Minute Thesis (3MT) competition 録画

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=L7wt2Nes07M

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Published: 2020-07-07   Modified: 2024-03-26  

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