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時空間制御型プラズマ誘起ミクロ液相反応:プラズマ援用インクジェットプロセスの創製

Research Project

Project/Area Number 20J21827
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Review Section Basic Section 14030:Applied plasma science-related
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

新田 魁洲  東京大学, 新領域創成科学研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2020-04-24 – 2023-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2022)
Budget Amount *help
¥2,500,000 (Direct Cost: ¥2,500,000)
Fiscal Year 2022: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2021: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2020: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Keywordsプラズマ / インクジェット / 粒子合成 / 液滴蒸発 / ラマン分光 / 大気圧非平衡プラズマ / ミクロ液相 / 微粒子合成 / プラズマ分光 / プラズマプロセス / プリンテッドエレクトロニクス / サブミクロン粒子 / 金粒子
Outline of Research at the Start

大気圧非平衡プラズマ技術の進展とともに、液相とプラズマの相互作用を用いた“プラズマ誘起液相反応”が注目を集め、バイオ、材料合成、環境など様々な分野で盛んに研究・応用されている。本研究では、±1%以下の誤差で粒径の揃った液滴を再現性良く吐出可能なインクジェット装置を液相生成に用いることで、直径数十ミクロンの液滴を時空間制御性良くプラズマ中に導入するプラズマ援用インクジェットプロセスを創製する。液相をミクロ化することで比表面積の増大による界面反応の顕著化が期待され、高度に時空間制御された革新的描画プロセスの実現や、分光学的診断等を用いた基礎研究によるプラズマ―液相相互作用の理解に貢献する。

Outline of Annual Research Achievements

本研究では、±数%以下の誤差で径の揃った液滴を生成可能なインクジェット装置を用いて、大気圧非平衡プラズマ中に微小液滴(直径20-30 μm)を導入することにより、プラズマ―液滴の相互作用を用いた新規材料プロセスの開発、およびプロセス診断を通じたプラズマ―液滴相互作用の理解を目的として遂行された。
材料プロセス開発においては、昨年度に引き続きインクジェット液滴を原料としたプラズマ援用粒子合成を更に推し進め、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、銀、および酸化亜鉛/銀コンポジット等の各種材料の粒子合成を実証した。これまで合成粒子が単分散かつサイズ制御可能であることを示してきたが、原料溶液組成やプラズマパワー等の各種パラメータ制御によって、粒子形状や光物性も制御可能であることが示唆された。
プロセス診断においては、前年度に構築した液滴観察システムを利用して、大気圧非平衡プラズマ中の液滴蒸発挙動を実観測とモデル計算の両面から検証した。電子密度の増大に応じて、荷電粒子の寄与により液滴蒸発が促進されることが示唆された。更に、酸化ジルコニウム粒子合成過程におけるプラズマ中の液滴のレーザーラマン分光測定を行った。溶媒である水の誘導ラマン散乱シグナルが得られ、液滴内で固相が形成されるにつれて溶媒由来のシグナルが消失するという間接的な形ではあるが、プラズマ中の粒子形成過程の観察に成功した。本研究課題の成果は、インクジェット液滴を用いた新規プラズマ材料プロセスの開発と同時に、プラズマ-液滴相互作用に関する基礎的な知見を獲得し、液滴が関与する大気圧非平衡プラズマ材料科学の今後の発展に貢献し得る。

Research Progress Status

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(3 results)
  • 2022 Annual Research Report
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • Research Products

    (16 results)

All 2023 2022 2021 2020

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (13 results) (of which Int'l Joint Research: 7 results,  Invited: 4 results)

  • [Journal Article] Evaporation behavior of liquid microdroplets in atmospheric-pressure nonequilibrium plasma2023

    • Author(s)
      K. Nitta, H. Muneoka, Y. Shimizu, H. Kobayashi, K. Terashima, and T. Ito
    • Journal Title

      Plasma Sources Science and Technology

      Volume: 32 Issue: 5 Pages: 055008-055008

    • DOI

      10.1088/1361-6595/acd3ab

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Plasma-assisted synthesis of size-controlled monodisperse submicron gold particles using inkjet droplets2021

    • Author(s)
      Nitta Kaishu、Shimizu Yoshiki、Terashima Kazuo、Ito Tsuyohito
    • Journal Title

      Journal of Physics D: Applied Physics

      Volume: 54 Issue: 33 Pages: 33LT01-33LT01

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ac02f8

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] One-step gold line fabrication from particle-free inorganic salt-based ink via atmospheric pressure nonequilibrium plasma-assisted inkjet printing2021

    • Author(s)
      K. Nitta, K. Ishizumi, Y. Shimizu, K. Terashima, T. Ito
    • Journal Title

      Materials Chemistry and Physics

      Volume: 258 Pages: 123836-123836

    • DOI

      10.1016/j.matchemphys.2020.123836

    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Droplet Evaporation Behavior in Atmospheric-Pressure Nonequilibrium Plasma2023

    • Author(s)
      Kaishu Nitta, Hitoshi Muneoka, Yoshiki Shimizu, Hiromichi Kobayashi, Kazuo Terashima, and Tsuyohito Ito
    • Organizer
      ISPlasma2023 / IC-PLANTS2023
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Synthesis of metal and metal oxide particles via atmospheric-pressure plasma processing with inkjet droplets2023

    • Author(s)
      Kaishu Nitta, Takeru Hato, Tomoki Sakai, Hitoshi Muneoka, Yoshiki Shimizu, Kazuo Terashima, and Tsuyohito Ito
    • Organizer
      7th International Conference on Advances in Functional Materials
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Synthesis of metal and metal oxide particles via atmospheric-pressure plasma processing with inkjet droplets2023

    • Author(s)
      K. Nitta, H. Muneoka, Y. Shimizu, K. Terashima, and T. Ito
    • Organizer
      7th International Conference on Advances in Functional Materials
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 大気圧非平衡プラズマ中のインクジェット液滴の蒸発挙動の観察2022

    • Author(s)
      新田 魁洲、宗岡 均、清水 禎樹、小林 宏充、寺嶋 和夫、伊藤剛仁
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] プラズマ援用インクジェットプロセスによる酸化亜鉛微粒子の合成2022

    • Author(s)
      羽藤 健、新田 魁洲、宗岡 均、清水 禎樹、寺嶋 和夫、伊藤 剛仁
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] In-situ observation of inkjet droplets in atmospheric-pressure radio frequency argon plasma and demonstration for synthesis of monodisperse submicron gold particles2021

    • Author(s)
      K. Nitta, H. Muneoka, Y. Shimizu, K. Terashima, and T. Ito
    • Organizer
      74th Annual Gaseous Electronics Conference
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] プラズマ援用インクジェットプロセスによる単分散粒子の合成2021

    • Author(s)
      新田 魁洲、宗岡 均、清水 禎樹、寺嶋 和夫、伊藤剛仁
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] Plasma Materials Processing with Controlled Microdroplets: Printing and Particles Synthesis2021

    • Author(s)
      T. Ito, K. Nitta, Y. Shimizu, and K. Terashima
    • Organizer
      2021 MRS Fall Meeting and Exhibit
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Particles synthesis via atmospheric-pressure plasma with solution microdroplets2021

    • Author(s)
      T. Ito, K. Nitta, M. Tsumaki, Y. Sshimizu, K. Terashima
    • Organizer
      5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Plasma-assisted Deposition using Microdroplets2021

    • Author(s)
      T. Ito, K. Nitta, and K. Terashima
    • Organizer
      The International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2021 (ICMCTF-2021)
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 液相を用いたプラズマ材料プロセシング2021

    • Author(s)
      伊藤 剛仁、新田 魁洲、妻木 正尚、宗岡 均、清水 禎樹、寺嶋 和夫
    • Organizer
      第38回 プラズマ・核融合学会 年会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] インクジェット液滴を用いたプラズマ支援単分散粒子合成2021

    • Author(s)
      新田 魁洲, 清水 禎樹, 寺嶋 和夫, 伊藤 剛仁
    • Organizer
      日本金属学会第168回公演大会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 塩化金酸水溶液をインクとしたプラズマ援用インクジェットプロセスによる金細線の描画2020

    • Author(s)
      新田 魁洲, 石角 健, 清水 禎樹, 寺嶋 和夫, 伊藤剛仁
    • Organizer
      日本金属学会第167回公演大会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report

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Published: 2020-07-07   Modified: 2024-03-26  

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