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GaNAsBiの結晶成長と温度無依存光通信用半導体レーザへの応用

Research Project

Project/Area Number 20J22804
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Review Section Basic Section 30010:Crystal engineering-related
Research InstitutionKyoto Institute of Technology

Principal Investigator

長谷川 将  京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2020-04-24 – 2023-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2022)
Budget Amount *help
¥2,500,000 (Direct Cost: ¥2,500,000)
Fiscal Year 2022: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2021: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2020: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Keywords希釈Bi系III-V族半導体 / 希釈N系III-V族半導体 / 分子線エピタキシー / ラマン散乱 / フォノン・プラズモン相互作用 / 光半導体デバイス / 組成傾斜層 / 多重量子井戸構造 / GaNAsBi / MBE / 多重量子井戸 / MQW / GaAsBi / 半導体レーザ / レーザダイオード
Outline of Research at the Start

もし半導体レーザーの発振波長を温度無依存化することができたならば、既存の光通信ネットワークは、更なる省エネルギー化・大容量化・システムの簡略化を遂げると考えられる。希釈ビスマス(Bi)系半導体は、その要望に応えるべく創製された次世代の半導体レーザ材料であり、禁制帯幅の低い温度依存性をはじめとした特異な物性を示す。本研究では、半導体GaAsにBiと窒素(N)を希釈量添加した四元混晶GaNAsBiをエピタキシャル成長し、レーザーダイオードを製作・評価することで、本混晶系の光通信用半導体レーザ材料としての有用性を検証する。また同時に、本混晶系の高品位結晶成長技術の確立および真の物性解明にも取り組む。

Outline of Annual Research Achievements

メインチャンバーのリークおよびAlセルの故障により、レーザーダイオードの製作は行えなかったが、デバイス性能の向上に繋がる有益な知見を得た。
前年度の知見を基盤として、ラマン散乱に現れるフォノン・プラズモン相互作用現象をGaAsBi/GaAsヘテロ構造中のキャリア閉じ込め評価に応用した。誘電応答関数モデルに基づくラマンスペクトルの形状解析によって光励起キャリア密度を求めた。Bi組成が1.7%から6.4%の範囲で増加するにつれて光励起キャリア密度は増加した。この結果はGaAsBi/GaAsヘテロ界面の伝導帯オフセットの増加による電子オーバーフローの抑制によって説明できる。更に、ラマン測定の結果とフォトルミネッセンス測定の結果を組み合わせることで、Bi組成4%以上ではキャリア閉じ込めと光学品質がトレードオフの関係にあることを明らかにした。
GaAsBi少数キャリアデバイスの性能を改善する方法として、GaAsBi/GaAsヘテロ界面に組成傾斜層を導入することを提案し、その効果を実験的に検証した。組成傾斜層を導入したpinダイオードの開放電圧は、GaInNAs(Sb)などと同等かそれ以上の値まで改善した。また、低温成長開始時に組成傾斜層を導入することで、EL強度は約50倍に増加した。これは成長中断に起因した不純物の取り込みを防ぐことができたためと考えられる。
レーザダイオードの前段階として、GaNAsBi/GaAs多重量子井戸発光ダイオードを製作した。前年度の検討を基に、Bi表面再構成の遷移時間を考慮してシャッター制御を行い、量子井戸構造中のNおよびBiの深さ方向の分布を改善した。しかしながら、それら発光ダイオードからは十分な発光効率が得られなかった。四元混晶では、Biが取り込まれる条件を満たしながら、Nの非格子サイトへの取り込みを抑制するための新しい術を探求する必要がある。

Research Progress Status

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(3 results)
  • 2022 Annual Research Report
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • Research Products

    (19 results)

All 2023 2022 2021 Other

All Int'l Joint Research (4 results) Journal Article (5 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 5 results,  Open Access: 1 results) Presentation (10 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results)

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    • Author(s)
      Hasegawa Sho、Hasuike Noriyuki、Kanegae Kazutaka、Nishinaka Hiroyuki、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 62 Issue: 1 Pages: 011003-011003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acb2a4

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  • [Journal Article] Raman scattering study of photoexcited plasma in GaAsBi/GaAs heterostructures: Influence of carrier confinement on photoluminescence2023

    • Author(s)
      Hasegawa Sho、Hasuike Noriyuki、Kanegae Kazutaka、Nishinaka Hiroyuki、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Materials Science in Semiconductor Processing

      Volume: 162 Pages: 107543-107543

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2023.107543

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    • Author(s)
      Kawata Hiromu、Hasegawa Sho、Nishinaka Hiroyuki、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Semiconductor Science and Technology

      Volume: 37 Issue: 6 Pages: 065016-065016

    • DOI

      10.1088/1361-6641/ac66fa

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    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Deep levels and carrier capture kinetics in n-GaAsBi alloys investigated by deep level transient spectroscopy2021

    • Author(s)
      Fregolent Manuel、Buffolo Matteo、De Santi Carlo、Hasegawa Sho、Matsumura Junta、Nishinaka Hiroyuki、Yoshimoto Masahiro、Meneghesso Gaudenzio、Zanoni Enrico、Meneghini Matteo
    • Journal Title

      Journal of Physics D: Applied Physics

      Volume: 54 Issue: 34 Pages: 345109-345109

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ac0182

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  • [Journal Article] Fabrication of a GaAs/GaNAsBi solar cell and its performance improvement by thermal annealing2021

    • Author(s)
      Kawata Hiromu、Hasegawa Sho、Matsumura Junta、Nishinaka Hiroyuki、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Semiconductor Science and Technology

      Volume: 36 Issue: 9 Pages: 095020-095020

    • DOI

      10.1088/1361-6641/ac13af

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      S. Hasegawa , N. Hasuike, H. Nishinaka, M. Yoshimoto
    • Organizer
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      長谷川将 , 蓮池紀幸 , 鐘ケ江一孝 , 西中浩之 , 吉本昌広
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      上田遼 , 長谷川将 ,鐘ケ江一孝 , 西中浩之,吉本昌広
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      The 41th Electronic Materials Symposium (EMS), 奈良
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    • Author(s)
      M.Fregolent, M. Buffolo, C. De Santi, S. Hasegawa, J. Matsumura, H. Nishinaka, M. Yoshimoto, G. Meneghesso, E. Zanoni and Matteo Meneghini
    • Organizer
      SPIE OPTO 2022, Novel In-Plane Semiconductor Lasers XXI
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  • [Presentation] Ga(N)As(Bi)混晶における光励起されたキャリアがラマンスペクトルに及ぼす影響2022

    • Author(s)
      長谷川 将, 蓮池 紀之, 西中 浩之, 吉本 昌広
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
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      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] GaNAsBi/GaAs多重量子井戸構造のMBE成長2021

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      長谷川 将, 川田 大夢, 青木 竜哉, 西中 浩之, 吉本 昌広
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
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      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] DLTS 法による n-GaAsBi 中の深い準位の評価2021

    • Author(s)
      長谷川 将, Manuel Fregolent, Matteo Buffolo, Carlo Santi, Gaudenzio Meneghesso, Enrico Zanoni, 松村 淳太, 西中 浩之, Matteo Meneghini, 吉本 昌広
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
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  • [Presentation] Optical Spectroscopy of III/V-Bi Alloys and Heterostructures for Infrared Applications2021

    • Author(s)
      D. A. Duffy, I. P. Marko, S. Hasegawa, T. Hepp, K. Volz, M. Yoshimoto and S. J. Sweeney
    • Organizer
      15th International conference on Mid-Infrared Optoelectronic Materials and Devices
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      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] GaNAsBi/GaAs Multiple Quantum well Structures Grown by plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy: Bi Incorporation Scheme at an interface2021

    • Author(s)
      S. Hasegawa, H. Kawata, R. Aoki, H. Nishinaka, M. Yoshimoto
    • Organizer
      The International Symposium on Novel maTerials and quantum Technologies 2021
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      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2020-07-07   Modified: 2024-03-26  

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