炭化ケイ素系ガス分離膜の細孔径チューニング技術開発と評価
Project/Area Number |
20K05205
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 27010:Transport phenomena and unit operations-related
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Research Institution | Japan Fine Ceramics Center |
Principal Investigator |
永野 孝幸 一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 主任研究員 (70450848)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
佐藤 功二 一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 技師 (20552590)
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Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2025-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2022)
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Budget Amount *help |
¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000)
Fiscal Year 2024: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2023: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2022: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2021: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2020: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
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Keywords | 炭化ケイ素 / アルミナ / CVD / 細孔径 / ガス透過 / ヘリウム / 水素 / 窒素 / シラシクロブタン / アルゴン / 圧力 / 二酸化炭素 / 気相合成 / 分離 |
Outline of Research at the Start |
優れたガス分離特性を有する炭化ケイ素系ガス分離膜の応用範囲を飛躍的に向上させるための細孔径制御技術について検討する。炭化ケイ素系ガス分離膜の分離活性層の結合はSi-Si、Si-C、C-C結合が混在しており、その結合割合をプリカーサーの種類、合成条件(合成温度、合成時間、ガス雰囲気、圧力等)を変化させて、細孔径分布をコントロールし、新たな機能を創製する。
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Outline of Annual Research Achievements |
有機金属原料としてシラシクロブタン、ジシラブタンを用いて、Ni添加γ-アルミナをコートしたアルミナ非対称型多孔質基材上に炭化ケイ素系ガス分離膜を合成した。また、シラシクロブタンについてはアルミナ基材内側の圧力計の変化を製膜中にモニタリングし、封孔状態をリアルタイムで確認して、細孔径の制御を試みた。キャリアガスであるアルゴンは成膜の進行とともに細孔径が小さくなるため、透過量が徐々に減少する。同時に水素は分子サイズが炭化ケイ素系分離活性層のネットワーク径よりも小さいため、反応ガスである水素の供給を停止すると、多孔質管内部の圧力が減少していく。つまり、多孔質管内部の圧力が減少していくほど、成膜が進行していることを示している。あらかじめ、成膜前に多孔質管内部を真空引きして到達真空度を確認しておけば、成膜の進行状況をモニタリングできる。その結果、ガス分離特性として、水素透過率 1.2X10-7~5.9X10-7 mol/m2・s・Pa、水素/二酸化炭素透過率比5~2597、水素/窒素透過率比91~3078の範囲で細孔径分布を制御可能であった。ガス透過率測定はあらかじめ分子サイズが分かっているガスの透過量を測定し、評価するものであり、分離活性層の平均細孔径を求めることはできない。 そこで、修正ガス透過モデルを適用し、ヘリウム、水素、二酸化炭素、アルゴン、窒素のガス透過率から細孔構造を評価した。算出されたネットワーク径計算値はガス透過特性の結果と良い一致を示し、炭化ケイ素系ガス分離膜の細孔構造評価に対し、修正ガス透過モデルが適用可能であることが分かった。
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Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
市販の多孔質支持基材は膜エレメントを構成する基材の本数を削減するため、直径がφ12mmのものが標準となっており、それ以下のサイズは入手が困難となっている。また、新たなスペックの多孔質基材の開発(成形含む)は小ロットの購入には対応していない。
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Strategy for Future Research Activity |
ガス透過特性評価装置、CVD装置の治具形状等を考慮しつつ、研究課題に適した多孔質支持基材の入手をメーカーと検討していく。
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Report
(3 results)
Research Products
(2 results)