Project/Area Number |
20K05289
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
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Research Institution | Osaka Metropolitan University (2022) Osaka Prefecture University (2020-2021) |
Principal Investigator |
笹子 勝 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員研究員 (40727145)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
平井 義彦 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員研究員 (50285300)
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Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2024-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2022)
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Budget Amount *help |
¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Fiscal Year 2022: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2021: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000)
Fiscal Year 2020: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
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Keywords | フォトリソグラフィ / 3次元結像 / 一括露光 / 3次元リソグラフィ / 位相振幅 / フォトマスク / 3次元構造 / 3次元リソグラフィ / シードパターン / デザインルール / 最適化 / 三次元 / マスク / 複素振幅 |
Outline of Research at the Start |
高度なバイオチップなどに求められる立体的で複雑な三次元のマイクロ構造の作製には、従来のマイクロ加工技術では逐次構造を作製する必要があり、必ずしも効率的ではありません。 本研究では、光を任意の形状に三次元的に結像させ、感光性樹脂を露光することにより、三次元構造を効率よく作製する新しい方法を開発するものです。 光を三次元的に結像させるために、光の位相を局所的に変化させて光の進路を自在に制御する光透過板(ビルトインレンズマスク)の最適な設計方法の開発と、その効果を確かめるための実験を行い、三次元結像効果を検証します。
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Outline of Annual Research Achievements |
3次元リソグラフィ用のマスの最適設計を行う計算機システムを開発し,これを応用したマスクの試作と,試作したマスクを用いて,3次元構造の露光実験に着手した. 試行実験により,レジストの厚膜塗布の均一性,現像時のパターン倒れなどの課題を確認した.このうち,現像時のパターン倒れについては,表面張力を抑制する従来の超臨界現像方式を参考に,現像液の流動と抑制した専用の低表面張力現像機を作製した.,これにより,表面張力と流動によるパターン倒れなどの欠陥が抑制できた. これと並行して,露光実験を行い,これまでに3次元ピラミッドフレーム状構造,傾斜梁構造などの3次元構造の空間結像性について評価をおこなった.ビラミッドフレームについては,これまでの先行実験での結果を,別形状で検証できた.一方,傾斜梁構については,現像時のパターン倒れにより,一部の構造が形成できている状態に留まった. これらの実験結果より,一括露光による3次元空間での結像の確認と,表面張力によるパターン崩れなどの今後の課題が抽出と,解決策の一部が検証できた.
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Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
感染状況による実験遂行時間の減少と,表面張力現象によるマイクロ構造のスティッキング状態の解決に,専用現像機の作製などに時間を要したため.
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Strategy for Future Research Activity |
これまでの研究で明らかになった課題を解決し,3次元結像の検証に向けて,実験とその解析を進める
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Report
(3 results)
Research Products
(9 results)