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Study on the formation of carbon thin films obtained by electron-beam-induced-chemical vapor deposition combined with ultra low-temperature tunneling reaction of H atoms at ultra low temperature

Research Project

Project/Area Number 21560031
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Thin film/Surface and interfacial physical properties
Research InstitutionUniversity of Yamanashi

Principal Investigator

SATO Tetsuya  山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 准教授 (60252011)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) NAKAGAWA Kiyokazu  山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (40324181)
MIYAJIMA Naoya  山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 助教 (20345698)
YAMNAKA Junji  山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (20293441)
ARIMOTO Keisuke  山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (30345699)
Project Period (FY) 2009 – 2011
Project Status Completed (Fiscal Year 2011)
Budget Amount *help
¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000)
Fiscal Year 2011: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2010: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2009: ¥2,340,000 (Direct Cost: ¥1,800,000、Indirect Cost: ¥540,000)
Keywordsカーボン / 非晶質 / 電子衝撃 / 薄膜 / 極低温 / トネンル / メタン / 水素原子 / 低速電子 / 欠陥密度 / アモルファス / トンネル / DLC / トンネル現象 / 低温
Research Abstract

We synthesized carbon films by electron-beam-induced-chemical vapor deposition combined with low-temperature H tunneling reactions on cooled substrates, which adsorb methane gases. The concentration of hydrogen(C_H) in carbon films were very low(1% to 6 at.%). The value of optical band gap changed from 0. 9 eV to 2. 5 eV. The values of spin density(Ns) decreased with increasing C_H and less than 10^<18> cm-^3 were found for the films with low sp^2 content.

Report

(4 results)
  • 2011 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2010 Annual Research Report
  • 2009 Annual Research Report
  • Research Products

    (24 results)

All 2012 2011 2010 2009 Other

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (16 results) Book (1 results) Remarks (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

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      Volume: vol.48

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      Volume: vol.38 Pages: 986-987

    • NAID

      10025547257

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      http://sangaku.yamanashi.ac.jp/SearchResearcher/contents/1FB71E46743CE530.html

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      http://www.abll.yamanashi.ac.jp/ABB/No3/index.html

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    • Inventor(s)
      佐藤哲也
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人山梨大学
    • Industrial Property Number
      2011-042049
    • Filing Date
      2011-02-28
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Published: 2009-04-01   Modified: 2016-04-21  

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