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Production and evaluation of the MEMS submillimeters cell for imaging atomic magnetometers

Research Project

Project/Area Number 21560436
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Measurement engineering
Research InstitutionIwate University

Principal Investigator

DAIBO Masahiro  岩手大学, 工学部, 准教授 (20344616)

Project Period (FY) 2009 – 2011
Project Status Completed (Fiscal Year 2011)
Budget Amount *help
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2011: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2010: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2009: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000)
Keywords計測システム / センシングデバイス / 原子磁力計 / MEMS / 磁気センサー / 光ポンピング
Research Abstract

When a circularly-polarized laser beam and magnetic field are applied to an alkali metal atom, the electron performs precession. This optical pumping atomic magnetometer can detect a magnetic field in very high sensitivity as a change of the polarization. Because the conventional magnetometer was a vacuum device with the blown glass, it was unsuitable for miniaturization. We developed the apparatus which performed vapor deposition of potassium through a mask, glass conveyance, the anodic bonding the silicon and the glass in vacuum. We finally produced 5x5 cell array whose hole diameter is 700μm and 500μm in depth.

Report

(4 results)
  • 2011 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2010 Annual Research Report
  • 2009 Annual Research Report
  • Research Products

    (16 results)

All 2012 2011 2010 2009 Other

All Presentation (15 results) Remarks (1 results)

  • [Presentation] 楕円偏光原子磁力計の楕円率依存性2012

    • Author(s)
      太田越寿継、大坊真洋
    • Organizer
      平成24年度東北地区若手研究者研究発表会
    • Place of Presentation
      仙台高等専門学校(宮城県)
    • Year and Date
      2012-03-09
    • Related Report
      2011 Final Research Report
  • [Presentation] 楕円偏光原子磁力計の楕円率依存性2012

    • Author(s)
      太田越寿継, 大坊真洋
    • Organizer
      平成24年度東北地区若手研究者研究発表会
    • Place of Presentation
      仙台高等専門学校
    • Year and Date
      2012-03-09
    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Presentation] 両面アノーティックホンティンクによるアレイ型マイクロセルの開発2011

    • Author(s)
      野崎孝弘,加賀谷祐輔,千葉寿,大坊真洋
    • Organizer
      計測自動制御学会東北支部第264回研究集会
    • Place of Presentation
      東北文化学園大学(宮城県)
    • Year and Date
      2011-03-11
    • Related Report
      2011 Final Research Report 2010 Annual Research Report
  • [Presentation] MEMS加工シリコンセルによる原子磁力計の研究2010

    • Author(s)
      加賀谷祐輔,野崎孝弘,大坊真洋
    • Organizer
      応用物理学会東北支部第65回学術講演会講演予稿集
    • Place of Presentation
      東北大学(宮城県)
    • Year and Date
      2010-11-26
    • Related Report
      2011 Final Research Report
  • [Presentation] MEMS加工シリコンセルによる原子磁力計の研究2010

    • Author(s)
      加賀谷祐輔, 野崎孝弘, 大坊真洋
    • Organizer
      応用物理学会東北支部第65回学術講演会講予稿集
    • Place of Presentation
      東北大学(宮城県)
    • Year and Date
      2010-11-26
    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Presentation] 全光制御型原子磁力計による非接触半導体検査2010

    • Author(s)
      佐々木勝平,太田越寿継,大坊真洋
    • Organizer
      第71回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎県)
    • Year and Date
      2010-09-14
    • Related Report
      2011 Final Research Report 2010 Annual Research Report
  • [Presentation] MEMSによるマイクロ原子磁力計セルの開発2010

    • Author(s)
      野崎孝弘,加賀谷祐輔,大坊真洋
    • Organizer
      平成22年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      八戸工業大学(青森県)
    • Year and Date
      2010-08-27
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      2011 Final Research Report 2010 Annual Research Report
  • [Presentation] 原子磁力計による非接触半導体検査2010

    • Author(s)
      佐々木勝平,太田越寿継,大坊真洋
    • Organizer
      平成22年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      八戸工業大学(青森県)
    • Year and Date
      2010-08-26
    • Related Report
      2011 Final Research Report 2010 Annual Research Report
  • [Presentation] カリウム光ポンピング原子磁力計のための偏光度検出システムの開発2010

    • Author(s)
      太田越寿継,佐々木勝平,大坊真洋
    • Organizer
      平成22年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      八戸工業大学(青森県)
    • Year and Date
      2010-08-26
    • Related Report
      2011 Final Research Report 2010 Annual Research Report
  • [Presentation] 全光型原子磁力計2009

    • Author(s)
      佐々木勝平,大坊真洋
    • Organizer
      第70回応用物理学会学術講演会予稿集
    • Place of Presentation
      富山大学(富山県)
    • Year and Date
      2009-09-09
    • Related Report
      2011 Final Research Report
  • [Presentation] 全光型原子磁力計2009

    • Author(s)
      佐々木勝平, 大坊真洋
    • Organizer
      第70回応用物理学会学術講演会予稿集,9p-A-1
    • Place of Presentation
      富山大学, 富山
    • Year and Date
      2009-09-09
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] レーザー加熱により温度制御された原子磁力計2009

    • Author(s)
      佐々木勝平,大坊真洋
    • Organizer
      計測自動制御学会東北支部45周年記念学術講演会
    • Place of Presentation
      岩手大学(岩手県)
    • Year and Date
      2009-09-07
    • Related Report
      2011 Final Research Report
  • [Presentation] レーサー加熱により温度制御された原子磁力計2009

    • Author(s)
      佐々木勝平, 大坊真洋
    • Organizer
      計測自動制御学会東北支部45周年記念学術講演会
    • Place of Presentation
      岩手大学,岩手
    • Year and Date
      2009-09-07
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] 全光制御原子磁力計の構築と磁場感度評価2009

    • Author(s)
      佐々木勝平,大坊真洋
    • Organizer
      平成21年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      東北文化学園大学(宮城県)
    • Year and Date
      2009-08-20
    • Related Report
      2011 Final Research Report
  • [Presentation] 全光制御原子磁力計の構築と磁場感度評価2009

    • Author(s)
      佐々木勝平, 大坊真洋
    • Organizer
      平成21年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      東北文化学園大学,官城
    • Year and Date
      2009-08-20
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://phasor.elc.iwate-u.ac.jp

    • Related Report
      2009 Annual Research Report

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Published: 2009-04-01   Modified: 2016-04-21  

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