• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

大気圧プラズマを用いた機能性界面創生によるSi表面パッシベーション技術の開発

Research Project

Project/Area Number 21656039
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Production engineering/Processing studies
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

安武 潔  大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (80166503)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 垣内 弘章  大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (10233660)
大参 宏昌  大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00335382)
Project Period (FY) 2009 – 2010
Project Status Completed (Fiscal Year 2010)
Budget Amount *help
¥3,100,000 (Direct Cost: ¥3,100,000)
Fiscal Year 2010: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
Fiscal Year 2009: ¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
Keywords大気圧プラズマ / プラズマ酸化 / 表面パッシベーション / シリコン / 太陽電池 / Al_2O_3 / 界面準位 / 表面再結合
Research Abstract

薄型Si太陽電池の実現には、光閉じ込め技術に加えて、キャリアの表面再結合を抑制するパッシベーション技術が鍵となる。p型Si表面のパッシベーションには、負の固定電荷をもつ絶縁膜が有効であり、Al_2O_3薄膜がその可能性を有している。本研究では、p型si表面のパッシベーションに有効なAl_2O_3/極薄SiO_2/Si構造の形成条件を明らかにすることにより、高効率Si太陽電池製造に必要なAl_2O_3薄膜の低温・高速形成プロセスを開発する。
(1)大気圧プラズマによるSiおよびAlの酸化特性を調べた結果、400℃でのSi酸化速度は、1000℃ドライ熱酸化と同等であること、Al酸化速度はSiの1/2程度であり、熱酸化に比べ高速であることが分かった。
(2)大気圧プラズマ酸化によるSiO_2膜は、高温熱酸化膜と同等の品質であり、SiO_2/Si界面準位密度はD_<it>=2×10^<10>cm^<-2>eV^<-1>であった。一方、正の固定電荷密度が高い(Q_f=5.3×10^<12>cm^<-2>)ため、n型Si表面のパッシベーションに有効であり、非常に低い表面再結合速度(S_<eff>80cm/s)を実現した。
(3)Al/Si構造を大気圧プラズマ酸化することにより作製したAlO_x/Si構造は、負のQ_fを有するが、界面特性が十分でなかったため、Al_2O_3/SiO_2/Si構造を形成した。SiO_2が厚い場合、正のQ_fを示すが、SiO_2膜厚の減少とともに負のQ_fが増加することが分かった。
(4)Al_2O_3/薄いSiO_2/Si構造により、D_<it>=9×10^<10>cm^<-2>eV^<-1>,負のQ_f=5.4×10^<12>cm^<-2>,S_<eff>=260cm/sが得られた。S_<eff>は、HF処理による915cm/sに比べてかなり低く、本方法で形成したAl_2O_3/SiO_2/Si構造が、p型Si表面パッシベーションに有効であることが示された。

Report

(2 results)
  • 2010 Annual Research Report
  • 2009 Annual Research Report
  • Research Products

    (7 results)

All 2011 2010 2009 Other

All Presentation (6 results) Remarks (1 results)

  • [Presentation] Surface Passivation of N-type Si surfaces using SiO_2 grown by of Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation Processing2011

    • Author(s)
      卓澤騰, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔, 他3名
    • Organizer
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      講演論文集A66東洋大学(東京)
    • Year and Date
      2011-03-01
    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Presentation] Development of Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation Process for Surface Passivation of Si2010

    • Author(s)
      Z.T.Zhuo, H.Ohmi, H.Kakiuchi, K.Yasutake, 他3名
    • Organizer
      3rd Int.Symp.on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • Place of Presentation
      大阪大学中之島センター(大阪)
    • Year and Date
      2010-11-24
    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Presentation] Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation Process for Passivation of Si Surface2010

    • Author(s)
      Z.T.Zhuo, H.Ohmi, H.Kakiuchi, K.Yasutake, 他3名
    • Organizer
      63rd Gaseous Electronics Conf.and 7th Int.Conf on Reactive Plasmas
    • Place of Presentation
      Maison de la Chimie (Paris)
    • Year and Date
      2010-10-05
    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Presentation] 大気圧プラズマ酸化による太陽電池用Si表面パッシベーション膜の形成2010

    • Author(s)
      後藤一磨, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔, 他3名
    • Organizer
      2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋大学(名古屋)
    • Year and Date
      2010-09-27
    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Presentation] Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation Process for Passivation of Si Surface2010

    • Author(s)
      Z.T.Zhuo, H.Ohmi, H.Kakiuchi, K.Yasutake, 他2名
    • Organizer
      精密工学会2010年度関西地方定期学術講演会
    • Place of Presentation
      京都大学(京都)
    • Year and Date
      2010-05-28
    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Presentation] (特別講演)低温・高速・高品質を実現する大気圧プラズマプロセスによる薄膜形成技術2009

    • Author(s)
      安武潔
    • Organizer
      精密工学会 2009年度関西地方学術講演会
    • Place of Presentation
      千里ライフサイエンスセンター(豊中市)
    • Year and Date
      2009-05-13
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://www-ms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/jpn/index.html

    • Related Report
      2009 Annual Research Report

URL: 

Published: 2009-04-01   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi