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MEMS Micro Turbine Generator Driven by Low-Boiling-Point Refrigerant

Research Project

Project/Area Number 21K14214
Research Category

Grant-in-Aid for Early-Career Scientists

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Basic Section 21060:Electron device and electronic equipment-related
Research InstitutionNihon University

Principal Investigator

KANEKO Minami  日本大学, 理工学部, 助教 (30755418)

Project Period (FY) 2021-04-01 – 2024-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2023: ¥390,000 (Direct Cost: ¥300,000、Indirect Cost: ¥90,000)
Fiscal Year 2022: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2021: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000)
Keywords発電システム / 廃熱エネルギー / オーガニックランキンサイクル / MEMS / 冷媒 / タービン / 冷却 / タンク / 流路 / テスラバルブ / マイクロ流路 / 温度分布 / 一体化 / 発電機 / 低沸点冷媒
Outline of Research at the Start

従来、IoT遠隔デバイスの電源にはリチウム二次電池などが用いられているが、交換が必要であり、普及に対して一つのボトルネックになっている。そこで、交換が不要な発電システムとして、出力が大きく、なおかつ普遍的な環境エネルギーから電力を得る電源が望まれている。本研究では低沸点媒体を用い,より普遍的に存在する100℃以下の廃熱を利用し、3mW 程度の出力を得られる超小型発電システムへの開発を目標にする。小型タービンのシステムを密閉型にし、低沸点媒体の蒸発、液化サイクルを利用して100℃以下の廃エネルギーの利用を可能とする。将来的にはボイラ、冷却器などを組み合わせて作動流体循環式発電機に発展させる。

Outline of Final Research Achievements

Since the objective of this research is “development of elements for a circulating compact power generation system that can be used with low-grade heat sources below 100 degrees Celsius,” the mechanical components of the power generation system were miniaturized using semiconductor manufacturing technology, which is one of the miniaturization technologies. In addition, experiments on turbine rotation and analysis of heat transfer in the power generation system were conducted using a low-boiling-point refrigerant used in the organic Rankine cycle as the working fluid to utilize low-temperature waste heat. As a result, a size of about 1 cm square was achieved in the turbine mechanism, flow channel, and boiler tank. We also designed and fabricated a monolithic power generation system that incorporates these elements inside a single silicon structure.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

本研究は交換作業が不要で持続的に利用可能な小型発電システムの開発を目的としている。これまでの環境発電の分野では主に振動エネルギーや太陽光エネルギーを利用した研究が多かったが、得られる電力や小型化における課題があった。このことから、従来の大規模発電に用いられる熱サイクルを1cm角程度の小型スケールで実現したことは今後の環境発電の発展に寄与できるといえる。また、狭小領域での流体の解析や熱解析については研究事例が少ないことから、シミュレーションと実現象の双方から解析を行う本研究の成果は学術的にも意義があるといえる。

Report

(4 results)
  • 2023 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2022 Research-status Report
  • 2021 Research-status Report
  • Research Products

    (11 results)

All 2023 2022 2021 Other

All Presentation (10 results) (of which Int'l Joint Research: 6 results,  Invited: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Presentation] Development of MEMS Boiler Tank for Miniature ORC Power Generation System2023

    • Author(s)
      Minami Kaneko, Yuya Niki, Fumio Uchikoba
    • Organizer
      9th International Conference on Sustainable Technology and Engineering 2023 (i-COSTE 2023)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Advanced Sensor & Microsystems Technology (MST)2023

    • Author(s)
      Minami Kaneko
    • Organizer
      International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology conference (IMPACT 2023)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] シリコン微細加工技術によるORC発電機の小型化2023

    • Author(s)
      仁木雄哉、阪本千紘、金子美泉、内木場文男
    • Organizer
      第33回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] Development of MEMS Flow Path for Miniature ,Waste Heat Utilization Generator2022

    • Author(s)
      Minami Kaneko, Yuya Niki, Kenji Takeda, Megumi Aibara, Fumio Uchikoba
    • Organizer
      the 48th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Development of MEMS Structures for Miniature Organic Rankine Cycle System2022

    • Author(s)
      M. Kaneko; K. Takeda; M. Aibara; F. Uchikoba
    • Organizer
      2022 International Conference on Electronics Packaging
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] ORC 発電システムのための流路一体型 MEMS タービンの評価2022

    • Author(s)
      金子 美泉; 仁木 雄哉; 武田 健嗣; 粟飯原 萌; 内木場 文男
    • Organizer
      金子 美泉; 仁木 雄哉; 武田 健嗣; 粟飯原 萌; 内木場 文男
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] 電子機器の廃熱利用を目的にした低沸点媒体とシリコンタービンによる有機ランキンサイクル発電機2022

    • Author(s)
      仁木雄哉; 阿部優希; 阪本千紘; 武田健嗣; 粟飯原萌; 金子美泉; 内木場文男
    • Organizer
      MES2022 第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Research and Development of MEMS Turbine Generator for Miniature Organic Rankine Cycle System2021

    • Author(s)
      Minami Kaneko, Yuya Kobayashi, Kenji Takeda, Megumi Aibara, Katsuyuki Tanaka, Fumio Uchikoba
    • Organizer
      2021 IEEE 30th International Symposium on Industrial Electronics (ISIE)
    • Related Report
      2021 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 熱回収を目的とした小型発電システムのためのマイクロ流路2021

    • Author(s)
      金子美泉、小林 祐也、仁木雄哉、武田健嗣、粟飯原萌、内木場文男
    • Organizer
      第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • Related Report
      2021 Research-status Report
  • [Presentation] Rotational Experiment of MEMS Turbine for Miniature Organic Rankin Cycle Generator2021

    • Author(s)
      Yuya Kobayashi, Yuya Niki, Kenji Takeda, Megumi Aibara, Minami Kaneko, Fumio Uchikoba
    • Organizer
      2021 IEEE 20th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS)
    • Related Report
      2021 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Remarks] 日本大学 内木場・金子研究室

    • URL

      https://www.eme.cst.nihon-u.ac.jp/uchikoba/

    • Related Report
      2022 Research-status Report 2021 Research-status Report

URL: 

Published: 2021-04-28   Modified: 2025-01-30  

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