| Project/Area Number |
21K14501
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Review Section |
Basic Section 28030:Nanomaterials-related
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| Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
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Principal Investigator |
Suzuki Daichi 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (80823640)
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| Project Period (FY) |
2021-04-01 – 2023-03-31
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2022)
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| Budget Amount *help |
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2022: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000)
Fiscal Year 2021: ¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
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| Keywords | カーボンナノチューブ / テラヘルツ / ドーピング / レーザーアブレーション / 熱電発電 / 非破壊検査 / フレキシブルデバイス / 熱電変換 |
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| Outline of Research at the Start |
本研究では、CNT光熱電変換素子の基盤技術の構築と発展を目的とし、超音波霧化ドープ法による微細PNパターニング技術及びパリレンコーティングによる長期性能安定化技術を開発するとともに、単一センサーを高密度にアレイ化した高感度高耐久THzセンサーパッチを実現する。提案技術はCNT膜デバイス全般に適用できる汎用性の高い技術であり、関連研究全体の深化・発展に寄与する基盤技術として広く活躍することが期待される。
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| Outline of Final Research Achievements |
In this research, we conducted on the depelopment of carbon nanotube (CNT) film devices. A high-sensitivity and durable THz sensor patch was developed. In addition, we demonstrated a powerful industrial quality inspection application using the developed THz sensor patch.
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| Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements |
半導体微細化の極限が訪れつつある近年、シリコンに替わる革新材料としてCNTが注目を集めており、様々なデバイスが開発されている。しかしボトルネックとなっているのが、CNT膜への微細PNパターニング技術の欠落である。そこで本研究では、CNT膜デバイスの深化・発展を目的とし、CNT膜への微細PNパターニング技術及び長期性能安定化技術を開発した。本研究成果は関連研究全体の基盤技術として広く活用されることが期待される。
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