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周波数変調/同期法を利用したナノ力学による原子レベルの顕微鏡/分光法の開拓

Research Project

Project/Area Number 21K18191
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Medium-sized Section 28:Nano/micro science and related fields
Research InstitutionKanazawa University

Principal Investigator

新井 豊子  金沢大学, 数物科学系, 教授 (20250235)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 富取 正彦  北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 名誉教授 (10188790)
Project Period (FY) 2021-07-09 – 2025-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥26,000,000 (Direct Cost: ¥20,000,000、Indirect Cost: ¥6,000,000)
Fiscal Year 2023: ¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
Fiscal Year 2022: ¥16,380,000 (Direct Cost: ¥12,600,000、Indirect Cost: ¥3,780,000)
Fiscal Year 2021: ¥5,590,000 (Direct Cost: ¥4,300,000、Indirect Cost: ¥1,290,000)
Keywords周波数変調原子間力顕微鏡 / 赤外分光 / タングステン探針 / ナノ力学 / 原子レベル顕微鏡/分光法 / 力学的エネルギー散逸
Outline of Research at the Start

周波数変調原子間力顕微鏡(FM-AFM)では、振動する探針と試料の間に働く微弱な相互作用力(保存力)を高感度測定して原子分解能で表面像を取得する。本研究では、独自開発のFM-AFMを基に「探針振動に対して位相制御されたパルス外場印加で変化する力学応答を、力学的散逸エネルギー信号として高感度測定することで原子・分子種を捉える(分光する)」という着想で原子レベルの空間分解能を持つ顕微鏡/分光法を開拓する。本研究は、研究代表者のFM-AFMの独自開発および散逸エネルギーの高感度測定の実績に裏付けられたものである。

Outline of Annual Research Achievements

本研究では、周波数変調原子間力顕微鏡(FM-AFM)を基に、赤外光を照射した際の試料表面の分子の分極変化を原子レベルで力学的に高感度検出する赤外分光法(探針振動同期検波赤外分光法(TS-IR))を開発する。
赤外光源としてパルス量子カスケードレーザー(QCL)を選定し、研究開始当初から国内メーカーと打ち合わせ、2022年5月に特別仕様のQCLが納品されたが、種々のトラブルのため、メーカーに戻し調整を繰り返し行い、2023年1月に金沢大学に設置して、QCLの発振を確認した。今年度、試料にレーザー光の照射テストを行ったが、充分な照射パワーが得られなかった。そこで、基盤研究(A)との合算により、米国製のQCLシステムを導入した。QCLシステムを、現有のFM-AFM装置と同じ除振機構の上に設置し、探針直下の試料に赤外レーザー光を照射するための光学系を設計し、組み込んだ。探針振動に同期させてレーザー発振できることを確認した。
本研究では、音叉型水晶振動子を基体とし金属探針を形成した力センサーを用いる。タングステン線を、酸化性ガス(水素と酸素の混合ガス)の高温の炎の中に入れるとタングステンの酸化・酸化物の昇華が繰り返され、エッチングされる。燃焼ガスラインにソレノイドバルブを導入して、エッチング時間を10 msの精度で制御した。W線を挿入後250-300 msで炎を消火すると再現性よく先端半径が100 nm以下のW探針を作製できた。炎エッチングで先鋭化したW探針先端を透過型電子顕微鏡(TEM)で、観察および電子線回折像を解析したところ、先端は[110]方向を向いて単結晶化していること、先端は扁平しており、扁平面が(001)面のテラスとステップから形成されていることが推定された。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

昨年度導入した、量子カスケードレーザー(QCL)では、当初見積もっていた仕様を満たしていなかったことが、今年度になって明らかとなった。今年度、基盤研究(A)との合算で、本研究の要求仕様を満たすQCLシステムを導入できたので、研究期間を1年延長して、当初目的の達成をめざす。

Strategy for Future Research Activity

FM-AFMの探針試料間への光の集光方法の検討から始め、充分な出力で発振しているか確認する。テスト試料として選定したマイカ基板を用いて、FM-AFM/TS-IR能力を実証する。

Report

(4 results)
  • 2023 Research-status Report
  • 2022 Research-status Report
  • 2021 Comments on the Screening Results   Research-status Report
  • Research Products

    (32 results)

All 2023 2022 2021 Other

All Journal Article (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 4 results,  Open Access: 1 results) Presentation (26 results) (of which Int'l Joint Research: 13 results,  Invited: 1 results) Remarks (2 results)

  • [Journal Article] Surface Effect on Young’s Modulus of Sub-Two-Nanometer Gold [111] Nanocontacts2022

    • Author(s)
      Zhang Jiaqi、Tomitori Masahiko、Arai Toyoko、Oshima Yoshifumi
    • Journal Title

      Physical Review Letters

      Volume: 128 Issue: 14 Pages: 146101-146101

    • DOI

      10.1103/physrevlett.128.146101

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      2022 Research-status Report 2021 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Mechanical energy dissipation of an oscillating cantilever close to a conductive substrate partly covered with thin mica films evaluated by frequency modulation atomic force microscopy2022

    • Author(s)
      Hasan Md Mahamudul、Arai Toyoko、Tomitori Masahiko
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: published online Issue: 6 Pages: 065006-065006

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac6b02

    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Peculiar Atomic Bond Nature in Platinum Monatomic Chains2021

    • Author(s)
      Zhang Jiaqi、Ishizuka Keisuke、Tomitori Masahiko、Arai Toyoko、Hongo Kenta、Maezono Ryo、Tosatti Erio、Oshima Yoshifumi
    • Journal Title

      Nano Letters

      Volume: online Issue: 9 Pages: 1-7

    • DOI

      10.1021/acs.nanolett.1c00564

    • Related Report
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    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Critical shear stress of gold nanocontacts estimated by in situ transmission electron microscopy equipped with a quartz length-extension resonator2021

    • Author(s)
      Liu Jiaming、Zhang Jiaqi、Arai Toyoko、Tomitori Masahiko、Oshima Yoshifumi
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 14 Issue: 7 Pages: 075006-075006

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac09bd

    • Related Report
      2021 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Observation of calcite surface in nanometer-thick water film by frequency modulation atomic force microscopy2023

    • Author(s)
      Voni Fulitasari, Yuki Araki, Toyoko Arai
    • Organizer
      The 9th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies(EM-NANO2023)
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      2023 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] In situ observation of Nano-Water Droplet on SiO2 glass by FM-AFM2023

    • Author(s)
      Yuki Araki, Taketoshi Minato, Toyoko Arai
    • Organizer
      The 9th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies(EM-NANO2023)
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      2023 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Real-Space DFT simulation of energy dissipation due to atomic displacements of a Si tip and a Si(111)-(7×7) surface detected by nc-AFM2023

    • Author(s)
      Toyoko Arai, Jun-Ichi Iwata, Atsushi Oshiyama, Masahiko Tomitori
    • Organizer
      The 24rd International Conference on Non-contact Atomic Force Microscopy (ncAFM2023)
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] High-temperature flame etching to prepare tungsten tips for scanning probe microscopy2023

    • Author(s)
      Toyoko Arai, Nobuhiko Utsunomiya, Masahiko Tomitori
    • Organizer
      The 24rd International Conference on Non-contact Atomic Force Microscopy (ncAFM2023)
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      2023 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Structural and chemical analysis of tungsten tips for scanning probe microscopy prepared by flame etching2023

    • Author(s)
      Yohei Nakano, Nobuhiko Utsunomiya, Toyoko Arai, Masahiko Tomitori
    • Organizer
      JAIST International Symposium of Nano-Materials for Novel Devices
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      2023 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Introduction of microscopic nanomechanical measurement method2023

    • Author(s)
      Atsuki Uno, Jiaming Liu, Toyoko Arai, Masahiko Tomitori, and Yoshifumi Oshima
    • Organizer
      JAIST International Symposium of Nano-Materials for Novel Devices
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      2023 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Estimation of Critical Shear Stress of Au nanocontacts using microscopic nanomechanics measurement method2023

    • Author(s)
      Jiaming Liu, Toyoko Arai, Masahiko Tomitori, and Yoshifumi Oshima
    • Organizer
      JAIST International Symposium of Nano-Materials for Novel Devices
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      2023 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 顕微ナノメカニックス計測法による金ナノ接点臨界せん断応力の計測2023

    • Author(s)
      劉佳明、新井豊子、富取正彦、大島義文
    • Organizer
      令和5年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
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      2023 Research-status Report
  • [Presentation] Oscillatory behavior of dissipation energy in hydration layers at the interface between a nanometer-thin water film and a KBr(100) surface observed by frequency modulation atomic force microscopy2022

    • Author(s)
      Toyoko Arai, Wataru Hamamoto
    • Organizer
      The 23rd International Conference on Non-contact Atomic Force Microscopy
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      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Surface resistivity evaluated by frequency modulation atomic force microscopy through Joule heat energy dissipation2022

    • Author(s)
      M. Tomitori, M. M. Hasan, T. Kato, T. Arai
    • Organizer
      The 23rd International Conference on Non-contact Atomic Force Microscopy
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      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Surface Effect on Young’s Modulus of Sub-Two-Nanometer Gold [111] Nanocontacts2022

    • Author(s)
      Jiaqi Zhang, Masahiko Tomitori, Toyoko Arai, Yoshifumi Oshima
    • Organizer
      The 22nd International vacuum congress (IVC-22)
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      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Critical shear stress of gold nanocontact measured by TEM combined with a quartz resonator2022

    • Author(s)
      Jiaming Liu, Jiaqi Zhang, Toyoko Arai, Masahiko Tomitori, Yoshifumi Oshima
    • Organizer
      The 22nd International vacuum congress (IVC-22)
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      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Non-contact evaluation of surface resistivity using frequency modulation atomic force microscopy2022

    • Author(s)
      Takahiro Kato, Md Mahamudul Hasan, Masahiko Tomitori, Toyoko Arai
    • Organizer
      The 22nd International vacuum congress (IVC-22)
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] In situ observation of Nano-Water Droplet on SiO2 glass by FM-AFM2022

    • Author(s)
      Yuki Araki, Toyoko Arai
    • Organizer
      The 22nd International vacuum congress (IVC-22)
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 長辺振動水晶振動子(LER)を用いた顕微ナノメカニクス計測法の開発 ~ 原子間結合強度の測定 ~2022

    • Author(s)
      大島義文, Jiaqi Zhang, 新井豊子, 富取正彦
    • Organizer
      電子情報通信学会  電子デバイス研究会(ED)
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    • Invited
  • [Presentation] 周波数原子間力顕微鏡によるガラス表面のナノ水滴観察2022

    • Author(s)
      荒木優希,湊丈俊,新井豊子
    • Organizer
      表面界面スペクトロスコピー研究会2022
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  • [Presentation] 炎アニールにより先鋭化したタングステン探針の作製と先端形状評価2022

    • Author(s)
      宇都宮信彦, 中野陽平, 富取正彦, 新井豊子
    • Organizer
      令和5年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
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  • [Presentation] 周波数変調原子間力顕微鏡を用いた非接触での表面抵抗評価2022

    • Author(s)
      島尚生, 加藤貴洋, 新井豊子
    • Organizer
      令和5年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
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  • [Presentation] 水素-酸素ガス炎エッチングによって調整したタングステン探針の評価2022

    • Author(s)
      宇都宮 信彦, 富取 正彦, 新井 豊子
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
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  • [Presentation] 周波数変調原子間力顕微鏡を用いた金属の表面抵抗評価2022

    • Author(s)
      島 尚生, 加藤 貴洋, 富取 正彦, 新井 豊子
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
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  • [Presentation] Critical shear stress of gold nanocontact measured by TEM combined with a quartz resonator2021

    • Author(s)
      Jiaming Liu, Jiaqi Zhang, Toyoko Arai, Masahiko Tomitori, Yoshifumi Oshima
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
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  • [Presentation] Mechanical properties of Pt atomic chains measured by TEM coupled with a quartz resonator2021

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      Jiaqi Zhang, Masahiko Tomitori, Toyoko Arai, Kenta Hongo, Ryo Maezono, Yoshifumi Oshima
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      第82回応用物理学会秋季学術講演会
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  • [Presentation] qPlusセンサー用サファイア探針形状が FM-AFM 像に与える影響2021

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      中野陽平、桐山和大、新井豊子
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      令和4年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
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  • [Presentation] 周波数変調原子間力顕微鏡を用いた表面抵抗測定法の考察2021

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      高畠 侑馬、浜本 和、富取 正彦、新井 豊子
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  • [Presentation] 周波数変調原子間力顕微鏡による KBr/ナノ水膜界面の観察と散逸エネルギー計測2021

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      浜本 和、新井 豊子
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      第69回応用物理学会春季学術講演会
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  • [Presentation] 水晶振動子を組み込んだ TEM法による金ナノ接点の臨界せん断応力サイズ依存性の研究2021

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      劉 佳明、張 家奇、新井 豊子、富取 正彦、大島 義文
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      第69回応用物理学会春季学術講演会
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  • [Remarks] 金沢大学 ナノ物理学研究室

    • URL

      https://nanophys.w3.kanazawa-u.ac.jp/

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  • [Remarks] 金沢大学 ナノ物理学研究室

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      https://nanophys.w3.kanazawa-u.ac.jp/

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Published: 2021-07-13   Modified: 2024-12-25  

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