異種材料集積化に向けた活性化透明極薄膜による大気中室温接合への挑戦
| Project/Area Number |
21K18729
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Review Section |
Medium-sized Section 21:Electrical and electronic engineering and related fields
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
多喜川 良 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (80706846)
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| Project Period (FY) |
2021-07-09 – 2024-03-31
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2023)
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| Budget Amount *help |
¥6,240,000 (Direct Cost: ¥4,800,000、Indirect Cost: ¥1,440,000)
Fiscal Year 2023: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Fiscal Year 2022: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2021: ¥3,380,000 (Direct Cost: ¥2,600,000、Indirect Cost: ¥780,000)
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| Keywords | 低温集積技術 / 大気低温接合 / 活性化薄膜形成 / 活性透明膜形成 |
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| Outline of Research at the Start |
本研究では、次世代の低コスト異種材料集積法の創成に向けて、活性透明膜を利用した大気室温接合技術の開発に挑戦する。大気下における活性透明膜形成・室温接合の検証を通じ、接合メカニズムについて理解を深めるとともに光・電子材料の異種材料接合への展開を検討する。
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| Outline of Annual Research Achievements |
次世代情報社会で要求される小型・高機能・多機能光マイクロシステム実現に向けて、異種材料集積技術の重要性が高まっている。本研究では、将来の低コストかつ低温プロセスの異種材料集積技術の創出を目指し、従来のはんだ接合や金属バンプ接合とは異なる活性透明薄膜を利用した新しい大気下における低温接合技術の可能性探索を目的としている。
本年度は主に、昨年度の大気接合実験の結果を踏まえ、真空下における低温接合実験に立ち返り接合特性の比較・改善に努めた。透明薄膜の活性化前後の表面形状・構造、接合界面近傍の原子構造解析や接合強度測定試験等を通じ、接合界面状態の原子レベルでの理解を進めた。これらの結果から強固な接合界面形成のための多くの知見を得ることに成功した。その他、表面活性化接合法による各種スパッタ極薄膜の大気低温接合実験やプラズマ活性化を利用した親水接合実験も行い、基礎データ取得も行った。
以上より、本研究は将来の簡便な大気低温接合プロセス開発及び強固な接合界面形成に向けた基礎データ取得に繋がった。本年度は最終年度となるが今後も引き続き研究を推進し、得られた成果をまとめ学会発表や学術論文誌への投稿を行っていく予定である。
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Report
(3 results)
Research Products
(15 results)
