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Development of zero TCR film using semiconductor-metal transition

Research Project

Project/Area Number 21K18805
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Medium-sized Section 26:Materials engineering and related fields
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

Sutou Yuji  東北大学, 工学研究科, 教授 (80375196)

Project Period (FY) 2021-07-09 – 2023-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2022)
Budget Amount *help
¥6,370,000 (Direct Cost: ¥4,900,000、Indirect Cost: ¥1,470,000)
Fiscal Year 2022: ¥3,120,000 (Direct Cost: ¥2,400,000、Indirect Cost: ¥720,000)
Fiscal Year 2021: ¥3,250,000 (Direct Cost: ¥2,500,000、Indirect Cost: ¥750,000)
Keywords抵抗の温度係数 / 相制御 / 比抵抗 / カルコゲナイド薄膜 / 高比抵抗合金 / 温度係数 / 高抵抗材料 / 相変化材料 / 相転移 / カルコゲナイド
Outline of Research at the Start

様々な電子デバイスの高性能化、安全性の向上、省エネルギー化の達成には、それらを駆動し制御する根幹を支える「抵抗器」の高精度化が必須であり、将来の情報化社会や省エネルギー社会の発展に向けては、広い温度範囲にて抵抗値が変化しない“ゼロ温度係数(TCR)”を持つ抵抗材が不可欠である。本研究では、ゼロTCRの実現に向け、相変化型カルコゲナイドが示す半導体相-金属相転移に着目し、相制御及び半導体/金属相界面制御を通して、材料が元来持っている「温度変化に伴って生じる電気抵抗の変化」という性質を示さない常識を打ち破る材料創成に挑む。

Outline of Final Research Achievements

In order to enhance the performance, safety, and energy efficiency of various electronic devices, it is essential to improve the precision of resistors that support to operate and control the devices. In this study, through phase control and phase interface control of materials, we attempted to realize unique materials that does not exhibit the change in electrical resistance depending on temperature (i.e., temperature coefficient in resistance: TCR). As a result, it was found that an extremely low TCR can be achieved by controlling the fractions of semiconductor-like crystalline-phase and metallic crystalline-phase in the phase-change chalcogenide thin film. Furthermore, in Fe-Cr-Al-Co alloys, it was found that a disordered A2 + ordered B2 two-phase separation microstructure can achieve high resistivity and low TCR.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

半導体相変化型薄膜や高比抵抗合金といった様々な材料の相および相界面の制御により、材料自身の抵抗の温度依存性を極限まで低減するための組織設計指針を示した本成果の学術的及び工業的な意義は高い。本研究において得られた、高比抵抗かつ極めて小さなTCRを示す実現する相変化型カルコゲナイド薄膜やFe―Cr-Al-Co系合金は、様々な抵抗器の更なる信頼性向上の実現を期待させるものであり、本研究で得られた成果は社会的にも意義深いと考えられる。

Report

(3 results)
  • 2022 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2021 Research-status Report
  • Research Products

    (5 results)

All 2022

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (3 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Electrical Conduction Mechanism of β-MnTe Thin Film with Wurtzite-Type Structure Using Radiofrequency Magnetron Sputtering2022

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Journal Title

      Physica status solidi rapid research letters

      Volume: 16 Issue: 9 Pages: 2100641-2100641

    • DOI

      10.1002/pssr.202100641

    • Related Report
      2021 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] リフトオフプロセスによるβ-MnTeフレーク試料の作製と熱量測定2022

    • Author(s)
      森竣祐、須藤祐司
    • Organizer
      日本金属学会2023年春季大会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Cu2GeTe3の半導体/金属相変化を利用した比抵抗の低温度係数化2022

    • Author(s)
      皆瀬陽平, 双逸, 安藤大輔, 須藤祐司
    • Organizer
      令和3年度日本材料科学会北海道・東北支部 第4回 材料科学コロキウム
    • Related Report
      2021 Research-status Report
  • [Presentation] 高抵抗Fe-Cr-Al-Co合金の抵抗温度係数に及ぼす組成および熱処理条件の影響2022

    • Author(s)
      監物幸翼、安藤大輔、石田清仁、須藤祐司
    • Organizer
      日本金属学会2021年秋期第169回講演大会
    • Related Report
      2021 Research-status Report
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 高比抵抗合金2022

    • Inventor(s)
      須藤祐司、監物幸翼、安藤大輔、石田清仁
    • Industrial Property Rights Holder
      東北大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2022
    • Related Report
      2021 Research-status Report

URL: 

Published: 2021-07-13   Modified: 2024-01-30  

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