High Durability of Biomimetic High-speed High-efficient Electrochromic Thin Films

• Project/Area Number: 22360266
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Physical properties of metals
• Research Institution: Chiba Institute of Technology
• Principal Investigator: INOUE Yasushi 千葉工業大学, 工学部, 教授 (10252264)
• Project Period (FY): 2010 – 2012
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2012)
• Budget Amount: ¥15,470,000 (Direct Cost: ¥11,900,000、Indirect Cost: ¥3,570,000); Fiscal Year 2012: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2011: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000); Fiscal Year 2010: ¥6,760,000 (Direct Cost: ¥5,200,000、Indirect Cost: ¥1,560,000)
• Keywords: 薄膜物性 / エレクトロクロミック / 窒化インジウム / 斜め堆積法 / バイオミメティック / 反応性プラズマ / 吸着誘起型エレクトロクロミック / 微絨毛構造 / 窒素ラジカル支援真空蒸着 / 反応性スパッタリング / 繰返し耐久性 / ナノロッド構造 / 吸着誘起型EC

Research Abstract

This study elucidated that the degradation of electrochromic property in microvillus-structured InN film is caused by precipitation of In(OH)3nanoparticles on the film surface.

Research Products

• [Journal Article] 小腸絨毛構造に学ぶ形態制御エレクトロクロミック薄膜 (2012)
  • Author(s): 井上泰志,高井治
  • Journal Title: 材料の科学と工学 Volume: Vol.49, No.4 Pages: 162-165
  • NAID: 10030957231
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 小腸絨毛構造に学ぶ形態制御エレクトロクロミック薄膜 (2012)
  • Author(s): 井上泰志
  • Journal Title: 材料の科学と工学 Volume: 49 Pages: 16-20
  • NAID: 10030957231
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Electrochromic phenomenon in indium-tin oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering (2010)
  • Author(s): Yasushi Inoue, Jun Matsui, Hiroyuki Ishikawa, Hayato Tsuda, Osamu Takai
  • Journal Title: Thin Solid Films Volume: 518
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] プラズマ環境における動的斜め堆積法 (2010)
  • Author(s): 井上泰志, 高井治
  • Journal Title: 表面技術 Volume: 61 Pages: 209-212
  • NAID: 10026348706
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 微絨毛構造化 InN 薄膜のエレクトロクロミック色変化繰返し耐久性
  • Author(s): 井上泰志,小田哲也,木村 光,高井治
  • Journal Title: 表面技術
  • NAID: 130006770564
  • Peer Reviewed
• [Presentation] 吸着誘起型 EC デバイスの調光特性調査 (2013)
  • Author(s): 木村 光,小田哲也,井上泰志,高井 治
  • Organizer: 表面技術協会第127回講演大会
  • Place of Presentation: 日本工業大学
• [Presentation] 窒化インジウム薄膜のエレクトロクロミック耐久性に対する微細構造の影響 (2013)
  • Author(s): 小田哲也,木村 光, 井上泰志,高井 治
  • Organizer: 表面技術協会第127回講演大会
  • Place of Presentation: 日本工業大学
• [Presentation] 斜め堆積法により作製した微細構造化ITO 薄膜の透過率スペクトル (2013)
  • Author(s): 佐藤 怜,大川修平,荻島大樹, 井上泰志,高井 治
  • Organizer: 表面技術協会第127回講演大会
  • Place of Presentation: 日本工業大学
• [Presentation] 斜め堆積スパッタリング法による窒化スズ薄膜の作製と微細構造制御 (2013)
  • Author(s): 大川修平,荻島大樹,佐藤 怜, 井上泰志,高井 治
  • Organizer: 表面技術協会第127回講演大会
  • Place of Presentation: 日本工業大学
• [Presentation] Cyclic Durability for Adsorption-induced Electrochromism of InN Films withBiomimetic Microvillus-like Nanostructure (2013)
  • Author(s): Y. Inoue, T. Oda, H. Kimura, and O. Takai
  • Organizer: 13th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing (BMMP13)
  • Place of Presentation: Takayama
• [Presentation] 斜め堆積反応性スパッタリングにより作製した微絨毛構造化窒化スズ薄膜の特性 (2013)
  • Author(s): 井上泰志,大川修平,佐藤 怜,荻島大樹,高井 治
  • Organizer: 第30回プラズマプロセシング研究会(SPP-30)
  • Place of Presentation: 浜松研修交流センター
• [Presentation] 近紫外波長領域で動作するエレクトロクロミック薄膜の探索 (2012)
  • Author(s): 石附達也, 田中元樹, 大久保剣, 木村拓也, 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 日本金属学会第150回講演大会
  • Place of Presentation: 横浜国立大学(神奈川県)
  • Year and Date: 2012-03-28
• [Presentation] 斜め堆積反応性蒸着法による窒化物薄膜のナノ微細構造制御 (2012)
  • Author(s): 田中元樹, 大久保剣, 木村拓矢, 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 日本金属学会第150回講演大会
  • Place of Presentation: 横浜国立大学(神奈川県)
  • Year and Date: 2012-03-28
• [Presentation] 窒化スズ薄膜の結晶相に対する基板角度条件の影響 (2012)
  • Author(s): 細貝健史, 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 早稲田大学(東京都)
  • Year and Date: 2012-03-16
• [Presentation] 酸化スズ薄膜のエレクトロクロミック特性 (2012)
  • Author(s): 井上泰志, 石附達也, 高井治
  • Organizer: 表面技術協会第125回講演大会
  • Place of Presentation: 東京都市大学(東京都)
  • Year and Date: 2012-03-14
• [Presentation] Nanostructure Control in Biomimetic-designed InN Films Deposited by Glancing-angle Reactive Evaporation (2012)
  • Author(s): Y.Inoue, G.Tanaka, O.Takai
  • Organizer: The 12th International Symposium on Biomimetic Materials Processing
  • Place of Presentation: Nagoya University (Japan)(招待講演)
  • Year and Date: 2012-01-24
• [Presentation] Deterioration phenomenon in the cyclic polarization of electrochromic InN (2012)
  • Author(s): K.Ohkubo, T.Kimura, G.Tanaka, Y.Inoue, O.Takai
  • Organizer: The 12th International Symposium on Biomimetic Materials Processing
  • Place of Presentation: Nagoya University (Japan)
  • Year and Date: 2012-01-24
• [Presentation] Development of EC cell using biomimetic-designed InN film (2012)
  • Author(s): T.Kimura, K.Ohkubo, G.Tanaka, Y.Inoue, O.Takai
  • Organizer: The 12th International Symposium on Biomimetic Materials Processing
  • Place of Presentation: Nagoya University (Japan)
  • Year and Date: 2012-01-24
• [Presentation] 斜め堆積スパッタ膜の微細構造に対する表面吸着ポテンシャルの影響 II (2012)
  • Author(s): 井上泰志,高井 治
  • Organizer: 第56回日本学術会議材料工学連合講演会
  • Place of Presentation: 京都テルサ
• [Presentation] Energy saving in air conditioning by adsorption-induced electrochromic device (2012)
  • Author(s): Y. Inoue, H. Kimura, T. Oda, O. Takai
  • Organizer: 11th Asia-Pasific Conf. Plasma Sci.Technol
  • Place of Presentation: Kyoto Univ
• [Presentation] Cyclic durability for adsorption-induced electrochromism of InN films with isolated nanocolumnar structure (2012)
  • Author(s): Y. Inoue, S. Ohkawa, T. Oda, R. Sato, H. Kimura, and O. Takai
  • Organizer: IUMRS Int. Conf. Electronic Mater. 2012
  • Place of Presentation: Pacifico Yokohama
• [Presentation] プラズマ環境における斜め堆積プロセスのモンテカルロシミュレーション (2012)
  • Author(s): 井上泰志,大川修平
  • Organizer: 日本金属学会 2012 年秋期(第151回)講演大会
  • Place of Presentation: 愛媛大学
• [Presentation] 斜め堆積反応性蒸着法による窒化物薄膜のナノ微細構造制御 (2012)
  • Author(s): 田中元樹,大久保剣,木村拓也,井上泰志, 高井 治
  • Organizer: 日本金属学会第150回春期講演大会
  • Place of Presentation: 横浜国立大学
• [Presentation] 近紫外波長領域で動作するエレクトロクロミック薄膜の探索 (2012)
  • Author(s): 石附達也,田中元樹,大久保剣,木村拓也, 井上泰志,高井 治
  • Organizer: 日本金属学会第150回春期講演大会
  • Place of Presentation: 横浜国立大学
• [Presentation] 窒化スズ薄膜の結晶相に対する基板角度条件の影響 (2012)
  • Author(s): 細貝健史,井上泰志,高井 治
  • Organizer: 応用物理学会第59回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 早稲田大学
• [Presentation] 酸化スズ薄膜のエレクトロクロミック特性 (2012)
  • Author(s): 井上泰志,石附達也,高井 治
  • Organizer: 表面技術協会第125回講演大会
  • Place of Presentation: 東京都市大学
• [Presentation] Deterioration Phenomenon in the Cyclic Polarization of Electrochromic InN (2012)
  • Author(s): K. Ohkubo, T. Kimura, G. Tanaka, Y. Inoue, O. Takai
  • Organizer: The 12th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing
  • Place of Presentation: Nagoya Univ
• [Presentation] Development of EC Cell using Biomimetic-designed InN Film (2012)
  • Author(s): T. Kimura, K. Ohkubo, G. Tanaka, Y. Inoue, O. Takai
  • Organizer: The 12th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing
  • Place of Presentation: Nagoya Univ
• [Presentation] Nanostructure Control in Biomimetic-designed InN Films Deposited by Glancing-angle Reactive Evaporation (2012)
  • Author(s): Y. Inoue, G. Tanaka, O. Takai
  • Organizer: The 12th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing
  • Place of Presentation: Nagoya Univ
• [Presentation] 反応性スパッタにより作製した酸化スズ薄膜の光学的および電気的特性 (2011)
  • Author(s): 石附達也, 細貝健史, 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 第21回日本MRS学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター(神奈川県)
  • Year and Date: 2011-12-20
• [Presentation] スパッタ堆積した窒化スズ薄膜の結晶相に対する基板角度の影響 (2011)
  • Author(s): 細貝健史, 石附達也, 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 第21回日本MRS学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター(神奈川県)
  • Year and Date: 2011-12-20
• [Presentation] InNのエレクトロクロミック特性の分極サイクル依存性 (2011)
  • Author(s): 大久保剣, 木村拓矢, 田中元樹, 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 第21回日本MRS学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター(神奈川県)
  • Year and Date: 2011-12-20
• [Presentation] 吸着誘起型エレクトロクロミック材料を用いた調光素子の開発 (2011)
  • Author(s): 木村拓矢, 大久保剣, 田中元気, 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 第21回日本MRS学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター(神奈川県)
  • Year and Date: 2011-12-20
• [Presentation] 斜め堆積反応性蒸着法による窒化物薄膜のナノ微細構造制御 (2011)
  • Author(s): 田中元樹, 大久保剣, 木村拓矢, 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 第21回日本MRS学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター(神奈川県)
  • Year and Date: 2011-12-20
• [Presentation] Influences of Sputtering Conditions on Crystallinity of Tin-nitride Thin Films (2011)
  • Author(s): T.Hosogai, Y.Inoue, O.Takai
  • Organizer: The 15th International Conference on Thin Films
  • Place of Presentation: Kyoto Terrsa (Japan)
  • Year and Date: 2011-11-09
• [Presentation] Control of Isolated Nanocolumnar Structure of Nitride Films by Glancing-angle Evaporation with Nitrogen Radical Source (2011)
  • Author(s): G.Tanaka, Y.Inoue, O.Takai
  • Organizer: The 15th International Conference on Thin Films
  • Place of Presentation: Kyoto Terrsa (Japan)
  • Year and Date: 2011-11-09
• [Presentation] Discovery of Novel Electrochromic Oxide Materials Based on Adsorption-induced Mechanism (2011)
  • Author(s): T.Ishizuki, Y.Inoue, O.Takai
  • Organizer: The 15th International Conference on Thin Films
  • Place of Presentation: Kyoto Terrsa (Japan)
  • Year and Date: 2011-11-08
• [Presentation] Mechanism of Adsorption-induced Electrochromism in Nitride Thin Films (2011)
  • Author(s): Y.Inoue, O.Takai
  • Organizer: The 15th International Conference on Thin Films
  • Place of Presentation: Kyoto Terrsa (Japan)
  • Year and Date: 2011-11-08
• [Presentation] 斜め堆積スパッタ膜の微細構造に対する表面吸着ポテンシャルの影響 (2011)
  • Author(s): 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 第55回日本学術会議材料工学連合講演会
  • Place of Presentation: 京都教育文化センター(京都府)
  • Year and Date: 2011-10-19
• [Presentation] Cyclic Deterioration of Electrochromic Indium-nitride Films Deposited by Reactive Evaporation (2011)
  • Author(s): Yasushi Inoue, Osamu Takai
  • Organizer: 12th IUMRS International Conference in Asia
  • Place of Presentation: Taipei World Trade Center Nangang Exhibition Hall (Taiwan)
  • Year and Date: 2011-09-19
• [Presentation] Monte Carlo simulation of glancing-angle deposition for reactive gas environments (2011)
  • Author(s): Yasushi Inoue, Osamu Takai
  • Organizer: 第24回プラズマ材料科学シンポジウム
  • Place of Presentation: 大阪大学(大阪府)
  • Year and Date: 2011-07-19
• [Presentation] Controllability of nanocolumnar structures in reactive sputtering with glancing-angle scheme (2011)
  • Author(s): Yasushi Inoue, Osamu Takai
  • Organizer: The 11th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
  • Place of Presentation: Kyoto Research Park (Japan)
  • Year and Date: 2011-07-08
• [Presentation] 斜め堆積法を適用したプラズマ成膜プロセスのモンテカルロシミュレーション (2011)
  • Author(s): 井上泰志
  • Organizer: 表面技術協会第123回講演大会
  • Place of Presentation: 関東学院大学(東日本大震災のため概要発行のみ)
  • Year and Date: 2011-03-17
• [Presentation] 斜め堆積法を適用した反応性スパッタ膜における微細構造制御性 (2011)
  • Author(s): 篠崎直人, 井上泰志
  • Organizer: 表面技術協会第123回講演大会
  • Place of Presentation: 関東学院大学(東日本大震災のため概要発行のみ)
  • Year and Date: 2011-03-17
• [Presentation] 吸着誘起型エレクトロクロミックInN薄膜の繰り返し耐久性 (2011)
  • Author(s): 梅田祐史, 井上泰志
  • Organizer: 表面技術協会第123回講演大会
  • Place of Presentation: 関東学院大学(東日本大震災のため概要発行のみ)
  • Year and Date: 2011-03-17
• [Presentation] 斜め堆積反応性蒸着法による窒化物薄膜のナノ微細構造制御 (2011)
  • Author(s): 田中元樹, 大久保剣, 木村拓也, 井上泰志, 高井 治
  • Organizer: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター
• [Presentation] 吸着誘起型エレクトロクロミック材料を用いた調光素子の開発 (2011)
  • Author(s): 木村拓也, 大久保剣, 田中元樹, 井上泰志, 高井 治
  • Organizer: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター
• [Presentation] InN のエレクトロクロミック特性の分極サイクル依存性 (2011)
  • Author(s): 大久保剣, 木村拓也, 田中元樹, 井上泰志, 高井 治
  • Organizer: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター
• [Presentation] スパッタ堆積した窒化スズ薄膜の結晶相に対する基板角度の影響 (2011)
  • Author(s): 細貝健史, 石附達也, 井上泰志, 高井 治
  • Organizer: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター
• [Presentation] 反応性スパッタにより作製した酸化スズ薄膜の光学的および電気的特性 (2011)
  • Author(s): 石附達也, 細貝健史, 井上泰志, 高井 治
  • Organizer: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター
• [Presentation] ナノ微細構造化による薄膜材料の高機能化 (2011)
  • Author(s): 井上泰志,高井 治
  • Organizer: 表面技術協会関東支部合同講演・見学会
  • Place of Presentation: 神奈川県産業技術センター
• [Presentation] Control of Isolated Nanocolumnar Structure of Nitride Films by Glancing-angle Evaporation with Nitrogen Radical Source (2011)
  • Author(s): T. Hosogai, Y. Inoue, O. Takai
  • Organizer: 15th Int. Conf. Thin Films
  • Place of Presentation: Kyoto TERRSA
• [Presentation] Discovery of Novel Electrochromic Oxide Materials Based on Adsorption-induced Mechanism (2011)
  • Author(s): T. Ishizuki, Y. Inoue, O. Takai
  • Organizer: 15th Int. Conf. Thin Films
  • Place of Presentation: Kyoto TERRSA
• [Presentation] Mechanism of Adsorptioninduced Electrochromism in Nitride Thin Films (2011)
  • Author(s): Y. Inoue, O. Takai
  • Organizer: 15th Int. Conf. Thin Films
  • Place of Presentation: Kyoto TERRSA
• [Presentation] 斜め堆積スパッタ膜の微細構造に対する表面吸着ポテンシャルの影響 (2011)
  • Author(s): 井上泰志,高井 治
  • Organizer: 第55回日本学術会議材料工学連合講演会
  • Place of Presentation: 京都教育文化センター
• [Presentation] Cyclic Deterioration of Electrochromic Indium-nitride Films Deposited by Reactive Evaporation (2011)
  • Author(s): Y. Inoue, O. Takai
  • Organizer: 12th IUMRS Int. Conf. in Asia 2011
  • Place of Presentation: TWTC Nangang, Taipei
• [Presentation] Controllability of nanocolumnar structures in reactive sputtering with glancing-angle scheme (2011)
  • Author(s): Y. Inoue, and O. Takai
  • Organizer: The 11th Int. Symp. Sputtering & Plasma Processes 2011
  • Place of Presentation: Kyoto Research Park
• [Presentation] Influences of Nanocolumnar Morphology on Adsorption-induced Electrochromism of Reactive-sputtered Nitride and Oxide Films (2010)
  • Author(s): Y.Inoue, N.Shinozaki, H.Tsuda, O.Takai
  • Organizer: 日本MRS第20回学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜市開港記念会館(神奈川県)
  • Year and Date: 2010-12-21
• [Presentation] 斜め堆積反応性スパッタのシミュレーション (2010)
  • Author(s): 井上泰志
  • Organizer: 日本真空協会SP部会第7回技術交流会
  • Place of Presentation: 機械振興会館(東京都)
  • Year and Date: 2010-12-02
• [Presentation] Degradation of Microstructured InN Films During Adsorption-induced Electrochromism (2010)
  • Author(s): Yasushi Inoue, Osamu Takai
  • Organizer: The 1st Korea-Japan Symposium on Surface Technology
  • Place of Presentation: Songdo Park Hotel, Inchon, (Korea)(Invited)
  • Year and Date: 2010-11-26
• [Presentation] 反応性プラズマ環境下の斜め堆積法による微細構造化薄膜の作製 (2010)
  • Author(s): 井上泰志, 高井治
  • Organizer: 第54回日本学術会議材料工学連合講演会
  • Place of Presentation: ハートピア京都(京都府)
  • Year and Date: 2010-10-26
• [Presentation] 反応性プラズマプロセスにおけるボトムアップ式微細構造形成技術 (2010)
  • Author(s): 井上泰志
  • Organizer: 日本真空協会産業部会2010年度10月例会
  • Place of Presentation: 機械振興会館(東京都)(招待講演)
  • Year and Date: 2010-10-21
• [Presentation] Adsorbate-induced Electrochromism of Sputter-deposited ITO Films (2010)
  • Author(s): Yasushi Inoue, Osamu Takai
  • Organizer: 10th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
  • Place of Presentation: Lotte Hotel Jeju, Jeju, (Korea)(Invited)
  • Year and Date: 2010-07-06
• [Presentation] 高速な光透過率変化特性を有する薄膜材料 (2010)
  • Author(s): 井上泰志
  • Organizer: トライボコーティング技術研究会平成22年度第1回研究会
  • Place of Presentation: 東京都立産業技術研究センター(東京都)(招待講演)
  • Year and Date: 2010-06-04
• [Presentation] 吸着誘起型EC デバイスの調光特性調査
  • Author(s): 木村 光，小田哲也，井上泰志，高井 治
  • Organizer: 表面技術協会第127回講演大会
  • Place of Presentation: 日本工業大学（埼玉県）
• [Presentation] 窒化インジウム薄膜のエレクトロクロミック耐久性に対する微細構造の影響
  • Author(s): 小田哲也，木村 光，井上泰志，高井 治
  • Organizer: 表面技術協会第127回講演大会
  • Place of Presentation: 日本工業大学（埼玉県）
• [Presentation] 斜め堆積スパッタ膜の微細構造に対する表面吸着ポテンシャルの影響II
  • Author(s): 井上泰志，高井 治
  • Organizer: 第56回日本学術会議材料工学連合講演会
  • Place of Presentation: 京都テルサ（京都府）
• [Presentation] プラズマ環境における斜め堆積プロセスのモンテカルロシミュレーション
  • Author(s): 井上泰志，大川修平
  • Organizer: 日本金属学会2012年秋期(第151回)講演大会
  • Place of Presentation: 愛媛大学（愛媛県）
• [Presentation] プラズマ環境を利用した微細構造形成
  • Author(s): 井上泰志
  • Organizer: 日本化学会関東支部講演会
  • Place of Presentation: 日本化学会（東京都）
  • Invited
• [Presentation] Cyclic Durability for Adsorption-induced Electrochromism of InN Films with Biomimetic Microvillus-like Nanostructure
  • Author(s): Y. Inoue, T. Oda, H. Kimura, and O. Takai
  • Organizer: 13th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing
  • Place of Presentation: ホテルアソシア高山（岐阜県）
  • Invited
• [Presentation] Energy saving in air conditioning by adsorption-induced electrochromic device
  • Author(s): Yasushi Inoue, Hikaru Kimura, Tetsuya Oda, Osamu Takai
  • Organizer: 11th Asia-Pasific Conference on Plasma Science and Technology
  • Place of Presentation: 京都大学（京都府）
• [Presentation] Cyclic durability for adsorption-induced electrochromism of InN films with isolated nanocolumnar structure
  • Author(s): Y. Inoue, S. Ohkawa, T. Oda, R. Sato, H. Kimura, and O. Takai
  • Organizer: IUMRS International Conference on Electronic Materials 2012
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜（神奈川県）
• [Book] 光学薄膜 - 第25 節吸着誘起型エレクトロクロミック現象 (2013)
  • Author(s): 井上泰志,高井治
  • Publisher: 技術情報協会
• [Book] ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎 - 第2 章 真空およびプラズマ (2013)
  • Author(s): 井上泰志
  • Publisher: 表面技術協会
• [Book] ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎 (2013)
  • Author(s): 井上泰志（表面技術協会編）
  • Total Pages: 27
  • Publisher: コロナ社
• [Remarks]
  • URL: http://home.att.ne.jp/surf/isil/ys/
• [Remarks] 反応性プラズマプロセスを用いたボトムアップ型ナノ微細構造の形成
  • URL: http://home.att.ne.jp/surf/isil/ys/Research/EC-GLAD.pdf
• [Remarks]
  • URL: http://home.att.ne.jp/surf/isil/ys/