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Polymer surface morphology control by reactive ion etching and its application

Research Project

Project/Area Number 22510132
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Microdevices/Nanodevices
Research InstitutionToyama Industrial Technology Center,

Principal Investigator

NABESAWA Hirofumi  富山県工業技術センター, 中央研究所, 主任研究員 (50416145)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) SEKI Minoru  千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80206622)
Project Period (FY) 2010 – 2012
Project Status Completed (Fiscal Year 2012)
Budget Amount *help
¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Fiscal Year 2012: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2011: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2010: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000)
Keywordsプラズマ加工 / マイクロ・ナノデバイス / 反応性イオンエッチング / ポリマー / ポリマー微細加工 / コロイダルリソグラフィー
Research Abstract

n this study, we have developed the novel reactive ion etching (RIE) method to control polymer surface morphology in the wide range from smooth surface to grassy surface. It is found that the morphology is closely related to micromask concentration. Then, micro/nano array structure was formed on the polymer surface by using a combination of the RIE and colloidal lithography (CL) to prepare ordered particle monolayer as etching mask. Finally, a nanocone array structure on a PMMA was applied to protein chip, and the structure was effective for protein detection because of its large surface area.

Report

(4 results)
  • 2012 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2011 Annual Research Report
  • 2010 Annual Research Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2012 2010 Other

All Presentation (10 results) (of which Invited: 2 results)

  • [Presentation] マイクロ流体技術を用いた新規な化学反応・分離法の開発2012

    • Author(s)
      関実
    • Organizer
      化学工学会関西支部セミナー
    • Place of Presentation
      東レエンジニアリング(株)滋賀事業所
    • Year and Date
      2012-10-26
    • Related Report
      2012 Final Research Report
  • [Presentation] バイオプロセス開発のためのマイクロシステムの利用2012

    • Author(s)
      関実
    • Organizer
      化学工学会第44回秋季大会
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2012-09-20
    • Related Report
      2012 Final Research Report
  • [Presentation] マイクロ流体システムにおける微量操作と分離法に関する研究2012

    • Author(s)
      関実
    • Organizer
      化学工学会第77年会
    • Place of Presentation
      工学院大学
    • Year and Date
      2012-03-17
    • Related Report
      2012 Final Research Report
  • [Presentation] マイクロ流体システムにおける微量操作と分離法に関する研究2012

    • Author(s)
      関実
    • Organizer
      化学工学会第77年会
    • Place of Presentation
      工学院大学(研究賞受賞記念講演)(招待講演)
    • Year and Date
      2012-03-17
    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Presentation] Microfluidic Separation of Particles and Its Applications2012

    • Author(s)
      Minoru SEKI
    • Place of Presentation
      工学院大学
    • Year and Date
      2012-03-15
    • Related Report
      2012 Final Research Report
  • [Presentation] Microfluidic Separation of Particles and Its Applications2012

    • Author(s)
      Minoru Seki
    • Organizer
      化学工学会第77年会
    • Place of Presentation
      工学院大学(招待講演)
    • Year and Date
      2012-03-15
    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Presentation] コロイダルリソグラフィ一によるポリマープレートの微細加工2010

    • Author(s)
      蛭間崇元, 鍋澤浩文, 人母岳, 若林傑, 関実
    • Organizer
      第22回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
    • Place of Presentation
      名古屋大学
    • Year and Date
      2010-11-17
    • Related Report
      2012 Final Research Report
  • [Presentation] コロイダルリソグラフィーによるポリマープレートの微細加工2010

    • Author(s)
      蛭間崇元, 鍋澤浩文, 人母岳, 若林傑, 関実
    • Organizer
      第22回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
    • Place of Presentation
      名古屋大学医学部(愛知県)
    • Year and Date
      2010-11-17
    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Presentation] バイオプロセス開発のためのマイクロシステムの利用

    • Author(s)
      関実
    • Organizer
      化学工学会第44回秋季大会
    • Place of Presentation
      東北大学川内キャンパス
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] マイクロ流体技術を用いた新規な化学反応・分離法の開発

    • Author(s)
      関実
    • Organizer
      化学工学会関西支部セミナー
    • Place of Presentation
      東レエンジニアリング(株)滋賀事業所
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
    • Invited

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Published: 2010-08-23   Modified: 2019-07-29  

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