Modeling of low-pressure high-density magnetic neutral loop discharge processing plasmas and analysis of their dynamic control

• Project/Area Number: 22540500
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Plasma science
• Research Institution: Hokkaido University
• Principal Investigator: SUGAWARA Hirotake 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (90241356)
• Project Period (FY): 2010 – 2012
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2012)
• Budget Amount: ¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000); Fiscal Year 2012: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000); Fiscal Year 2011: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000); Fiscal Year 2010: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
• Keywords: 磁化プラズマ / 計算機解析 / 分界線 / 電子輸送 / 化学活性種 / 磁界制御 / 大面積均一処理 / ＮＬＤプラズマ / 誘導結合型プラズマ / プラズマプロセス / ドライエッチング / モンテカルロシミュレーション / NLDプラズマ

Research Abstract

Computer simulations of magnetic neutral loop discharge plasmasused for surface processing in fabrication of semiconductor integrated circuits have beenperformed. It was revealed that high-energy electrons were transported along theseparatrix of the magnetic field and generated reactive species there by dissociationof the medium gas. The flux of the reactive species on the semiconductor substrate washigh at the foot of separatrix. This result explained early experimental data well. Acontrol scheme for uniform wide-area processing by moving the foot of separatrix overthe substrate was proposed.

Research Products

• [Journal Article] Scattering-Based Stochastic Process Attracting Electrons Inward under Antiparallel Gradient Magnetic Fields (2013)
  • Author(s): H. Sugawara
  • Journal Title: J. Phys. Soc.Japan Volume: Vol.82,No.6
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Characteristics of Electron Conduction in a Gas under a Quadrupole Magnetic Field and Radio-Frequency Electric Fields (2013)
  • Author(s): H. Sugawara
  • Journal Title: Japan. J. Appl. Phys Volume: Vol.52,No.5
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Characteristics of Electron Conduction in a Gas under a Quadrupole Magnetic Field and Radio-Frequency Electric Fields (2013)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Journal Title: Japan. J. Appl. Phys. Volume: 52 Issue: 5R Pages: 056101-056101
  • DOI: 10.7567/jjap.52.056101
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Scattering-Based Stochastic Process Attracting Electrons Inward under Antiparallel Gradient Magnetic Fields (2013)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Journal Title: J. Phys. Soc. Japan. Volume: 82 Issue: 6 Pages: 064501-064501
  • DOI: 10.7566/jpsj.82.064501
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] NLDプラズマ中のイオン生成維持および基板へのイオン入射量均一化のための磁界制御 (2012)
  • Author(s): 吉田拓平、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • Journal Title: 電気学会論文誌(特集「プロセスプラズマの発生と応用」) Volume: Vol.132-A,No.4 Pages: 278-283
  • NAID: 10030524201
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] モンテカルロシミュレーションによるNLDプラズマの解析、講座 (2012)
  • Author(s): 菅原広剛
  • Journal Title: プラズマ・核融合学会誌 Volume: Vol.88,No.1 Pages: 43-44
• [Journal Article] Control of Magnetic Field for Sustainment of Ion Production and Uniform Ion Flux to Substrate in Neutral Loop Discharge Plasma (2012)
  • Author(s): 吉田 拓平
  • Journal Title: IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials Volume: 132 Issue: 4 Pages: 278-283
  • DOI: 10.1541/ieejfms.132.278
  • NAID: 10030524201
  • ISSN: 0385-4205, 1347-5533
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Structure and dynamics of a magnetic neutral loop discharge plasma described using electron motion in quadrupole magnetic field (2011)
  • Author(s): T. Osaga, H. Sugawara and Y. Sakurai
  • Journal Title: Plasma Sources Sci.Technol Volume: Vol.20,No.6
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48133
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Rectification effect of gradient antiparallel magnetic fields on electron conduction in a gas under a radio-frequency electric field (2011)
  • Author(s): H. Sugawara, T. Osaga and H. Yamamoto
  • Journal Title: Plasma Sources Sci. Technol Volume: Vol.20,No.5
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/50049
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Electron Distribution in a Quadrupole Magnetic Field to Drive Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma (2011)
  • Author(s): T. Osaga, Y. Sakurai and H. Sugawara
  • Journal Title: IEEETrans. Plasma Sci Volume: Vol.39,No.11 Pages: 2546-2547
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48517
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Control of Magnetic Field in Neutral Loop Discharge Plasma for Uniform Distribution of Ion Flux on Substrate (2011)
  • Author(s): Y. Sakurai, T. Osaga and H. Sugawara
  • Journal Title: IEEE Trans. Plasma Sci Volume: Vol.39,No.11 Pages: 2550-2551
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48516
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Control of Magnetic Field in Neutral Loop Discharge Plasma for Uniform Distribution of Ion Flux on Substrate (2011)
  • Author(s): Yohei Sakurai
  • Journal Title: IEEE Transactions on Plasma Science Volume: 39 Issue: 11 Pages: 2550-2551
  • DOI: 10.1109/tps.2011.2128895
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Electron Distribution in a Quadrupole Magnetic Field to Drive Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma (2011)
  • Author(s): Tsuyoshi Osaga
  • Journal Title: IEEE Transactions on Plasma Science Volume: 39 Issue: 11 Pages: 2546-2547
  • DOI: 10.1109/tps.2011.2151882
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Rectification effect of gradient antiparallel magnetic fields on electron conduction in a gas under a radio-frequency electric field (2011)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Journal Title: Plasma Sources Science and Technology Volume: 20 Issue: 5 Pages: 055002-055002
  • DOI: 10.1088/0963-0252/20/5/055002
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Structure and dynamics of a magnetic neutral loop discharge plasma described using electron motion in quadrupole magnetic field (2011)
  • Author(s): Tsuyoshi Osaga
  • Journal Title: Plasma Sources Science and Technology Volume: 20 Issue: 6 Pages: 065003-065003
  • DOI: 10.1088/0963-0252/20/6/065003
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Numerical simulation of electron transport in electric and magnetic fields for analysis of electron temperature and number density profiles measured in an argon magnetic neutral loop discharge plasma (2010)
  • Author(s): H. Sugawara, T. Osaga, H. Tsuboi, K. Kuwahara and S. Ogata
  • Journal Title: Japan. J. Appl. Phys Volume: Vol.49,No.8
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48516
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Numerical simulation of electron transport in electric and magnetic fields for analysis of electron temperature and number density profiles measured in an argon magnetic neutral loop discharge plasma (2010)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Journal Title: Japanese Journal of Applied Physics Volume: 49
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma (2010)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Journal Title: Conference Proceedings of 7th International Conference on Reactive Plasmas (ISBN 978-4-86348-101-5) Volume: 1
  • Peer Reviewed
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XXV)-ラジカル生成位置分布に及ぼす空間電荷電界の効果 (2013)
  • Author(s): 浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成25年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 名古屋大学東山キャンパス
  • Year and Date: 2013-03-20
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XXIV)-エッチャントラジカル基板入射量の気圧依存性 (2012)
  • Author(s): 浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: 北海道大学札幌キャンパス
  • Year and Date: 2012-10-20
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XXIII)-基板バイアス印加時の電位分布への影響 (2012)
  • Author(s): 吉田拓平(発表者)、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: 北海道大学札幌キャンパス
  • Year and Date: 2012-10-20
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XXII)-4極磁界・交流電界下の電子伝導 (2012)
  • Author(s): 菅原広剛(発表者)
  • Organizer: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 秋田大学手形キャンパス
  • Year and Date: 2012-09-21
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XXI)-エッチャントラジカル生成分布の気圧依存性 (2012)
  • Author(s): 浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛
  • Organizer: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 秋田大学手形キャンパス
  • Year and Date: 2012-09-21
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XX)-イオン輸送における空間電荷電界の効果 (2012)
  • Author(s): 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成24年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 広島工業大学五日市キャンパス
  • Year and Date: 2012-03-23
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XX)-イオン輸送における空間電荷電界の効果- (2012)
  • Author(s): 吉田拓平
  • Organizer: 平成24年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 広島工業大学(広島市)
  • Year and Date: 2012-03-23
• [Presentation] CF4NLDプラズマ構造の気圧依存性 (2012)
  • Author(s): 浅見勇介(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 第47回応用物理学会北海道支部/第8回日本光学会北海道地区合同学術講演会B-9
  • Place of Presentation: 北海道大学札幌キャンパス
  • Year and Date: 2012-01-06
• [Presentation] CF_4 NLDプラズマ構造の気圧依存性 (2012)
  • Author(s): 浅見勇介
  • Organizer: 第47回応用物理学会北海道支部/第8回日本光学会北海道地区合同学術講演会
  • Place of Presentation: 北海道大学(札幌市)
  • Year and Date: 2012-01-06
• [Presentation] Stochastic scattering process to induce inward electron flow in electron conduction path between antiparallel gradient magnetic fields (2012)
  • Author(s): H. Sugawara(発表者)
  • Organizer: XXI Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
  • Place of Presentation: Castelo de Santiago da Barra, Viana do Castelo, Portugal
• [Presentation] Stochastic scattering process to induce inward electron flow in electron conduction path between antiparallel gradient magnetic fields (2012)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Organizer: XXI Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
  • Place of Presentation: Castelo de Santiago da Barra, Viana do Castelo (ポルトガル)
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XIX)-4極磁界・RF電界下の分界線に沿った電子分布 (2011)
  • Author(s): 山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: はこだて未来大学
  • Year and Date: 2011-10-23
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XVIII)-プラズマ維持への空間電位の寄与 (2011)
  • Author(s): 櫻井洋平(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: はこだて未来大学
  • Year and Date: 2011-10-23
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XVII)-分界線制御時のイオン生成解析 (2011)
  • Author(s): 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: はこだて未来大学
  • Year and Date: 2011-10-23
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XVII)-分界線制御時のイオン生成解析- (2011)
  • Author(s): 吉田拓平
  • Organizer: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: はこだて未来大学(函館市)
  • Year and Date: 2011-10-23
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XVIII)-プラズマ維持への空間電位の寄与- (2011)
  • Author(s): 櫻井洋平
  • Organizer: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: はこだて未来大学(函館市)
  • Year and Date: 2011-10-23
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XIX)-4極磁界・RF電界下の分界線に沿った電子分布- (2011)
  • Author(s): 山本寛容
  • Organizer: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: はこだて未来大学(函館市)
  • Year and Date: 2011-10-23
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XIV)-2極/4極反平行傾斜磁界・RF電界下の電子挙動 (2011)
  • Author(s): 山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 東京工業大学大岡山キャンパス
  • Year and Date: 2011-09-22
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XVI)-プラズマ維持機構のモデリング (2011)
  • Author(s): 櫻井洋平(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 東京工業大学大岡山キャンパス
  • Year and Date: 2011-09-22
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XV)-分界線制御時のイオン生成と基板射突量均一化の評価 (2011)
  • Author(s): 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 東京工業大学大岡山キャンパス
  • Year and Date: 2011-09-22
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XV)-分界線制御時のイオン生成と基板射突量均一化の評価- (2011)
  • Author(s): 吉田拓平
  • Organizer: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 東京工業大学(東京都)
  • Year and Date: 2011-09-22
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XVI)-プラズマ維持機構のモデリング- (2011)
  • Author(s): 櫻井洋平
  • Organizer: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 東京工業大学(東京都)
  • Year and Date: 2011-09-22
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XIV)-2極/4極反平行傾斜磁界・RF電界下の電子挙動- (2011)
  • Author(s): 山本寛容
  • Organizer: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 東京工業大学(東京都)
  • Year and Date: 2011-09-22
• [Presentation] Monte Carlo simulation of electron transport under quadrupole magnetic field and radio-frequency electric field (2011)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Organizer: 30th International Conference on Phenomena in Ionized Gases
  • Place of Presentation: Queen's University Belfast, Belfast,北アイルランド,連合王国
  • Year and Date: 2011-09-01
• [Presentation] Electron conduction under the rectification effect of antiparallel magnetic fields (2011)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Organizer: XVI International Workshop on Low Energy Positron and Positronium Physics & XVII International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms
  • Place of Presentation: National University of Ireland Maynooth, Maynooth,アイルランド(招待講演)
  • Year and Date: 2011-07-24
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XIII)-空間電荷ポテンシャルの影響 (2011)
  • Author(s): 櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成23年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 大阪大学豊中キャンパス
  • Year and Date: 2011-03-18
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XII)-分界線制御時のカップリング維持 (2011)
  • Author(s): 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成23年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 大阪大学豊中キャンパス
  • Year and Date: 2011-03-18
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XI)-RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性 (2011)
  • Author(s): 菅原広剛(発表者)、山本寛容、大佐賀毅
  • Organizer: 平成23年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 大阪大学豊中キャンパス
  • Year and Date: 2011-03-18
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XI)-RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性- (2011)
  • Author(s): 菅原広剛
  • Organizer: 平成23年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 震災により大阪大学における口頭発表・質疑(3/18)中止、DVD-ROM発行による公知
  • Year and Date: 2011-03-05
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XII)-分界線制御時のカップリング維持- (2011)
  • Author(s): 吉田拓平
  • Organizer: 平成23年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 震災により大阪大学における口頭発表・質疑(3/18)中止、DVD-ROM発行による公知
  • Year and Date: 2011-03-05
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XIII)-空間電荷ポテンシャルの影響- (2011)
  • Author(s): 櫻井洋平
  • Organizer: 平成23年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 震災により大阪大学における口頭発表・質疑(3/18)中止、DVD-ROM発行による公知
  • Year and Date: 2011-03-05
• [Presentation] NLDプラズマによる大面積均一材料プロセスのための磁界制御 (2011)
  • Author(s): 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会C-7
  • Place of Presentation: 室蘭工業大学
  • Year and Date: 2011-01-07
• [Presentation] モンテカルロシミュレーションによる二極反平行傾斜磁界・交流電界下低気圧CF中の電子挙動の解析 (2011)
  • Author(s): 山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会C-6
  • Place of Presentation: 室蘭工業大学
  • Year and Date: 2011-01-07
• [Presentation] モンテカルロシミュレーションによる二極反平行傾斜磁界・交流電界下低気圧CF_4中の電子挙動の解析 (2011)
  • Author(s): 山本寛容
  • Organizer: 第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会
  • Place of Presentation: 室蘭工業大学
  • Year and Date: 2011-01-07
• [Presentation] NLDプラズマによる大面積均-材料プロセスのための磁界制御 (2011)
  • Author(s): 吉田拓平
  • Organizer: 第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会
  • Place of Presentation: 室蘭工業大学
  • Year and Date: 2011-01-07
• [Presentation] Monte Carlo simulation of electron transport underquadrupole magnetic field and radio-frequency electric field (2011)
  • Author(s): H. Sugawara(発表者)
  • Organizer: 30th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases
  • Place of Presentation: Queen's University Belfast, Belfast, Northern Ireland, UK
• [Presentation] Electron conduction under the rectification effect of antiparallel magnetic fields, XVI Int. Workshop on Low Energy Positron and Positronium Physics & XVII Int. Symp. (2011)
  • Author(s): H. Sugawara(発表者)
  • Organizer: Electron-Molecule Collisions and Swarms
  • Place of Presentation: National University of Ireland Maynooth,Maynooth, Ireland
• [Presentation] NLDプラズマの解析(X)-気相と壁面における電子衝突の磁界強度依存性 (2010)
  • Author(s): 大佐賀毅(発表者)、菅原広剛、櫻井洋平、村山明宏
  • Organizer: 平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: 北海学園大学
  • Year and Date: 2010-10-24
• [Presentation] NLDプラズマの解析(IX)-イオン生成の磁界強度依存性 (2010)
  • Author(s): 櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: 北海学園大学
  • Year and Date: 2010-10-24
• [Presentation] NLDプラズマの解析(IX)-イオン生成の磁界強度依存性- (2010)
  • Author(s): 櫻井洋平
  • Organizer: 平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: 北海学園大学
  • Year and Date: 2010-10-24
• [Presentation] NLDプラズマの解析(X)-気相と壁面における電子衝突の磁界強度依存性- (2010)
  • Author(s): 大佐賀毅
  • Organizer: 平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: 北海学園大学
  • Year and Date: 2010-10-24
• [Presentation] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma (2010)
  • Author(s): Hirotake Sugawara
  • Organizer: 63rd Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
  • Place of Presentation: Maison de la Chimie, Paris, France
  • Year and Date: 2010-10-05
• [Presentation] NLDプラズマの解析(VIII)-イオン生成・輸送の磁界依存性 (2010)
  • Author(s): 櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
  • Organizer: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 琉球大学
  • Year and Date: 2010-09-14
• [Presentation] NLDプラズマの解析(VII)-セパラトリクスに沿った電子輸送 (2010)
  • Author(s): 菅原広剛(発表者)、大佐賀毅、櫻井洋平、村山明宏
  • Organizer: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 琉球大学
  • Year and Date: 2010-09-14
• [Presentation] NLDプラズマの解析(VI)-プラズマ構造と電子電流分布 (2010)
  • Author(s): 大佐賀毅(発表者)、菅原広剛、櫻井洋平、村山明宏
  • Organizer: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 琉球大学
  • Year and Date: 2010-09-14
• [Presentation] NLDプラズマの解析(VI)-プラズマ構造と電子電流分布- (2010)
  • Author(s): 大佐賀毅
  • Organizer: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 琉球大学
  • Year and Date: 2010-09-14
• [Presentation] NLDプラズマの解析(VII)-セパラトリクスに沿った電子輸送- (2010)
  • Author(s): 菅原広剛
  • Organizer: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 琉球大学
  • Year and Date: 2010-09-14
• [Presentation] NLDプラズマの解析(VIII)-イオン生成・輸送の磁界依存性- (2010)
  • Author(s): 櫻井洋平
  • Organizer: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 琉球大学
  • Year and Date: 2010-09-14
• [Presentation] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma (2010)
  • Author(s): H. Sugawara(発表者)
  • Organizer: 63rd Ann. Gaseous Electronics Conf., 7th Int. Conf. Reactive Plasmas, and 28th Symposium on Plasma Processing
  • Place of Presentation: Maison de la Chimie, Paris, France
• [Presentation] NLDプラズマの解析（XXI）－エッチャントラジカル生成分布の気圧依存性－
  • Author(s): 浅見 勇介
  • Organizer: 平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 秋田大学手形キャンパス（秋田市）
• [Presentation] NLDプラズマの解析（XXII）－４極磁界・交流電界下の電子伝導－
  • Author(s): 菅原 広剛
  • Organizer: 平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • Place of Presentation: 秋田大学手形キャンパス（秋田市）
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XXIII)－基板バイアス印加時の電位分布への影響－
  • Author(s): 吉田 拓平
  • Organizer: 平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: 北海道大学札幌キャンパス（札幌市）
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XXIV)－エッチャントラジカル基板入射量の気圧依存性－
  • Author(s): 浅見 勇介
  • Organizer: 平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • Place of Presentation: 北海道大学札幌キャンパス（札幌市）
• [Presentation] NLDプラズマの解析(XXV)－ラジカル生成位置分布に及ぼす空間電荷電界の効果－
  • Author(s): 浅見 勇介
  • Organizer: 平成25年電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 名古屋大学（名古屋市）