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All-Wet Chemical Copper Patterning Using Photochemical Reduction

Research Project

Project/Area Number 22560733
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Material processing/treatments
Research InstitutionKonan University

Principal Investigator

NAWAFUNE Hidemi  甲南大学, フロンティアサイエンス学部, 教授 (60156007)

Research Collaborator AKAMATSU Kensuke  甲南大学, フロンティアサイエンス学部, 教授 (60322202)
TSURUOKA Takaaki  甲南大学, フロンティアサイエンス学部, 講師 (20550239)
ARIMURA Hidetoshi  甲南大学, 大学院・自然科学研究科, 博士
NAKAMICHI Ryota  甲南大学, 大学院・フロンティアサイエンス研究科, 修士課程・生命化学専攻
Project Period (FY) 2010 – 2012
Project Status Completed (Fiscal Year 2012)
Budget Amount *help
¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000)
Fiscal Year 2012: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2011: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2010: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
Keywordsめっきプロセス / 光触媒 / 銅微細回路 / 光化学還元法 / 環境調和型無電解銅めっき / 局部分極曲線 / 析出機構 / 混成電位理論 / SiCパワーデバイス周辺技術 / 無電解Biめっき / 銅(II)の還元機構 / 銅回路 / パターニング / 湿式プロセス / 光還元 / ガラス基板
Research Abstract

Photochemical deposition of copper thin films was achieved using carboxylic acid as an electron donor for direct fabrication of minute copper circuit patterns on glass substrates. The photochemical reduction of copper ions could occur over the whole surfaces on which UV irradiation area. However, only the copper deposits remained on the surface of hydrophobic n-octadecyltrimethoxysilane patterns after washing with water. It has been determined that the mixed potential theory can be applied to this reaction based on the result of the local polarization curve measurement.

Report

(4 results)
  • 2012 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2011 Annual Research Report
  • 2010 Annual Research Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2013 2010

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (2 results) Book (2 results)

  • [Journal Article] マテリアル・イノベーションに対応する高度めっき技術2013

    • Author(s)
      縄舟秀美,赤松謙祐,鶴岡孝章
    • Journal Title

      工業材料

      Volume: 61(5) Pages: 18-22

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  • [Journal Article] SiCパワー半導体周辺技術としてのめっき技術2013

    • Author(s)
      縄舟秀美
    • Journal Title

      工業材料

      Volume: 61(5) Pages: 35-38

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  • [Journal Article] マテリアル・イノベーションに対応する高度めっき技術2013

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      縄舟秀美、赤松謙祐、鶴岡孝章
    • Journal Title

      工業材料(日刊工業新聞社)

      Volume: 61 Pages: 18-22

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      縄舟秀美
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      Volume: 61 Pages: 35-38

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  • [Journal Article] 光化学還元法によるガラス基板上への銅のダイレクトパターニング2010

    • Author(s)
      有村英俊、中道良太、木村明寛、鶴岡孝章、赤松謙祐、縄舟秀美
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌

      Volume: 13 Pages: 46-51

    • NAID

      10025984470

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  • [Journal Article] 光化学還元法によるガラス基板上への銅のダイレクトパターニング2010

    • Author(s)
      縄舟秀美
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌

      Volume: 13巻 Pages: 46-51

    • NAID

      10025984470

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  • [Presentation] 5~10年先のめっき技術に求められること2010

    • Author(s)
      縄舟秀美
    • Organizer
      表面技術協会「将来めっき技術研究部会」基調講演
    • Place of Presentation
      明電舎大崎会館(東京)
    • Year and Date
      2010-04-20
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  • [Presentation] 5~10年先のめっき技術に求められること2010

    • Author(s)
      縄舟秀美
    • Organizer
      表面技術協会「将来めっき技術研究部会」
    • Place of Presentation
      明電舎大崎会館(東京都)(基調講演)
    • Year and Date
      2010-04-20
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  • [Book] 無電解めっきにおける環境負荷低減2010

    • Author(s)
      表面技術協会表面技術環境部会編:「表 面技術環境ハンドブック 2010 年度版」, 縄舟秀美分担執筆,第III編第3 章
    • Publisher
      広信社
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  • [Book] 表面技術環境ハンドブック 2010年度版2010

    • Author(s)
      表面技術協会表面技術環境部会編
    • Publisher
      広信社
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      2010 Annual Research Report

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Published: 2010-08-23   Modified: 2019-07-29  

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