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In-situ surface figure correction system for soft X-ray mirrors

Research Project

Project/Area Number 22686017
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (A)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Production engineering/Processing studies
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

MIMURA Hidekazu  東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (30362651)

Project Period (FY) 2010 – 2012
Project Status Completed (Fiscal Year 2012)
Budget Amount *help
¥26,130,000 (Direct Cost: ¥20,100,000、Indirect Cost: ¥6,030,000)
Fiscal Year 2012: ¥3,380,000 (Direct Cost: ¥2,600,000、Indirect Cost: ¥780,000)
Fiscal Year 2011: ¥8,190,000 (Direct Cost: ¥6,300,000、Indirect Cost: ¥1,890,000)
Fiscal Year 2010: ¥14,560,000 (Direct Cost: ¥11,200,000、Indirect Cost: ¥3,360,000)
KeywordsX 線ミラー / 軟 X 線 / 超精密加工 / 計測 / X線ミラー / 軟X線 / ナノ精度 / 形状修正 / 成膜
Research Abstract

Ellipsoidal mirror is the most promising optical devise to realize soft X-ray nanobeam. In this project, a method for designing the shape was constructed. Then, fabrication process consisting on machining, measurement and replication were completed. From these results, highly accurate ellipsoidal mirrors could be fabricated.

Report

(4 results)
  • 2012 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2011 Annual Research Report
  • 2010 Annual Research Report
  • Research Products

    (47 results)

All 2013 2012 2011 Other

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (39 results) (of which Invited: 5 results) Remarks (4 results)

  • [Journal Article] Effect of Focusing Flow of Machining Properties in Elastic Emission Machining2013

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    • Journal Title

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      Volume: 8501

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      Nanoscale Research Letters

      Volume: (to be published)

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    • Journal Title

      Proc. SPIE

      Volume: 8501 Pages: 850103-850103

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      臨界副都心センター,東京都
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  • [Remarks]

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      http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html

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    • URL

      http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html

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  • [Remarks] Mimura Gr ホームページ

    • URL

      http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html

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  • [Remarks]

    • URL

      http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MirauraGr.html

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Published: 2010-08-23   Modified: 2019-07-29  

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