• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

Development of combinational evaluation of photoemission and photoluminescence spectroscopy towards highly efficient nitride semiconductor-based optical devices

Research Project

Project/Area Number 22K14614
Research Category

Grant-in-Aid for Early-Career Scientists

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Basic Section 30010:Crystal engineering-related
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

Ichikawa Shuhei  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (50803673)

Project Period (FY) 2022-04-01 – 2024-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000)
Fiscal Year 2023: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2022: ¥3,120,000 (Direct Cost: ¥2,400,000、Indirect Cost: ¥720,000)
Keywords二光子光電子分光 / 表面再結合 / 窒化物半導体 / 時間分解 / 光電子分光 / フォトルミネッセンス / カソードルミネッセンス
Outline of Research at the Start

次世代の光・電子デバイス応用が期待されている窒化物半導体は、ヘテロ構造界面や試料表面における非輻射再結合過程が起因となり、素子の高効率化が妨げられている等の多くの課題を有している。本研究課題では、窒化物半導体光素子に対して、従来から行われてきた発光分光分析に加えて、励起状態に対する紫外光電子分光分析を融合した新奇評価手法を開拓することで、「半導体中に形成される電子状態と励起キャリア挙動の相関」を時空間分解的に明らかにする。これまで望まれながらも未実現であった、分野横断的な本手法を用いることで、次世代光半導体中のキャリアダイナミクス制御にむけた指針を得ることを目的とする。

Outline of Final Research Achievements

In this research project, we directly evaluated surface carrier lifetime of InGaN, which has been extensively studied as a visible light-emitting devices, using two-photon photoemission spectroscopy.
The surface carrier lifetime on the as-grown (0001) InGaN was estimated to be 3.8 ns, which was about two orders of magnitude longer than the lifetime on a GaAs(110) surface. It indicates that the surface recombination rate of InGaN surface is significantly slower. When Cs was adsorbed on the InGaN (0001) surface to suppress surface band bending, the surface carrier lifetime was drastically reduced to 48 ps. We found that the surface recombination of InGaN is extremely dependent on the amount of surface band bending, and control of the band bending is a key technology towards highly efficient micro-sized InGaN-based optical devices.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

超小型・高精細な「マイクロLEDディスプレイ」の実現にむけて、窒化物半導体光デバイスに期待が寄せられている。これまで、素子の微細化に伴って生じる非発光過程である、表面再結合過程の評価が十分でなかったが、表面敏感な二光子光電子分光法と従来の発光分光測定を組み合わせることにより、表面キャリア寿命の直接評価が可能であることを示した。異材料への適用も可能な評価手法の開発という観点から、学術的意義の高い結果が得られた。また、従来のGaAs系材料に比べると、表面再結合の影響が小さいことが示唆され、マイクロLED高効率化に向けた窒化物半導体開発の指針を得た点では、社会的な意義も高い成果となったと考える。

Report

(3 results)
  • 2023 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2022 Research-status Report
  • Research Products

    (47 results)

All 2024 2023 2022

All Journal Article (3 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 3 results,  Open Access: 2 results) Presentation (44 results) (of which Int'l Joint Research: 12 results,  Invited: 9 results)

  • [Journal Article] An efficiently excited Eu3+ luminescent site formed in Eu,O-codoped GaN2024

    • Author(s)
      Takenori Iwaya, Shuhei Ichikawa, Volkmar Dierolf, Brandon Mitchell, Hayley Austin, Dolf Timmerman, Jun Tatebayashi, Yasufumi Fujiwara
    • Journal Title

      AIP Advances

      Volume: 14 Issue: 2 Pages: 25044-25044

    • DOI

      10.1063/5.0183774

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Enhanced light output of Eu, O-codoped GaN caused by reconfiguration of luminescent sites during post-growth thermal annealing2023

    • Author(s)
      T. Iwaya, S. Ichikawa, D. Timmerman, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 122 Issue: 3 Pages: 032102-032102

    • DOI

      10.1063/5.0136880

    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Improved Q-factors of III-nitride-based photonic crystal nanocavities by optical loss engineering2022

    • Author(s)
      T. Iwaya, S. Ichikawa, D. Timmerman, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 30 Issue: 16 Pages: 28853-28853

    • DOI

      10.1364/oe.460467

    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] マイクロLEDディスプレイ実現に向けたGaN系RGB LEDのモノリシック集積と微細化に向けた展望2024

    • Author(s)
      市川 修平, 藤原 康文, 小島 一信
    • Organizer
      電子情報通信学会 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 市川 修平, 船戸 充, 川上 養一, 上杉 謙次郎, 赤池 良太, 中村 孝夫, 三宅 秀人, 小島 一信2024

    • Author(s)
      成長表面の異なる深紫外AlGaN量子井戸の結晶成長と光物性
    • Organizer
      ワイドギャップ半導体学会(WideG)第15回研究会「UV系デバイス」
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] Hybrid Integration of Eu-Doped GaN and InGaN LEDs towards Ultrahigh Definition Micro LED Display2024

    • Author(s)
      Shuhei Ichikawa, Yasufumi Fujiwara
    • Organizer
      16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2024)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] スパッタアニールAlN上AlGaNにおける局在発光と成長表面の相関評価2024

    • Author(s)
      市川 修平, 齊藤 一輝, 赤池 良太, 上杉 謙次郎, 中村 孝夫, 三宅 秀人, 小島 一信
    • Organizer
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] InGaN表面においてバンドベンディングがキャリア寿命に与える影響2024

    • Author(s)
      市川 修平, 松田 祥伸, 道上 平士郎, 船戸 充, 川上 養一, 小島 一信
    • Organizer
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] 長方形状(0001) InGaNマイクロ発光素子における非等方的歪緩和の誘起と面内偏光制御2024

    • Author(s)
      市川 修平, 松田 祥伸, 船戸 充, 川上 養一, 小島 一信
    • Organizer
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] Combinational integration of Eu-doped GaN and InGaN LEDs and their prospects for miniaturization2024

    • Author(s)
      Shuhei Ichikawa, Yasufumi Fujiwara, Kazunobu Kojima
    • Organizer
      10th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications (LEDIA2024)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] トンネル接合を用いたEu添加GaNおよびInGaN量子井戸LED多色積層マイクロLEDの実証2023

    • Author(s)
      田中 研気, 石原 聡啓, 市川 修平, 館林 潤, 藤原 康文
    • Organizer
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] (0001)面InGaNフォトダイオードにおける組成傾斜層の光励起キャリア局在抑制効果2023

    • Author(s)
      道上 平士郎, 市川 修平, 松田 祥伸, 船戸 充, 川上 養一, 小島 一信
    • Organizer
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] マイクロLED 応用に向けたGaN 系LED の同一基板フルカラー集積と時間分解光電子分光法に基づく表面再結合評価の提案2023

    • Author(s)
      市川 修平, 藤原 康文, 小島 一信
    • Organizer
      日本学術振興会光電相互変換第125委員会267回研究会「マイクロLEDに関する要素技術」
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] Eu添加GaNの結晶成長とマイクロLEDディスプレイ用赤色LEDにむけた展開2023

    • Author(s)
      市川 修平, 舘林 潤, 藤原 康文
    • Organizer
      日本学術振興会R032産業イノベーションのための結晶成長委員会 第13回研究会「ディスプレイ用LEDおよび関連発光材料」
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] Demonstration of Tb-doped AlGaN-based visible light-emitting diodes with high emission wavelengthstability2023

    • Author(s)
      S. Yamazaki, S. Ichikawa, T. Iwaya, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      42nd Electronic Materials Symposium
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] 時間分解光電子分光法による (0001) InGaN表面のキャリア寿命評価2023

    • Author(s)
      市川 修平, 松田 祥伸, 道上 平士郎, 船戸 充, 川上 養一, 小島 一信
    • Organizer
      第43回ナノテスティングシンポジウム NANOTS 2023
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] Localized deep-ultraviolet luminescence of AlGaN grown on high-temperature annealed AlN templates2023

    • Author(s)
      S. Ichikawa, K. Uesugi, K. Saito, S. Xiao, K. Shojiki, T. Nakamura, H. Miyake, K. Kojima
    • Organizer
      The 14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Surface carrier lifetime of (0001) InGaN assessed by time-resolved photoemission spectroscopy2023

    • Author(s)
      S. Ichikawa, Y. Matsuda, H. Dojo, M. Funato, Y. Kawakami, K. Kojima
    • Organizer
      The 14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Design of highly efficient InGaN-based circularly polarized LEDs integrated with Si3N4 metasurface2023

    • Author(s)
      Y. Murata, S. Ichikawa, S. Toda, Y. Fujiwara, and K. Kojima
    • Organizer
      The 14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Enhanced transport of photo-excited carriers in (0001) InGaN photodiodes by introducing compositionally graded layer2023

    • Author(s)
      H. Dojo, S. Ichikawa, Y. Matsuda, M. Funato, Y. Kawakami, and K. Kojima
    • Organizer
      The 14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 時間分解二光子光電子分光法によるInGaN (0001)の表面キャリア寿命測定2023

    • Author(s)
      市川 修平, 松田 祥伸, 道上 平士郎, 毎田 修, 船戸 充, 川上 養一, 小島 一信
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Eu添加GaNおよびInGaN量子井戸のハイブリッド積層による同一サファイア基板上フルカラーLEDの作製と室温動作2023

    • Author(s)
      市川 修平, 塩見 圭史, 森川 隆哉, 佐々木 豊, D. Timmerma, 舘林 潤, 藤原 康文
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] スパッタアニールAlNテンプレート上AlGaN薄膜の局在発光特性の評価2023

    • Author(s)
      市川 修平, 上杉 謙次郎, 齊藤 一輝, 肖 世玉, 正直 花奈子, 中村 孝夫, 毎田 修, 三宅 秀人, 小島 一信
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Si3N4メタサーフェスを利用した半極性(20-21) InGaN円偏光素子の設計2023

    • Author(s)
      村田雄生、市川修平、戸田晋太郎、藤原康文、小島一信、中川貴
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] 高温アニール処理を施したEu,O共添加GaNの光励起・電流注入下における発光特性2023

    • Author(s)
      岩谷孟学、市川修平、Dolf Timmerman、Volkmar Dierolf、Hayley Austin、Brandon Mitchell、舘林潤、藤原康文
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Tb添加AlxGa1-xN発光ダイオードにおける発光特性と電気的特性のAl原料供給量依存性2023

    • Author(s)
      山崎舜介、市川修平、岩谷孟学、藤原康文
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] ナノピラー型メタ表面を用いた円偏光InGaN発光素子の設計2023

    • Author(s)
      鈴木 恭平, 村田 雄生, 市川 修平, 戸田 晋太郎, 毎田 修, 小島 一信
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Tb添加AlxGa1-xNを活性層に用いた発光ダイオードの発光特性と電気的特性の評価2023

    • Author(s)
      山崎舜介、市川修平、岩谷孟学、舘林潤、藤原康文
    • Organizer
      令和4年度第4回半導体エレクトロニクス部門委員会第3回研究会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Visualization of Excited-Electron Relaxation in InGaN Quantum Wells using Time-Resolved Two-Photon Photoemission Spectroscopy2022

    • Author(s)
      S. Ichikawa, Y. Fujiwara, and K. Kojima
    • Organizer
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022, Berlin, Germany
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Monolithically-Stacked Tri-Colored LEDs towards Micro-LED Display with Eu-doped GaN and InGaN Layers2022

    • Author(s)
      S. Ichikawa, K. Shiomi, T. Morikawa, Y. Sasaki, D. Timmerman, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022, Berlin, Germany
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 時間分解2光子光電子分光法を用いた表面再結合寿命の直接評価2022

    • Author(s)
      市川 修平, 毎田 修, 小島 一信
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Invited
  • [Presentation] Eu添加GaN赤色LEDの進展と2光子光電子分光法による表面再結合過程の直接評価の提案 ~マイクロLED素子応用に向けて~2022

    • Author(s)
      市川 修平, 藤原 康文, 小島 一信
    • Organizer
      Sophia Open Research Week 2022第3回半導体ナノフォトニクス研究会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Invited
  • [Presentation] 二光子光電子分光によるGaAs(110)における表面再結合寿命の評価2022

    • Author(s)
      市川 修平, 毎田 修, 小島 一信
    • Organizer
      第42回ナノテスティングシンポジウム NANOTS 2022
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] 導電性HfO2/TiO2 DBRを用いた垂直共振器型Eu添加GaN赤色発光ダイオードの動作実証2022

    • Author(s)
      一宮亘、市川修平、小林周平、舘林潤、藤原康文
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Eu添加GaN表面平坦化層導入による微傾斜(0001) InGaN量子井戸発光の均一性向上2022

    • Author(s)
      大和玲雄、市川修平、竹尾敦志、館林潤、藤原康文
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Eu添加GaN下地層の導入による(20-21)GaNテンプレート上InGaN量子井戸の表面平坦化と発光特性評価2022

    • Author(s)
      竹尾敦志、市川修平、舘林潤、藤原康文
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] 可視光域におけるIII族窒化物系フォトニック結晶共振器の高Q値化に向けた2次元ヘテロ構造の導入2022

    • Author(s)
      岩谷孟学、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤、藤原康文
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Invited
  • [Presentation] 成長後高温熱処理によるEu,O共添加GaNの発光中心再構成とEu赤色発光の高効率化2022

    • Author(s)
      岩谷孟学、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤、藤原康文
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] InGaN円偏光素子の実現に向けたSi3N4メタサーフェスの設計と作製2022

    • Author(s)
      村田雄生、戸田晋太郎、藤原康文、中川貴、市川修平
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] 高温アニール処理によるEu,O共添加GaN中Euの周辺局所構造変化とEu赤色発光の高効率化2022

    • Author(s)
      岩谷孟学、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤、藤原康文
    • Organizer
      日本材料学会令和4年度第2回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回研究会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Si3N4メタサーフェス導入によるInGaN発光波長域での円偏光動作実証2022

    • Author(s)
      村田雄生、戸田晋太郎、藤原康文、 中川貴、市川修平
    • Organizer
      日本材料学会令和4年度第2回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回研究会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Enhanced red luminescence from Eu-doped GaN RCLED using a conductive HfO2/TiO2 DBR2022

    • Author(s)
      W. Ichimiya, S. Ichikawa, S. Kobayashi, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      41st Electronic Materials Symposium
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Highly efficient linear-to-circular polarization converter using Si3N4 metasurfaces for application in InGaN-based emitters2022

    • Author(s)
      Y. Murata, S. Toda, Y. Fujiwara, T. Nakagawa, and S. Ichikawa
    • Organizer
      41st Electronic Materials Symposium
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Demonstration of a GaN-based high-Q (7900) H3 photonic crystal cavity in the red region2022

    • Author(s)
      T. Iwaya, S. Ichikawa, D. Timmerman, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      International Conference on Nano-photonics and Nano-optoelectronics 2022 (ICNN2022), Yokohama, Japan
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Drastically reduced compositional fluctuation and indium incorporation in InGaN QWs grown on vicinal substrates using Eu-doped GaN interlayers2022

    • Author(s)
      R. Yamato, S. Ichikawa, A. Takeo, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-IX), Nagoya, Japan
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Improved Q-factors (> 10000) of III-Nitride-Based Two-Dimensional Photonic Crystal Cavities in the Red Region2022

    • Author(s)
      T. Iwaya, S. Ichikawa, D. Timmerman, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022, Berlin, Germany
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Control of highly efficient Eu luminescence centers and drastic intensity enhancement in Eu-doped GaN grown on semipolar (20-21) GaN2022

    • Author(s)
      A. Takeo, S. Ichikawa, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022, Berlin, Germany
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2022-04-19   Modified: 2025-01-30  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi