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MnTe多形変態のひずみ制御およびそのストレイントロニクスデバイスへの展開

Research Project

Project/Area Number 22KJ0189
Project/Area Number (Other) 21J21551 (2021-2022)
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeMulti-year Fund (2023)
Single-year Grants (2021-2022)
Section国内
Review Section Basic Section 26010:Metallic material properties-related
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

KIM MIHYEON  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2023-03-08 – 2024-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Fiscal Year 2023: ¥700,000 (Direct Cost: ¥700,000)
Fiscal Year 2022: ¥700,000 (Direct Cost: ¥700,000)
Fiscal Year 2021: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Keywordschalcogenide thin film / Cr-Mn-Te / thin film / phase change / nonvolatile memory / phase change memory / Manganese Telluride / 薄膜 / 多形変態 / 不揮発性相変化メモリ / polymorphic change / phase change materials / strain-induced / straintronics
Outline of Research at the Start

最近現在のSiテクノロジーに代わるポストSiテクノロジーとして、ひずみにより電気物性を制御する技術が注目を浴びている。MnTeは変位型の多形変態により大きな物性変化を示す材料として知られている。本研究グループではMnTeが高速かつ省エネルギーな不揮発性メモリとして応用可能であることを見出した。最近ではその多形変態に歪みが大きく関与している事が分かってきている。本研究ではMnTe(第三原Xを添加したMn-X-Teを含む)における多形変態のひずみ応答制御に挑戦し、多値記録の実現を試みる。

Outline of Annual Research Achievements

ポストSiテクノロジーを担う次世代不揮発性メモリとして、相変化メモリが注目されており、通常、相変化材料のアモルファス相と結晶相の大きな抵抗差を利用して情報を記録する。従来のアモルファス/結晶相変化型に対し、アモルファスを介さない結晶間多形変化を示すMnTeは高速かつ省エネルギーを実現する革新的材料である。しかし、MnTeの実用デバイス化には①準安定β-MnTeの電気特性が不明であること、②MnTeが電気・光学特性変化を示す多形変化温度は450℃以上と高く、デバイス製造には不向きであること、③β-α相間の初期体積変化が非常に大きく、ボイド生成を引き起こすため繰返し特性の劣化の原因になるといった課題が残されている。本研究では、β-MnTe薄膜における電気特性の温度依存性などを調べ、電気伝導機構を明らかにした。また、②と③の解決のために準安定β相の相安定性制御を目的とし、第三元素Crを添加した。 CrxMn1-xTe三元系薄膜を成膜し、Cr添加による相変化挙動の変化を調べた結果、特定組成領域では、MnTe二元系よりも極めて低い200℃付近から電気抵抗変化を示す事が分かった。さらに、CrxMn1-xTe薄膜の密度や膜厚変化(< 5 %)はMnTe(>20%)に比べて大きく低減され、②と③の課題が両方改善された。一方で、このCrxMn1-xTe薄膜は結晶構造がβ相を維持しているのにも関わらず、多段階的な抵抗変化を示すことを発見した。この同じ結晶構造での抵抗変化はMnTeでは得られない特性であり、物性変化の起源はHAXPESやEXAFS,HR-TEMなどよりCr含有効果による価数・局所的な配数変化に起因することがわかった。さらに、このCrxMn1-xTe薄膜は高速かつ不揮発な抵抗スイッチングが可能であることを実証し、不揮発性メモリへの応用可能性が確認された。

Report

(3 results)
  • 2023 Annual Research Report
  • 2022 Annual Research Report
  • 2021 Annual Research Report
  • Research Products

    (16 results)

All 2024 2023 2022 2021

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (15 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results)

  • [Journal Article] Electrical Conduction Mechanism of β-MnTe Thin Film with Wurtzite-Type Structure Using Radiofrequency Magnetron Sputtering2022

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Journal Title

      Physica status solidi rapid research letters

      Volume: 16 Issue: 9 Pages: 2100641-2100641

    • DOI

      10.1002/pssr.202100641

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Composition dependence of electrical properties in CrxMn1-xTe thin film2024

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Yi Shuang, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Organizer
      The Minerals, Metaks & Materials Society 2024 Annual Meeting & Exhibition
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Cr-Mn-Te多形変化薄膜の不揮発性相変化メモリへの応用可能性2023

    • Author(s)
      金美賢,双逸,安藤大輔,須藤祐司
    • Organizer
      2023年春期第172回公演大会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] Electrical changes in polymorphic Cr-Mn-Te ternary thin film2023

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Yi Shuang, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Organizer
      The 35th Symposium on Phase Change Oriented Science
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] Phase change behaviors in Cr-Mn-Te thin film2023

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Yi Shuang, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Organizer
      2023 European Phase-Change and Ovonic Symposium
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] MnTe多形の相安定性に及ぼすCr添加の影響2022

    • Author(s)
      金美賢,双逸,安藤大輔,須藤祐司
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Cr-Mn-Te薄膜の多形変化挙動2022

    • Author(s)
      金美賢,双逸,安藤大輔,須藤祐司
    • Organizer
      日本金属学会秋期第171回公演大会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Raman study of polymorphic-manganese telluride thin film2022

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Yi Shuang, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Organizer
      2022 PCOS
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Cr-Mn-Te多形変化薄膜の不揮発性相変化メモリへの応用可能性2022

    • Author(s)
      金美賢,双逸,安藤大輔,須藤祐司
    • Organizer
      日本金属学会春期第172回公演大会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Effect of Cr doping on the phase stability in MnTe polymorphic-change film2022

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Yi Shuang, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Organizer
      2022 MRS Fall
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] MnTe薄膜におけるレーザー加熱による多形変化の顕微ラマン観察2022

    • Author(s)
      金美賢,森竣祐,双逸,安藤大輔,須藤祐司
    • Organizer
      日本金属学会2022年春期第170回講演大会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] ラマン分光法を用いたMnTe薄膜のレーザ加熱による多形変化2022

    • Author(s)
      金美賢,森竣祐,双逸,安藤大輔,須藤祐司
    • Organizer
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] ウルツ鉱型MnTe薄膜における電導機構2021

    • Author(s)
      金美賢,森竣祐,双逸,畑山祥吾,安藤大輔,須藤祐司
    • Organizer
      2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 多形MnTe薄膜における電気伝導機構2021

    • Author(s)
      金美賢,森竣祐,双逸,畑山祥吾,安藤大輔,須藤祐司
    • Organizer
      日本金属学会2021年秋期第169回講演大会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] Electrical Conduction Mechanism of Wurtzite-type β-MnTe thin film by RF magnetron sputtering2021

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Organizer
      2021 European Phase-Change and Ovonic Symposium
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Electrical transport in β-MnTe thin film2021

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Organizer
      The 33rd Symposium on Phase Change Oriented Science
    • Related Report
      2021 Annual Research Report

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Published: 2021-05-27   Modified: 2024-12-25  

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