• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

オーム性接触形成メカニズム解明に向けた金属/炭化珪素界面に関する基礎研究

Research Project

Project/Area Number 22KJ1709
Project/Area Number (Other) 21J22891 (2021-2022)
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeMulti-year Fund (2023)
Single-year Grants (2021-2022)
Section国内
Review Section Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

原 征大  京都大学, 工学研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2023-03-08 – 2024-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥3,100,000 (Direct Cost: ¥3,100,000)
Fiscal Year 2023: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Fiscal Year 2022: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Fiscal Year 2021: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
KeywordsSiC / パワーデバイス / オーム性接触 / ショットキー障壁ダイオード
Outline of Research at the Start

電力変換時の損失の大幅な低減が可能な高耐圧パワーデバイス用半導体材料として、炭化珪素(SiC)が注目されている。一方、SiC上にオーム性接触を形成するための適切なプロセスは依然として確立されておらず、現在標準的なプロセスとなっている超高温熱処理は、SiCデバイスの高性能化やデバイス作製プロセスの簡略化を妨げる要因となっている。この問題を解決するためには、超高温熱処理を施すことなく形成した金属/高濃度ドープSiC界面における基礎特性をまず明らかにすることが不可欠である。さらに、その理解に基づいて、SiCオーム性接触の最適な形成条件および定量的な設計指針を提示・実証することが重要である。

Outline of Annual Research Achievements

報告者のこれまでの研究により、金属/高濃度ドープSiC界面におけるトンネル現象(直接トンネル(DT)およびトラップアシストトンネル(TAT))に関する深い物理的理解が得られた。これを足がかりに、SiC上非合金化オーミック接合の設計指針を提示するために、ドーピング密度を系統的に変化させた高濃度Pイオン注入SiC上に非加熱プロセスによりTiおよびMg電極を形成し、円形伝送線路モデル(CTLM)構造を用いた実験的評価とDT電流の数値計算に基づく解析を通じて、接触抵抗率を詳細に調べた。
その結果、10^(19) cm^(-3)台中盤以下のドーピング密度範囲においては、接触抵抗率の測定値がDT電流に基づく計算値と比較して数桁低いことを明らかにし、これがTATの支配的な寄与により定性的に説明できることを示唆した。一方、10^(20) cm^(-3)を超える非常に高濃度の注入を行った場合、接触抵抗率の実験値はDT電流からの予測とよく一致し、ドーピング密度の増加に伴い急激に減少した。特に、2×10^(20) cm^(-3)という高濃度注入により、MgおよびTi電極において、熱処理を施すことなく1-2×10^(-7) Ωcm^2という極めて低い接触抵抗率を達成した。DTおよびTATの寄与を考慮した、Pイオン注入SiC上非合金化オーミック接合における接触抵抗率予測モデルを提案し、本モデルに基づいて、オーミック接触低抵抗化のための、障壁高さおよびドーピング密度に関する定量的な設計指針を提示した。
本研究を通じて得られたデータ、接触抵抗率予測モデル、および低抵抗オーミック接合形成のための定量的な設計指針は、SiCに対するオーミック接合形成メカニズムの解明のために不可欠な学術的知見であるのみならず、低抵抗化に向けた新規形成プロセス開拓に向けた立脚点を与える有用な結果である。

Report

(3 results)
  • 2023 Annual Research Report
  • 2022 Annual Research Report
  • 2021 Annual Research Report
  • Research Products

    (23 results)

All 2024 2023 2022 2021

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (19 results) (of which Int'l Joint Research: 8 results,  Invited: 2 results)

  • [Journal Article] Tunneling current through non-alloyed metal/heavily-doped SiC interfaces2024

    • Author(s)
      Masahiro Hara, Takeaki Kitawaki, Hajime Tanaka, Mitsuaki Kaneko, and Tsunenobu Kimoto
    • Journal Title

      Materials Science in Semiconductor Processing

      Volume: 171 Pages: 108023-108023

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2023.108023

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Impact of the split-off band on the tunneling current at metal/heavily-doped p-type SiC Schottky interfaces2023

    • Author(s)
      Takeaki Kitawaki, Masahiro Hara, Hajime Tanaka, Mitsuaki Kaneko, and Tsunenobu Kimoto
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 16 Issue: 3 Pages: 031005-031005

    • DOI

      10.35848/1882-0786/acc30d

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Enhanced tunneling current and low contact resistivity at Mg contacts on heavily phosphorus-ion-implanted SiC2023

    • Author(s)
      Hara Masahiro、Kaneko Mitsuaki、Kimoto Tsunenobu
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 16 Issue: 2 Pages: 021003-021003

    • DOI

      10.35848/1882-0786/acb98b

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Critical electric field for transition of thermionic field emission/field emission transport in heavily doped SiC Schottky barrier diodes2022

    • Author(s)
      Hara Masahiro、Tanaka Hajime、Kaneko Mitsuaki、Kimoto Tsunenobu
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 120 Issue: 17 Pages: 172103-172103

    • DOI

      10.1063/5.0088681

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] High-Field Phenomena in SiC Material and Devices2023

    • Author(s)
      Tsunenobu Kimoto, Hiroki Niwa, Xilun Chi, Masahiro Hara, Ryoya Ishikawa, Hajime Tanaka, and Mitsuaki Kaneko
    • Organizer
      Symposium on Silicon Carbide as Quantum-Classical Platform
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Carrier transport and barrier height of S+-implanted SiC Schottky barrier diodes2023

    • Author(s)
      Manato Takayasu, Taiga Matsuoka, Masahiro Hara, Mitsuaki Kaneko, and Tsunenobu Kimoto
    • Organizer
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2023 (ICSCRM2023)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Reduction of contact resistivity at non-alloyed SiC ohmic contacts based on understanding of tunneling phenomena2023

    • Author(s)
      Masahiro Hara, Mitsuaki Kaneko, and Tsunenobu Kimoto
    • Organizer
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2023 (ICSCRM2023)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Formation of non-alloyed ohmic contacts on heavily Al+-implanted p-type SiC2023

    • Author(s)
      Kotaro Kuwahara, Takeaki Kitawaki, Masahiro Hara, Mitsuaki Kaneko, and Tsunenobu Kimoto
    • Organizer
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2023 (ICSCRM2023)
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 高濃度Alイオン注入p型SiC上の非合金化オーム性電極の形成2023

    • Author(s)
      桑原 功太朗, 北脇 武晃, 原 征大, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第10回講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] Sイオン注入SiCショットキー障壁ダイオードにおける電気伝導機構の解析2023

    • Author(s)
      高安 愛登, 松岡 大雅, 原 征大, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第10回講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] 金属/高濃度ドープSiC界面トンネル現象の理解に基づく非合金化オーミック接触のコンタクト抵抗低減2023

    • Author(s)
      原 征大, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第10回講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] 高濃度Pイオン注入による金属/SiC非合金化界面におけるコンタクト抵抗低減2023

    • Author(s)
      原 征大, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      第70回 応用物理学会 春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] 高濃度Pイオン注入SiC上ショットキー接合におけるトラップアシストトンネルによる電流増大とコンタクト抵抗低減2022

    • Author(s)
      原 征大, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第9回講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] 高濃度ドープp型SiCショットキー障壁ダイオードの電気的特性に対するスプリットオフバンドの影響2022

    • Author(s)
      北脇 武晃, 原 征大, 田中 一, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第9回講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] 金属/高濃度ドープp型SiCショットキー界面におけるトンネル電流に対するスプリットオフバンドの影響2022

    • Author(s)
      北脇 武晃, 原 征大, 田中 一, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      第83回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] 高濃度Pイオン注入SiC上ショットキー障壁におけるトラップアシストトンネル電流の解析2022

    • Author(s)
      原 征大, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      第83回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Ion Implantation Technology in SiC for Advanced Electron Devices2022

    • Author(s)
      Mitsuaki Kaneko, Masahiro Hara, Masashi Nakajima, Qimin Jin, and Tsunenobu Kimoto
    • Organizer
      International Conference on Ion Implantation Technology 2022
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Contribution of a split-off band to tunneling current in heavily-doped p-type SiC Schottky barrier diodes2022

    • Author(s)
      Takeaki Kitawaki, Masahiro Hara, Hajime Tanaka, Mitsuaki Kaneko, and Tsunenobu Kimoto
    • Organizer
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2022 (ICSCRM2022)
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Enhanced tunneling current at Schottky contacts formed on heavily P+-implanted SiC2022

    • Author(s)
      Masahiro Hara, Mitsuaki Kaneko, and Tsunenobu Kimoto
    • Organizer
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2022 (ICSCRM2022)
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Ideal Thermionic Field Emission and Field Emission Transport through Metal/Heavily-Doped SiC Schottky Barriers2021

    • Author(s)
      Masahiro Hara, Hajime Tanaka, Mitsuaki Kaneko, and Tsunenobu Kimoto
    • Organizer
      European Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2020/2021
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 高濃度ドープSiCショットキー障壁ダイオードにおける障壁高さの解析2021

    • Author(s)
      原 征大, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      第330回 電気材料技術懇談会 若手研究発表会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 金属/高濃度ドープSiCショットキー界面における電気伝導機構の解析2021

    • Author(s)
      原 征大, 田中 一, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      第82回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 様々なドーピング密度を有するSiCショットキー障壁ダイオードにおけるキャリア輸送機構の電界強度依存性2021

    • Author(s)
      原 征大, 田中 一, 金子 光顕, 木本 恒暢
    • Organizer
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第8回講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report

URL: 

Published: 2021-05-27   Modified: 2024-12-25  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi