Development of nano-probe with low noise actuation mechanism for nano-machining and in situ measurement

• Project/Area Number: 23360108
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Intelligent mechanics/Mechanical systems
• Research Institution: Yamagata University
• Principal Investigator: MINETA TAKASHI 山形大学, 理工学研究科, 教授 (50374814)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): FURUYA Yasubumi 弘前大学, 北日本新エネルギー研究所, 教授 (20133051) ; KUMAKI Jiro 山形大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (00500290)
• Project Period (FY): 2011-04-01 – 2014-03-31
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2013)
• Budget Amount: ¥18,200,000 (Direct Cost: ¥14,000,000、Indirect Cost: ¥4,200,000); Fiscal Year 2013: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000); Fiscal Year 2012: ¥8,580,000 (Direct Cost: ¥6,600,000、Indirect Cost: ¥1,980,000); Fiscal Year 2011: ¥5,460,000 (Direct Cost: ¥4,200,000、Indirect Cost: ¥1,260,000)
• Keywords: AFM / デュアルカンチレバー / 磁歪薄膜 / 近接探針 / ナノ加工 / その場計測 / 低ノイズ変位機構 / 磁性薄膜 / 磁性形状記憶合金薄膜

Research Abstract

Atmic force micrscopy (AFM) is expected not only as a mesurement tool but also as a novel nano-machining tool in molecular science field such as molecular surgery. In order to relize nano-machining and in-situ molecular imaging with high resolution, this research focused on the development of narrow-gapped dual AFM probe with individual nano-tips on each cantilever for nano-machining and imaging. Self-align etching process was developed to fabricate a sharp dual tip separated by 500 nm. A dual cantilever with magneto-strictive film (FePd alloy) was also developed as a low noise actuator for switching the two tips by external magnetic field.

Research Products

• [Journal Article] Fabrication of narrow-gapped dual Si AFM tips by mechanically polishing-back for selective trench sidewalls protection (2014)
  • Author(s): K. Kawashima, E. Makino, T . Mineta
  • Journal Title: Trans. IEEJ-E Volume: Vol.134,NO.4 Pages: 74-78
  • NAID: 130003391592
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Si トレンチの SOG 埋込による近接デュアル AFM 探針と Ni 積層デュアルカンチレバーの作製 (2014)
  • Author(s): 川島健太, 峯田貴, 牧野英司, 川島貴弘, 柴田隆行
  • Journal Title: 電気学会論文誌E Volume: Vol.134,NO.4 Pages: 90-95
  • NAID: 40020168337
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Fabrication of Narrow-gapped Dual Si AFM Tips by Mechanically Polishing-back for Selective Trench Sidewalls Protection (2014)
  • Author(s): Kenta Kawashima, Eiji Makino, Takashi Mineta
  • Journal Title: IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Volume: 134 Issue: 4 Pages: 74-78
  • DOI: 10.1541/ieejsmas.134.74
  • NAID: 130003391592
  • ISSN: 1341-8939, 1347-5525
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Self-align Fabrication of Narrow-gapped Dual AFM Tip using Si Trench Refilling with SOG and Magneto-strictive Film Stacked Dual Cantilever Formation (2014)
  • Author(s): 川島 健太, 峯田 貴, 牧野 英司,川島 貴弘, 柴田隆行
  • Journal Title: IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Volume: 134 Issue: 4 Pages: 90-95
  • DOI: 10.1541/ieejsmas.134.90
  • NAID: 130003391595
  • ISSN: 1341-8939, 1347-5525
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Significant Melting Point Depression of Two-Dimensional Folded-Chain Crystals of Isotactic Poly(methyl methacrylate)s Observed by High-Resolution In Situ Atomic Force Microscopy (2013)
  • Author(s): Y. Takanashi, J. Kumaki
  • Journal Title: J. Phys. Chem. B Volume: Vol.117 Pages: 5594-5605
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Significant Melting Point Depression of Two-Dimensional Folded-Chain Crystals of Isotactic Poly(methyl methacrylate)s Observed by High-Resolution In Situ Atomic Force Microscopy. (2013)
  • Author(s): Y. Takanashi, J. Kumaki
  • Journal Title: J. Phys. Chem. B Volume: in press Issue: 18 Pages: 5594-5605
  • DOI: 10.1021/jp401284t
  • Peer Reviewed
• [Presentation] 磁歪薄膜積層 MEMS カンチレバーの形成とデュアル AFM プローブへの応用 (2014)
  • Author(s): 田口涼雅, 川島健太, 西方孝志, 峯田貴
  • Organizer: 第44回機械学会東北支部学生会
  • Place of Presentation: 山形大学(米沢市)
  • Year and Date: 2014-03-11
• [Presentation] 高加速 EB リソグラフィによる薄膜ナノ電極対の形成とヒアルロン酸分子捕捉への応用 (2014)
  • Author(s): 三浦嘉隆, 峯田貴, 佐藤翼
  • Organizer: 第44回機械学会東北支部学生会
  • Place of Presentation: 山形大学(米沢市)
  • Year and Date: 2014-03-11
• [Presentation] 磁歪膜を積層した共振型MEMS磁気センサ (2014)
  • Author(s): 西方孝志, 峯田貴, 川島貴弘, 柴田隆行, 岡崎貞子, 古屋泰文
  • Organizer: ロボティクス・メカトロニクス講演会2014
  • Place of Presentation: 富山市総合体育館, 富山市
• [Presentation] Two-Dimensional Folded Chain Crystals Composed of a Single Isotactic Poly(methyl methacrylate) Chain Observed by Atomic Force Microscopy (2014)
  • Author(s): Jiro Kumaki, Takahiro Anzai
  • Organizer: American Physical Society (APS) March Meeting 2014
  • Place of Presentation: Colorado Convention Center, Denver, Colorado, USA
• [Presentation] シリコン MEMS カンチレバー上に成膜した高配向磁歪薄膜の特性評価 (2013)
  • Author(s): 西方孝志, 峯田貴, 田口涼雅, 川島健太
  • Organizer: 第5回マイクロナノ工学シンポジウム
  • Place of Presentation: 仙台国際センター(仙台市)
  • Year and Date: 2013-11-07
• [Presentation] Si トレンチの SOG 埋込による近接デュアル AFM 探針と Ni 積層デュアルカンチレバーの作製 (2013)
  • Author(s): 川島健太, 峯田貴, 牧野英司, 川島貴弘, 柴田隆行
  • Organizer: 第30回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
  • Place of Presentation: 仙台国際センター(仙台市)
  • Year and Date: 2013-11-06
• [Presentation] MEMS カンチレバーアレイを用いたコンビナトリアル法によるFe-Pd 合金膜の磁歪特性評価 (2013)
  • Author(s): 笹渕貴史, 峯田貴
  • Organizer: 第5回マイクロナノ工学シンポジウム
  • Place of Presentation: 仙台国際センター(仙台市)
  • Year and Date: 2013-11-06
• [Presentation] 高分子の高分解能原子間力顕微鏡観察 (2013)
  • Author(s): 熊木治郎
  • Organizer: 第61回レオロジー討論会,日本レオロジー学会
  • Place of Presentation: 山形大学(米沢市)
  • Year and Date: 2013-09-25
  • Invited
• [Presentation] Fabrication of ultra-narrow -gapped dual AFM tip and silicon dual cantilever with magneto-strictive thin film actuator (2013)
  • Author(s): K. Kawashima, T . Okazaki, Y . Furuya, E. Makino, T . Mineta
  • Organizer: 39th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2013)
  • Place of Presentation: Imperial College (London,UK)
  • Year and Date: 2013-09-17
• [Presentation] MEMS sensors and actuators with smart materials (2013)
  • Author(s): T . Mineta
  • Organizer: 3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013)
  • Place of Presentation: Hirosaki Univ(Hirosaki, Japan)
  • Year and Date: 2013-05-06
• [Presentation] Two-Dimensional Folded Chain Crystals Composedofa Single Isotactic Poly(methyl methacrylate)Chain Observed by Atomic Force Microscopy (2013)
  • Author(s): J . Kumaki, T.Anzai
  • Organizer: American Phys. Soc. (APS) March Meeting 2014
  • Place of Presentation: Colorado Convention Center (Denver , Colorado, USA) Abstract
• [Presentation] Atomic Force Microscopy of Polymer Langmuir-Blodgett Films (2013)
  • Author(s): J. Kumaki
  • Organizer: 2nd Fusion Materials Special Meeting Program
  • Place of Presentation: Arcadia Ichigaya (Tokyo, Japan)
• [Presentation] High -Resolution Atomic Force Microscopy of T wo -Dimensional Folded Chain Crystals of Isotactic Poly(methyl methacrylate)s Melting Behavior (2013)
  • Author(s): Y. Takanashi, T. Anzai, J. Kumaki
  • Organizer: Int. Discussion Meeting on Polymer Crystallization 2013 (IDMPC2013)
  • Place of Presentation: COOP-IN (Kyoto, Japan)
• [Presentation] PMMA 孤立鎖の高温 AFM 観察 (2013)
  • Author(s): 藤田良, 古舘謙志郎, 西辻祥太郎, 熊木治郎
  • Organizer: 第62回高分子学会年次大会
  • Place of Presentation: 国立京都国際会館(京都市)
• [Presentation] Fabrication of ultra-narrow-gapped dual AFM tip and silicon dual cantilever with magneto-strictive thin film actuator (2013)
  • Author(s): Kenta. Kawashima, Teiko. Okazaki, Yasubumi. Furuya, Eiji. Makino, Takashi. Mineta
  • Organizer: 39th Int. Conf. on Micro Nano Engineering (MNE2013)
  • Place of Presentation: Imperial College, London, UK
• [Presentation] MEMSカンチレバーアレイを用いたコンビナトリアル法によるFe-Pd合金膜の磁歪特性評価 (2013)
  • Author(s): 笹渕貴史，峯田貴,
  • Organizer: 第5回マイクロナノ工学シンポジウム
  • Place of Presentation: 仙台国際センター, 仙台市
• [Presentation] シリコンMEMSカンチレバー上に成膜した高配向磁歪薄膜の特性評価 (2013)
  • Author(s): 西方孝志, 峯田貴, 田口涼雅, 川島健太
  • Organizer: 第5回マイクロナノ工学シンポジウム
  • Place of Presentation: 仙台国際センター, 仙台市
• [Presentation] SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製 (2013)
  • Author(s): 川島 健太, 峯田 貴, 牧野 英司, 川島 貴弘, 柴田隆行
  • Organizer: 第30回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
  • Place of Presentation: 仙台国際センター, 仙台市
• [Presentation] High-Resolution Atomic Force Microscopy of Two-Dimensional Folded Chain Crystals of Isotactic Poly(methyl methacrylate)s Melting Behavior (2013)
  • Author(s): Yuma Takanashi, Takahiro Anzai, Jiro Kumaki
  • Organizer: International Discussion Meeting on Polymer Crystallization 2013 (IDMPC2013)
  • Place of Presentation: COOP-IN, Kyoto, Japan
  • Invited
• [Presentation] Atomic Force Microscopy of Polymer Langmuir-Blodgett Films (2013)
  • Author(s): Jiro Kumaki
  • Organizer: 2nd Fusion Materials Special Meeting Program
  • Place of Presentation: Arcadia Ichigaya, Tokyo, Japan
• [Presentation] PMMA孤立鎖の高温AFM観察 (2013)
  • Author(s): 藤田良、古舘謙志郎、西辻祥太郎、熊木治郎
  • Organizer: 第６２回高分子学会年次大会
  • Place of Presentation: 国立京都国際会館，京都市
• [Presentation] Strong Melting Point Depression of T wo-Dimensional Folded Chain Crystals of Isotactic Poly(methyl methacrylate)s Observed by In-Situ High-Resolution Atomic Force Microscopy (2012)
  • Author(s): Y. Takahashi, J. Kumaki
  • Organizer: The 9th SPSJ Int. Polymer Conference (IPC2012)
  • Place of Presentation: Kobe Convention Center(Kobe, Japan)
  • Year and Date: 2012-12-11
• [Presentation] 合成高分子鎖の高分解能原子間力顕微鏡観察 (2012)
  • Author(s): 熊木治郎
  • Organizer: 高分子分析研究懇談会第365回例会
  • Place of Presentation: ゆうぽーと(東京都)
  • Year and Date: 2012-12-10
  • Invited
• [Presentation] スピンオングラスによるトレンチ埋め込みと化学的表面研磨を用いた近接デュアル AFM 探針の作製 (2012)
  • Author(s): 川島健太, 峯田貴
  • Organizer: 精密工学会東北支部学術講演会論文集
  • Place of Presentation: 山形大学工学部(米沢市)
  • Year and Date: 2012-12-01
• [Presentation] 高感度磁気センサのための磁歪膜積層型MEMSカンチレバーの形成 (2012)
  • Author(s): 西方孝志, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 貴
  • Organizer: 第29回センサマイクロマシンと応用システム
  • Place of Presentation: 北九州国際会議場(北九州市)
  • Year and Date: 2012-10-23
• [Presentation] トレンチ埋め込みと表面研磨プロセスによる近接デュアル AFM 探針の形成 (2012)
  • Author(s): 川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 貴
  • Organizer: 第29回センサマイクロマシンと応用システム
  • Place of Presentation: 北九州国際会議場(北九州市)
  • Year and Date: 2012-10-23
• [Presentation] 生体高分子観察および加工のための近接AFM 探針と薄膜磁気アクチュエータ積層型デュアル MEMS カンチレバーの形成 (2012)
  • Author(s): 川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 峯田貴
  • Organizer: 第23回バイオフロンティア講演会論文集
  • Place of Presentation: 弘前市文化センター(弘前市)
  • Year and Date: 2012-10-05
• [Presentation] FePd 磁歪膜を積層したデュアルカンチレバーの形成と近接デュアルニードル構造の形成 (2012)
  • Author(s): 川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司
  • Organizer: 日本機械学会2012年次大会論文集
  • Place of Presentation: 金沢大学(金沢市)
  • Year and Date: 2012-09-19
• [Presentation] Fabrication of narrow-gaped dual AFM tip with novel self-align silicon nano-machining process (2012)
  • Author(s): T . Mineta, K. Kawashima, Eiji Makino
  • Organizer: 38th Int. Conf. on Micro Nano Eng. (MNE2012)
  • Place of Presentation: The Pierre Baudis Convention Centre (T oulouse, France)
  • Year and Date: 2012-09-18
• [Presentation] 磁気センサのための FePd 膜を積層した MEMS カンチレバーの形成 (2012)
  • Author(s): 西方孝志, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文,牧野英司
  • Organizer: 日本機械学会2012年次大会論文集
  • Place of Presentation: 金沢大学(金沢市)
  • Year and Date: 2012-09-12
• [Presentation] Strong Melting Point Depression of Two Dimensional Folded Chain Crystals of Isotactic Poly(methyl methacrylate)s Observed by In-Situ High-Resolution Atomic Force Microscopy (2012)
  • Author(s): Y. Takahashi, J. Kumaki
  • Organizer: Int. Assoc. of Colloid and Interface Scientists(IACIS2012)
  • Place of Presentation: Sendai International Center (Sendai, Japan)
  • Year and Date: 2012-05-17
• [Presentation] Fabrication and Characterization of Silicon MEMS Cantilever with FePd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Film (2012)
  • Author(s): T . Mineta, Y . Sado, E. Makino, T . Okazaki and Y . Furuya
  • Organizer: Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications
  • Place of Presentation: Hirosaki Culture Center (Hirosaki, Japan)
  • Year and Date: 2012-04-25
• [Presentation] MEMS devices with Smart Materials (2012)
  • Author(s): T. Mineta
  • Organizer: Int. Workshop on Progress of Materials for Smart System 2012
  • Place of Presentation: Hirosaki Culture Center (Hirosaki, Japan)
  • Year and Date: 2012-04-25
• [Presentation] Si 基板上へスパッタ形成した FePd 磁性形状記憶合金膜の特性評価 (2012)
  • Author(s): 峯田貴, 川島健太, 西方孝志, 牧野 英司, 三上是右, 岡崎 禎子, 古屋 泰文
  • Organizer: 表面技術協会第125回講演大会
  • Place of Presentation: 東京都市大学(東京都)
  • Year and Date: 2012-03-14
• [Presentation] Si基板上へスパッタ形成したFePd磁性形状記憶合金膜の特性評価 (2012)
  • Author(s): 峯田貴, 川島健太, 西方孝志, 牧野英司, 三上是右, 岡崎禎子, 古屋泰文
  • Organizer: 表面技術協会第125回講演大会
  • Place of Presentation: 東京都市大学(東京都)
  • Year and Date: 2012-03-14
• [Presentation] 磁歪効果を用いたメカニカルなマイクロ磁気センサの基礎研究 (2012)
  • Author(s): 西方孝志, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文
  • Organizer: 日本機械学会東北支部学生会
  • Place of Presentation: 福島高専(いわき市)
  • Year and Date: 2012-03-06
• [Presentation] 磁歪膜を積層した近接デュアル AFM プローブの形成 (2012)
  • Author(s): 川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文
  • Organizer: 日本機械学会東北支部学生会
  • Place of Presentation: 福島高専(いわき市)
  • Year and Date: 2012-03-06
• [Presentation] 磁歪膜を積層した近接デュアルAFMプローブの形成 (2012)
  • Author(s): 川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文
  • Organizer: 日本機械学会東北支部学生会
  • Place of Presentation: 福島高専(いわき市)
  • Year and Date: 2012-03-06
• [Presentation] MEMS devices with Smart Materials (2012)
  • Author(s): T. Mineta
  • Organizer: Int. Workshop on Progress of Materials for Smart System 2012
  • Place of Presentation: Hirosaki Culture Center(弘前市）
  • Invited
• [Presentation] イソタクチックPMMA2次元折りたたみ鎖結晶の高分解能AFM による融解挙動観察 (2011)
  • Author(s): 高梨ゆま, 熊木治郎
  • Organizer: 2011高分子学会東北支部研究発表会
  • Place of Presentation: 山形大学工学部(米沢市)
  • Year and Date: 2011-11-17
• [Presentation] イソタクチッグPMMA2次元折りたたみ鎖結晶の高分解能AFMによる融解挙動観察 (2011)
  • Author(s): 高梨ゆま、熊木治郎
  • Organizer: 2011高分子学会東北支部研究発表会
  • Place of Presentation: 山形大学工学部(米沢市)
  • Year and Date: 2011-11-17
• [Presentation] FePd 磁気形状記憶合金薄膜/Si 積層構造のマイクロカンチレバー形成 (2011)
  • Author(s): 峯田貴, 佐渡祐介, 川島健太, 西方孝志,牧野英司, 岡崎禎子, 古屋泰文
  • Organizer: 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会
  • Place of Presentation: 山形大学(米沢市)
  • Year and Date: 2011-09-17
• [Presentation] FePd磁気形状記憶合金薄膜/Si積層構造のマイクロカンチレバー形成 (2011)
  • Author(s): 峯田貴, 佐渡祐介, 川島健太, 西方孝志, 牧野英司, 岡崎禎子, 古屋泰文
  • Organizer: 日本機械学会東北支部第47回秋期講演会
  • Place of Presentation: 山形大学工学部(米沢市)
  • Year and Date: 2011-09-17
• [Presentation] 原子間力顕微鏡プローブによるヒアルロン酸分子の機械的切断 (2011)
  • Author(s): 峯田貴, 牧野英司
  • Organizer: 第72回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 山形大学(山形市)
  • Year and Date: 2011-09-01
• [Presentation] FePd 磁気形状記憶合金薄膜/Si積層構造のマイクロカンチレバー形成 (2011)
  • Author(s): 峯田貴, 佐渡祐介, 牧野英司, 岡崎禎子,古屋泰文
  • Organizer: 第72回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 山形大学(山形市)
  • Year and Date: 2011-08-31
• [Presentation] FePd磁気形状記憶合金薄膜/Si積層構造のマイクロカンチレバー形成 (2011)
  • Author(s): 峯田貴, 佐渡祐介, 牧野英司, 岡崎禎子, 古屋泰文
  • Organizer: 第72回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 山形大学(山形市)
  • Year and Date: 2011-08-31
• [Presentation] イソタクチックPMMA2次元折りたたみ鎖結晶の高分解能AFM による融解挙動観察 (2011)
  • Author(s): 高梨ゆま, 熊木治郎
  • Organizer: 第60回高分子学会年次大会
  • Place of Presentation: 大阪国際会議場(大阪市)
  • Year and Date: 2011-05-26
• [Presentation] イソタクチックPMMA2次元折りたたみ鎖結晶の高分解能AFMによる融解挙動観察 (2011)
  • Author(s): 高梨ゆま、熊木治郎
  • Organizer: 第60回高分子学会年次大会
  • Place of Presentation: 大阪国際会議場(大阪市)
  • Year and Date: 2011-05-26
• [Presentation] MEMS sensors and actuators with smart materials
  • Author(s): Takashi. Mineta
  • Organizer: 3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013)
  • Place of Presentation: Hirosaki Univ., (Hirosaki, Japan
  • Invited
• [Presentation] 磁歪薄膜積層MEMSカンチレバーの形成とデュアルAFMプローブへの応用
  • Author(s): 田口涼雅，川島健太，西方孝志，峯田貴
  • Organizer: 第44回機械学会東北支部学生会
  • Place of Presentation: 山形大学, 米沢市
• [Presentation] 高加速EBリソグラフィによる薄膜ナノ電極対の形成とヒアルロン酸分子捕捉への応用
  • Author(s): 三浦 嘉隆, 峯田 貴, 佐藤 翼
  • Organizer: 第44回機械学会東北支部学生会
  • Place of Presentation: 山形大学, 米沢市
• [Presentation] 高分子の高分解能原子間力顕微鏡観察
  • Author(s): 熊木治郎
  • Organizer: 第６１回レオロジー討論会、日本レオロジー学会
  • Place of Presentation: 山形大学，米沢市
  • Invited
• [Presentation] Fabrication and Characterization of Silicon MEMS Cantilever with FePd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Film
  • Author(s): T. Mineta, Y. Sado, E. Makino, T. Okazaki and Y. Furuya
  • Organizer: Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications
  • Place of Presentation: Hirosaki Culture Center(弘前市）
• [Presentation] FePd磁歪膜を積層したデュアルカンチレバーの形成と近接デュアルニードル構造の形成
  • Author(s): 川島健太, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司
  • Organizer: 日本機械学会2012年次大会論文集
  • Place of Presentation: 金沢大学(金沢市)
• [Presentation] 磁気センサのためのFePd膜を積層したMEMSカンチレバーの形成
  • Author(s): 西方孝志, 峯田貴, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司
  • Organizer: 日本機械学会2012年次大会論文集
  • Place of Presentation: 金沢大学(金沢市)
• [Presentation] Fabrication of narrow-gaped dual AFM tip with novel self-align silicon
  • Author(s): T. Mineta, K. Kawashima, Eiji Makino
  • Organizer: 38th Int. Conf. on Micro Nano Engineering (MNE2012)
  • Place of Presentation: The Pierre Baudis Convention Centre, Toulouse, France
• [Presentation] 生体高分子観察および加工のための近接AFM探針と薄膜磁気アクチュエータ積層型デュアルMEMSカンチレバーの形成
  • Author(s): 川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 峯田貴
  • Organizer: 第23回バイオフロンティア講演会論文集
  • Place of Presentation: 弘前市文化センター(弘前市）
• [Presentation] 高感度磁気センサのための磁歪膜積層型MEMSカンチレバーの形成
  • Author(s): 西方孝志, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 貴
  • Organizer: 第29回センサマイクロマシンと応用システム
  • Place of Presentation: 北九州国際会議場(北九州市）
• [Presentation] トレンチ埋め込みと表面研磨プロセスによる近接デュアルAFM探針の形成
  • Author(s): 川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 貴
  • Organizer: 第29回センサマイクロマシンと応用システム
  • Place of Presentation: 北九州国際会議場(北九州市）
• [Presentation] スピンオングラスによるトレンチ埋め込みと化学的表面研磨を用いた近接デュアルAFM探針の作製
  • Author(s): 川島健太，峯田貴
  • Organizer: 精密工学会東北支部学術講演会論文集
  • Place of Presentation: 山形大学工学部(米沢市)
• [Presentation] Strong Melting Point Depression of Two-Dimensional Folded Chain Crystals of Isotactic Poly(methyl methacrylate)s Observed by In-Situ High-Resolution Atomic Force Microscopy
  • Author(s): Yuma Takahashi, Jiro Kumaki
  • Organizer: Int. Association of Colloid and Interface Scientists (IACIS2012)
  • Place of Presentation: Sendai Internationl Center （Sendai, Japan）
• [Presentation] Strong Melting Point Depression of Two-Dimensional Folded Chain Crystals of Isotactic Poly(methyl methacrylate)s Observed by In-Situ High-Resolution Atomic Force Microscopy
  • Author(s): Yuma Takahashi, Jiro Kumaki
  • Organizer: The 9th SPSJ Int. Polymer Conference (IPC2012)
  • Place of Presentation: Kobe Convention Center (Kobe, Japan)
• [Presentation] 合成高分子鎖の高分解能原子間力顕微鏡観察
  • Author(s): 熊木治郎
  • Organizer: 高分子分析研究懇談会第365回例会
  • Place of Presentation: ゆうぽーと (東京都)
  • Invited
• [Remarks]
  • URL: http://mineta_lab.yz.yamagata-u.ac.jp/Research-HA-AFM.html
• [Remarks] マイクロ・ナノマシン 峯田研究室 - Yamagata University 研究紹介
  • URL: http://mineta_lab.yz.yamagata-u.ac.jp/Research-HA-AFM.html
• [Remarks] 峯田研究室 Research 原子間力顕微鏡／分子操作用マルチナノプローブ
  • URL: http://mineta_lab.yz.yamagata-u.ac.jp/Research-HA-AFM.html