Digital hologram measurements of thermohydrodynamic behavior at a thermally-assisted UV nanoimprint process

• Project/Area Number: 23560243
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Research Field: Thermal engineering
• Research Institution: Tokyo University of Science
• Principal Investigator: SATAKE Shinichi 東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (90286667)
• Project Period (FY): 2011 – 2013
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2013)
• Budget Amount: ¥5,460,000 (Direct Cost: ¥4,200,000、Indirect Cost: ¥1,260,000); Fiscal Year 2013: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000); Fiscal Year 2012: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000); Fiscal Year 2011: ¥3,770,000 (Direct Cost: ¥2,900,000、Indirect Cost: ¥870,000)
• Keywords: 流体計測 / ホログラム / インプリント / 光硬化樹脂

Research Abstract

This study reports on a technique for measuring four-dimensional flow of UV curable resin during the process of nanoimprinting by employing a micro-digital-holographic particle-tracking velocimetry (micro-DHPTV) technique. In this study, high time-resolution measurements of flow field of UV curable resin at a press process step accompanied by a heating of UV-NIL were carried. The temperature dependence of UV curable resin was evaluated by measuring the UV curable resin while varying its temperature.

Research Products

• [Journal Article] ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響 (2014)
  • Author(s): 浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
  • Journal Title: 第51回日本伝熱シンポジウム講演論文集
• [Journal Article] Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV (2013)
  • Author(s): Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
  • Journal Title: Proc. of the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering Pages: 528-528
• [Journal Article] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測 (2013)
  • Author(s): 海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
  • Journal Title: 第50回日本伝熱シンポジウム講演論文集 Volume: vol.II+III Pages: 346-347
• [Journal Article] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測 (2013)
  • Author(s): 海野 徳幸, 筒田 剛, 佐竹 信一, 谷口 淳
  • Journal Title: 第50 回日本伝熱シンポジウム講演 論文集 Volume: ＩＩ＋ＩＩＩ Pages: 346-347
• [Journal Article] Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro-digital holographic-PTV (2012)
  • Author(s): S. Satake, J. Taniguchi, T. Kanai, N. Unno
  • Journal Title: Microelectron. Eng. Volume: 97 Pages: 51-54
• [Journal Article] Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro- digital Holographic-PTV (2012)
  • Author(s): Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Takahiro Kanai, Noriyuki Unno
  • Journal Title: Microelectronic Engineering Volume: 97 Pages: 51-54
  • DOI: 10.1016/j.mee.2012.04.010
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] マイクロデジタルホログラフィックPTVによるUVインプリントプロセスの計測 (2011)
  • Author(s): 佐竹信一,谷口淳,金井高弘,海野徳幸
  • Journal Title: 日本機械学会熱工学コンファレンス2011講演論文集 Volume: 29-30 Pages: 345-346
• [Journal Article] マイクロ デジタルホログラフィックPTV によるUV インプリン トプロセスの計測 (2011)
  • Author(s): 佐竹 信一, 谷口淳, 金井高弘, 海野徳幸
  • Journal Title: 日本機械学会熱工学コンファレ ンス2011講演論文集 Volume: 1 Pages: 345-346
• [Presentation] ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響 (2014)
  • Author(s): 浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
  • Organizer: 第51回日本伝熱シンポジウム2014
  • Place of Presentation: アクトシティ浜松・コングレスセンター、浜松
• [Presentation] ナノインプリント圧着過程中のUV 硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響 (2014)
  • Author(s): 浅野元晴,海野徳幸,佐竹 信一,谷口 淳
  • Organizer: 第51回日本伝熱シンポジウム
  • Place of Presentation: アクトシティ浜松・コングレスセンター
• [Presentation] Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV (2013)
  • Author(s): Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
  • Organizer: Proc. of the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering
  • Place of Presentation: London, UK
• [Presentation] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測 (2013)
  • Author(s): 海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
  • Organizer: 第50回日本伝熱シンポジウム2013
  • Place of Presentation: ウェスティンホテル仙台および仙台トラストシティ,仙台
• [Presentation] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測 (2013)
  • Author(s): 海野 徳幸, 筒田 剛, 佐竹 信一, 谷口 淳
  • Organizer: 第50回日本伝熱シンポジウム
  • Place of Presentation: ウェスティンホテル仙台
• [Presentation] Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV (2013)
  • Author(s): Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
  • Organizer: the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering
  • Place of Presentation: London, UK
• [Presentation] マイクロデジタルホログラフィックPTVによるUVインプリントプロセスの計測 (2011)
  • Author(s): 佐竹信一,谷口淳,金井高弘,海野徳幸
  • Organizer: 日本機械学会熱工学コンファレンス2011
  • Place of Presentation: 静岡大学、浜松
• [Presentation] マイクロ デジタルホログラフィックPTV によるUV インプリン トプロセスの計測 (2011)
  • Author(s): 佐竹 信一, 谷口淳, 金井高弘, 海野徳幸
  • Organizer: 日本機械学会熱工学コンファレ ンス2011
  • Place of Presentation: 静岡大学