• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

Development of evaluation method of glass materials by the UMS technology

Research Project

Project/Area Number 23560494
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeMulti-year Fund
Section一般
Research Field Measurement engineering
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

ARAKAWA Mototaka  東北大学, 医工学研究科, 特任助教 (00333865)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) KUSHIBIKI Jun-ichi  東北大学, 大学院工学研究科, 名誉教授 (50108578)
Project Period (FY) 2011 – 2013
Project Status Completed (Fiscal Year 2013)
Budget Amount *help
¥5,330,000 (Direct Cost: ¥4,100,000、Indirect Cost: ¥1,230,000)
Fiscal Year 2013: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000)
Fiscal Year 2012: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2011: ¥2,860,000 (Direct Cost: ¥2,200,000、Indirect Cost: ¥660,000)
Keywords超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 超精密超音波計測 / 機能性ガラス / 石英ガラス / 構造解析
Research Abstract

Physical properties, e.g., refractive index and thermal expansion, of glass materials can be controlled with addition of dopants. Evaluation techniques for fabricated glasses are important to obtain glasses having the desired properties. In this study, acoustic properties (leaky surface acoustic wave velocity, longitudinal velocity, and density) were measured by the ultrasonic microspectroscopy technology. Relationships among acoustic properties, fictive temperature, OH concentration, and Cl concentration were obtained. We also obtained relationships among acoustic properties, F concentration, and fictive temperature for F-doped synthetic silica glasses.

Report

(4 results)
  • 2013 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2012 Research-status Report
  • 2011 Research-status Report
  • Research Products

    (49 results)

All 2014 2013 2012 2011 Other

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (44 results) Remarks (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results) (of which Overseas: 1 results)

  • [Journal Article] Homogeneity improvement of TiO2-SiO2 glass synthesized by the soot method and its evaluation using the ultrasonic measurement system2013

    • Author(s)
      Masahiro Kawagishi, Junko Konishi, Masaaki Takata, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Jun-ichi Kushibiki
    • Journal Title

      Proc. SPIE

      Volume: 8679 Pages: 86791N-86791N

    • DOI

      10.1117/12.2011655

    • Related Report
      2013 Final Research Report 2012 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる強化ガラスの表面応力評価法の検討2014

    • Author(s)
      荒川元孝,櫛引淳一,大橋雄二,川口邦子,竹田宣生
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川
    • Year and Date
      2014-03-20
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による強化ガラスの表面応力評価法の検討2014

    • Author(s)
      荒川元孝,櫛引淳一,大橋雄二,川口邦子,竹田宣生
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • Place of Presentation
      宮城
    • Year and Date
      2014-01-30
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による強化ガラスの表面応力評価法の検討2014

    • Author(s)
      荒川元孝, 櫛引淳一, 大橋雄二, 川口邦子, 竹田宣生
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • Place of Presentation
      東北大学工学研究科青葉記念会館(宮城県仙台市)
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる強化ガラスの表面応力評価法の検討2014

    • Author(s)
      荒川元孝, 櫛引淳一, 大橋雄二, 川口邦子, 竹田宣生
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学淵野辺キャンパス(神奈川県相模原市)
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] 強化ガラスの超音波マイクロスペクトロスコピー2013

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,川口邦子,竹田宣生
    • Organizer
      第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2013-11-20
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成粉溶融石英ガラスの均質性評価—OH濃度と仮想温度の関係—2013

    • Author(s)
      荒川元孝,大橋雄二,小林恵理子,櫛引淳一,堀越秀春,森山賢二
    • Organizer
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2013-09-19
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価法2013

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,山田修史
    • Organizer
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川
    • Year and Date
      2013-03-29
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] Homogeneity improvement of TiO_2-SiO_2 glass synthesized by the soot method and its evaluation using the ultrasonic measurement system2013

    • Author(s)
      Masahiro Kawagishi, Junko Konishi, Masaki Takata, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, and Junichi Kushibiki
    • Organizer
      2013 Advanced Lithography
    • Place of Presentation
      アメリカ・サンノゼコンベンションセンター
    • Year and Date
      2013-02-27
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 強化ガラスの超音波マイクロスペクトロスコピー2013

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 川口邦子, 竹田宣生
    • Organizer
      第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      同志社大学室町キャンパス寒梅館(京都府京都市)
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの屈折率評価2012

    • Author(s)
      荒川元孝,櫛引淳一,森山賢二,堀越秀春
    • Organizer
      第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      千葉
    • Year and Date
      2012-11-14
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] TiO_2-SiO_2 ultra low expansion glasses for extreme ultraviolet lithography evaluated by ultrasonic zero CTE temperature measurement system2012

    • Author(s)
      Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Yuko Maruyama, Toshio Sannnomiya, Kazuo Ishikawa, Junichi Kushibiki, and Naofumi Yamada
    • Organizer
      2012 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Place of Presentation
      ドイツ・ドレスデン
    • Year and Date
      2012-10-08
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価法—音響特性の仮想温度依存性におけるOHとClの影響—2012

    • Author(s)
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,櫛引淳一,堀越秀春,森山賢二
    • Organizer
      超音波研究会
    • Place of Presentation
      秋田
    • Year and Date
      2012-09-24
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価2012

    • Author(s)
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,櫛引淳一,山田修史
    • Organizer
      電気学会電子・情報・システム部門大会
    • Place of Presentation
      青森
    • Year and Date
      2012-09-05
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] Study on evaluation of F-doped silica glass by the ultrasonic microspectroscopy technology2012

    • Author(s)
      八島一哉,荒川元孝,丸山由子,櫛引淳一
    • Organizer
      電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      秋田
    • Year and Date
      2012-08-31
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] Development of homogeneous TiO_2-SiO_2 ultra low expansion glass for optical cavities for frequency standards2012

    • Author(s)
      Junichi Kushibiki, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Yuko Maruyama, and Naofumi Yamada
    • Organizer
      2012 IEEE International Frequency Control Symposium
    • Place of Presentation
      アメリカ・ボルチモア
    • Year and Date
      2012-05-22
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波ゼロCTE温度評価システムによるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの評価—仮想温度依存性—2012

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,山田修史
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合大会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2012-03-18
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるVAD法SiO_<2 >ガラスインゴットの均質性評価2012

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,貝賀俊介,堀越秀春,森山賢二
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合大会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2012-03-16
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの屈折率評価2012

    • Author(s)
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,櫛引淳一,森山賢二,堀越秀春
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合大会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2012-03-16
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるVAD法SiO_2ガラスインゴットの均質性評価2012

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,貝賀俊介,堀越秀春,森山賢二
    • Organizer
      日本音響学会春季研究発表会
    • Place of Presentation
      神奈川
    • Year and Date
      2012-03-13
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるSiO_2ガラスインゴットの光学特性評価2012

    • Author(s)
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,櫛引淳一,森山賢二,堀越秀春
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2012
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      2012-01-31
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの評価—仮想温度依存性—2012

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,山田修史
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2012
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      2012-01-31
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価2011

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,堀越秀春,森山賢二
    • Organizer
      第52回ガラス及びフォトニクス材料討論会
    • Place of Presentation
      兵庫
    • Year and Date
      2011-11-25
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波ゼロCTE温度計測システムにより評価したEUVLシステム用TiO_2-SiO_2超低膨張ガラス2011

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子
    • Organizer
      超音波研究会
    • Place of Presentation
      静岡
    • Year and Date
      2011-11-24
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価2011

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,堀越秀春,森山賢二
    • Organizer
      第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2011-11-10
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの仮想温度分布評価2011

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,堀越秀春,森山賢二
    • Organizer
      超音波研究会
    • Place of Presentation
      宮城
    • Year and Date
      2011-09-27
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの仮想温度分布評価2011

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,堀越秀春,森山賢二
    • Organizer
      第72回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      山形
    • Year and Date
      2011-08-31
    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Presentation] Development of Homogeneous TiO2-SiO2 Ultra-Low-Expansion Glass for Optical Cavities for Frequency Standards

    • Author(s)
      Jun-ichi Kushibiki, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Yuko Maruyama, and Naofumi Yamada
    • Organizer
      2012 IEEE International Frequency Control Symposium
    • Place of Presentation
      Baltimore, USA
    • Related Report
      2012 Research-status Report
  • [Presentation] Study on evaluation of F-doped silica glass by the ultrasonic microspectroscopy technology

    • Author(s)
      八島一哉, 荒川元孝, 丸山 由子, 櫛引淳一
    • Organizer
      電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      秋田県立大学(秋田県)
    • Related Report
      2012 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスピー技術によるTiO2-SiO2超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価

    • Author(s)
      荒川元孝, 大橋 雄二, 丸山 由子, 櫛引淳一,山田修史
    • Organizer
      電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • Place of Presentation
      弘前大学(青森県)
    • Related Report
      2012 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価法 -音響特性の仮想温度依存性におけるOHとClの影響-

    • Author(s)
      荒川元孝,大橋雄二, 丸山由子, 櫛引淳一, 堀越秀春, 森山賢二
    • Organizer
      超音波研究会
    • Place of Presentation
      秋田大学(秋田県)
    • Related Report
      2012 Research-status Report
  • [Presentation] TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glasses for extreme ultraviolet lithography evaluated by ultrasonic zero-CTE temperature measurement system

    • Author(s)
      Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Yuko Maruyama, Toshio Sannomiya, Kazuo Ishikawa, Jun-ichi Kushibiki, and Naofumi Yamada
    • Organizer
      2012 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Place of Presentation
      Dresden, Germany
    • Related Report
      2012 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの屈折率評価

    • Author(s)
      荒川元孝,櫛引淳一, 森山賢二,堀越秀春
    • Organizer
      第33回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      千葉大学(千葉県)
    • Related Report
      2012 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO2-SiO2超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価法

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 山田修史
    • Organizer
      第60 回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • Related Report
      2012 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの仮想温度分布評価

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 丸山由子,貝賀俊介 堀越秀春, 森山賢二
    • Organizer
      第72回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      山形
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの仮想温度分布評価

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 丸山由子, 貝賀俊介, 堀越秀春, 森山賢二
    • Organizer
      超音波研究会
    • Place of Presentation
      仙台
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 丸山由子, 堀越秀春, 森山賢二
    • Organizer
      第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      京都
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波ゼロCTE温度計測システムにより評価したEUVLシステム用TiO2-SiO2超低膨張ガラス

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 丸山由子
    • Organizer
      超音波研究会
    • Place of Presentation
      清水
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 丸山由子, 堀越秀春, 森山賢二
    • Organizer
      第52回ガラスおよびフォトニクス材料討論会
    • Place of Presentation
      姫路
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO2-SiO2超低膨張ガラスの評価 -仮想温度依存性-

    • Author(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,山田修史
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム 2012
    • Place of Presentation
      仙台
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるSiO2ガラスインゴットの光学特性評価

    • Author(s)
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,櫛引淳一,森山賢二,堀越秀春
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム 2012
    • Place of Presentation
      仙台
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるVAD法SiO2ガラスインゴットの均質性評価

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 貝賀俊
    • Organizer
      日本音響学会春季研究発表会
    • Place of Presentation
      横浜
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの屈折率評価

    • Author(s)
      荒川元孝, 大橋雄二, 丸山由子, 貝賀俊介, 櫛引淳一, 森山賢二, 堀越 秀春
    • Organizer
      第59 回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東京
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるVAD法SiO2ガラスインゴットの均質性評価

    • Author(s)
      櫛引 淳一, 荒川 元孝, 大橋 雄二, 貝賀俊介, 堀越秀春, 森山賢二
    • Organizer
      第59 回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東京
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Presentation] 超音波ゼロCTE温度評価システムによるTiO2-SiO2超低膨張ガラスの評価 ―仮想温度依存性―

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,山田修史
    • Organizer
      第59 回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東京
    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.ecei.tohoku.ac.jp/kushi/

    • Related Report
      2013 Final Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.ecei.tohoku.ac.jp/kushi/

    • Related Report
      2011 Research-status Report
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 強化ガラスの表面特性の測定方法2014

    • Inventor(s)
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,川口 邦子,竹田宣生
    • Industrial Property Rights Holder
      櫛引淳一,国立大学法人東北大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2014-03-18
    • Related Report
      2013 Final Research Report
    • Overseas
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 強化ガラスの表面特性の測定方法2014

    • Inventor(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 川口邦子, 竹田宣生
    • Industrial Property Rights Holder
      櫛引淳一, 国立大学法人東北大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2014-054913
    • Filing Date
      2014-03-18
    • Related Report
      2013 Annual Research Report

URL: 

Published: 2011-08-05   Modified: 2019-07-29  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi