Development of surface profile measurement method for ellipsoidal mirrors

• Project/Area Number: 23656106
• Research Category: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Research Field: Production engineering/Processing studies
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: MIMURA Hidekazu 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (30362651)
• Project Period (FY): 2011 – 2012
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2012)
• Budget Amount: ¥3,250,000 (Direct Cost: ¥2,500,000、Indirect Cost: ¥750,000); Fiscal Year 2012: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000); Fiscal Year 2011: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
• Keywords: X 線ミラー / 位相回復 / 形状計測 / X線ミラー

Research Abstract

In order to realize a soft X-ray nanobeam by an ellipsoidal mirror, measurement of its surface profile is necessary. In this study, feasibility studies on application of phase retrieval with coherent X-rays were carried out. Several simulations and experiments using visible light indicate that the proposed idea is promising.

Research Products

• [Journal Article] Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval (2012)
  • Author(s): T. Saito
  • Journal Title: Proceeding of SPIE Volume: 8501
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval
  • Author(s): T. Saito, Y. Yoshinori, H. Mimura
  • Journal Title: Proc. SPIE Volume: 8501 Pages: 850103-850103
• [Presentation] 回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発 (2013)
  • Author(s): 斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
  • Organizer: 2013年精密工学会春季大会、2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • Place of Presentation: 東京工業大学
• [Presentation] 回転楕円X線集光ミラーの形状計測法の開発 (2013)
  • Author(s): 斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
  • Organizer: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • Place of Presentation: 名古屋大学、名古屋市
• [Presentation] 回転楕円X線集光ミラーの形状計測法の開発 (2013)
  • Author(s): 斎藤貴宏
  • Organizer: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • Place of Presentation: 名古屋大学、愛知県
• [Presentation] 回転楕円ミラーを用いたX線集光システムの光学設計 (2013)
  • Author(s): 本山央人
  • Organizer: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • Place of Presentation: 名古屋大学、愛知県
• [Presentation] 回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発 (2013)
  • Author(s): 斎藤貴宏
  • Organizer: 2013年精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 東京工業大学、東京都
• [Presentation] 大開口・回転体ミラーによる軟X線集光システムの光学設計 (2013)
  • Author(s): 本山央人
  • Organizer: 2013年精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 東京工業大学、東京都
• [Presentation] 位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測-光学設計と理論的検討- (2012)
  • Author(s): 齋藤貴宏、三村秀和
  • Organizer: 2012年度精密工学会春季大会、2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • Place of Presentation: 首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市
• [Presentation] 回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発 (2012)
  • Author(s): 斎藤貴宏、武井良憲、J.R.Fienup,三村秀和
  • Organizer: 第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
  • Place of Presentation: 鳥栖市民文化会館、鳥栖市
• [Presentation] Development of Surface Profile Measurement Method for Spheroidal X-ray Mirror usin phase retrieval (2012)
  • Author(s): T. Saito, Y. Takei, H. Mimura
  • Organizer: 2012 Optics + Photonics
  • Place of Presentation: San Diego, USA
• [Presentation] 位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測 -光学設計と理論的検討- (2012)
  • Author(s): 齋藤貴宏、三村秀和
  • Organizer: 2011年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 首都大東京
• [Presentation] 回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発 (2012)
  • Author(s): 齋藤貴宏、武井良憲、J.R.Fienup、三村秀和
  • Organizer: 第25回放射光学会年会
  • Place of Presentation: 鳥栖市文化会館
• [Remarks]
  • URL: http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html
• [Remarks] Mimura Gr ホームページ
  • URL: http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html