Three-dimensional shape measurement by imaging ellipsometry

• Project/Area Number: 23760042
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Research Field: Applied optics/Quantum optical engineering
• Research Institution: Yamagata University (2012); Tohoku University (2011)
• Principal Investigator: TSURU Toshihide 山形大学, 地域教育文化学部, 准教授 (30306526)
• Project Period (FY): 2011 – 2012
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2012)
• Budget Amount: ¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000); Fiscal Year 2012: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000); Fiscal Year 2011: ¥2,990,000 (Direct Cost: ¥2,300,000、Indirect Cost: ¥690,000)
• Keywords: 偏光 / エリプソメトリー / 形状計測 / 偏光計測

Research Abstract

Ellipsometry is widely utilized for investigating surface and optical properties of thin films. We proposed a new concept for 3D shape measurement of specular objects by ellipsometry. For precise and fast measurement, imaging ellipsometer using a liquid crystal variable retarder was developed. A high precision achieved by our proposed method is expected for 3D shape measurement in various applications.

Research Products

• [Journal Article] Tilt-ellipsometry of object surface by specular reflection for three-dimensional shape measurement (2013)
  • Author(s): Toshihide Tsuru
  • Journal Title: Optics Express Volume: 21 Issue: 5 Pages: 6625-6632
  • DOI: 10.1364/oe.21.006625
  • Peer Reviewed
• [Presentation] 偏光計測による立体イメージング (2012)
  • Author(s): 津留俊英
  • Organizer: 2012年日本光学会年次学術講演会(Optics & Photonics Japan 2012)
  • Place of Presentation: 東京都タワーホール船堀東京都タワーホール船堀
  • Year and Date: 2012-10-24
• [Presentation] 液晶可変リターダーを用いた傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (2012)
  • Author(s): 津留俊英
  • Organizer: 第73回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 愛媛県愛媛大学・松山大学
  • Year and Date: 2012-09-12
• [Presentation] 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (2012)
  • Author(s): 津留俊英
  • Organizer: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 東京都早稲田大学
  • Year and Date: 2012-03-18
• [Presentation] 液晶可変リターダーを用いた傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (2012)
  • Author(s): 津留俊英
  • Organizer: 第73回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 愛媛大学
• [Presentation] 偏光計測による立体イメージング (2012)
  • Author(s): 津留俊英
  • Organizer: 日本光学会年次学術講演会(Optics & Photonics Japan 2012)
  • Place of Presentation: タワーホール船堀
  • Invited
• [Presentation] 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (2012)
  • Author(s): 津留俊英
  • Organizer: 2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 東京
• [Presentation] 偏光イメージングのものづくり現場への応用 (2011)
  • Author(s): 山本治美、松川裕章、荒木秀和、津留俊英
  • Organizer: 第7回偏光計測研究会
  • Place of Presentation: 東京都東京工芸大学
  • Year and Date: 2011-11-11
• [Presentation] 偏光イメージングのものづくり現場への応用 (2011)
  • Author(s): 山本治美、松川裕章、荒木秀和、津留俊英
  • Organizer: 第7回偏光計測研究会
  • Place of Presentation: 東京