Si integrated micro scale ultrasonic transducer using PZT thin films for an endoscope

• Project/Area Number: 23760311
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Research Field: Electron device/Electronic equipment
• Research Institution: Toyohashi University of Technology
• Principal Investigator: AKAI Daisuke 豊橋技術科学大学, エレクトロニクス先端融合研究所, 助教 (50378246)
• Project Period (FY): 2011 – 2012
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2012)
• Budget Amount: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2012: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000); Fiscal Year 2011: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000)
• Keywords: 超音波 / トランスデューサ / PZT / A1203 / 圧電 / MEMS / 超音波振動子 / 強誘電体薄膜 / 圧電薄膜 / ダイアフラム

Research Abstract

A micro size ultrasonic probe integrated with Si substrates and ferroelectric PZT thin films have been developed for endoscope applications. Ultrasonic transducers and their array have been successfully fabricated with 100 μm in diameter or less.

Research Products

• [Journal Article] Vibration Analysis and Transmission Characteristics of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films on γ-Al2O3/Si Substrate (2012)
  • Author(s): Daisuke Akai, Katsuya Ozaki,Yasuyuki Numata, Keisuke Suzuki, Nagaya Okada, and Makoto Ishida
  • Journal Title: Japanese Journal of Applied Physics Volume: Vol. 51
  • NAID: 210000141612
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Vibration Analysis and Transmission Characteristics Of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on γ-Al2O3/Si Substrate (2012)
  • Author(s): D. Akai, K. Ozaki, Y. Numata, K. Suzuki,N. Nagaya and M. Ishida
  • Journal Title: Jpn. J. Appl. Phys Volume: Vol.51 Issue: 11S Pages: 11PA04-11PA04
  • DOI: 10.1143/jjap.51.11pa04
  • NAID: 210000141612
  • Peer Reviewed
• [Presentation] PZT薄膜を用いた超音波トランスデューサでの二次元音圧マッピングと受信感度測定 (2012)
  • Author(s): 西村将人、鈴木啓佑、尾崎勝弥、赤井大輔、石田 誠、岡田長也
  • Organizer: 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • Place of Presentation: 北九州国際会議場・西日本総合展示場(福岡県北九州市).
  • Year and Date: 2012-10-23
• [Presentation] γ-Al2O3/Si 基板上のエピタキシャル PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサの作製と評価 (2012)
  • Author(s): 鈴木啓佑,尾崎勝弥,赤井大輔,石田誠
  • Organizer: 平成 24 年度電気関係学会東海支部連合大会
  • Place of Presentation: 豊橋技術科学大学(愛知県豊橋市).
  • Year and Date: 2012-09-24
• [Presentation] γ-Al2O3/Si 基板上のエピタキシャル PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの作製と送受信特性 (2012)
  • Author(s): 尾崎勝弥、西村将人、鈴木啓佑、沼田泰幸、岡田長也、赤井大輔、石田 誠
  • Organizer: 信学技報
  • Place of Presentation: 豊橋技術科学大学(愛知県豊橋市).
  • Year and Date: 2012-05-17
• [Presentation] High Density Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers Array Using Epitaxial PZT Thin Film on γ-Al2O3/Si Substrate (2012)
  • Author(s): Katsuya Ozaki, Keisuke Suzuki, Yasuyuki Numata, Nagaya Okada, Daisuke Akai, and Makoto Ishida
  • Organizer: 2012 MRS Spring Meeting & Exhibit
  • Place of Presentation: San Francisco, CA, USA.
  • Year and Date: 2012-04-13
• [Presentation] Si基板上 PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの送信特性 (2012)
  • Author(s): 沼田泰幸,鈴木啓佑,尾崎勝弥,岡田長也,赤井大輔,石田 誠
  • Organizer: Si基板上 PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの送信特性
  • Place of Presentation: 早稲田大学(東京)
  • Year and Date: 2012-03-16
• [Presentation] High Density Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers Array Using Epitaxial PZT Thin Film on γ-Al2O3/Si Substrate (2012)
  • Author(s): Katsuya Ozaki
  • Organizer: 2012 MRS Spring Meeting & Exhibit
  • Place of Presentation: San Francisco, California
• [Presentation] γ-Al2O3/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの作製と送受信特性 (2012)
  • Author(s): 尾﨑勝弥
  • Organizer: 電子情報通信学会 研究会
  • Place of Presentation: 豊橋技術科学大学(愛知県豊橋市)
• [Presentation] γ -Al2O3/Si 基板上のエピタキシャル PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサの作製と評価 (2012)
  • Author(s): 鈴木啓佑
  • Organizer: 電気関係学会東海支部連合大会
  • Place of Presentation: 豊橋技術科学大学(愛知県豊橋市)
• [Presentation] PZT薄膜を用いた超音波トランスデューサでの二次元音圧マッピングと受信感度測定 (2012)
  • Author(s): 西村将人
  • Organizer: 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • Place of Presentation: 北九州国際会議場・西日本総合展示場(福岡県北九州市)
• [Presentation] Si基板上PZT薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの送信特性 (2012)
  • Author(s): 沼田泰幸，鈴木啓佑，尾崎勝弥，岡田長也，赤井大輔，石田誠
  • Organizer: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 早稲田大学(東京)
• [Presentation] エピタキシャル PZT/SrRuO3/Pt/γ-Al2O3/Si 基板上への 2D 超音波センサアレイの製作とイメージング (2011)
  • Author(s): 赤井大輔 , 與木隆弘 , 沼田泰幸 , 尾崎勝弥 , 岡田長也, 樋口一樹 , 石田誠
  • Organizer: 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • Place of Presentation: タワーホール船堀(東京).
  • Year and Date: 2011-09-26
• [Presentation] Miniature Ultrasound Acoustic Imaging Devices using 2-D pMUTs Array on Epitaxial PZT/SrRuO3/Pt/g-Al2O3/Si Structure (2011)
  • Author(s): D. Akai, T. Yogi, I. Kanja, K. Sawada, N. Okada, K. Higuchi, and M. Ishida
  • Organizer: The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '11)
  • Place of Presentation: 北京(中国)
• [Presentation] エピタキシャル PZT/SrRuO3/Pt/γ-Al2O3/Si 基板上への 2D 超音波センサアレイの製作とイメージング (2011)
  • Author(s): 赤井大輔 , 與木隆弘 , 沼田泰幸 , 尾崎勝弥 , 岡田長也, 樋口一樹 , 石田誠
  • Organizer: 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • Place of Presentation: タワーホール船堀(東京)
• [Remarks]
  • URL: http://www.vbl.tut.ac.jp/akai/
• [Remarks]
  • URL: http://www.vbl.tut.ac.jp/akai/index.html