Development of measuring system for charge distribution

• Project/Area Number: 23760377
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Research Field: Measurement engineering
• Research Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• Principal Investigator: KIKUNAGA Kazuya 独立行政法人産業技術総合研究所, 生産計測技術研究センター, 研究員 (10581283)
• Project Period (FY): 2011 – 2012
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2012)
• Budget Amount: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2012: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000); Fiscal Year 2011: ¥2,730,000 (Direct Cost: ¥2,100,000、Indirect Cost: ¥630,000)
• Keywords: 計測システム / 帯電 / 計測技術 / 音波 / 電界 / 可視化 / 電磁界

Research Abstract

A system for visualizing the electrostatic charge without contact using charged material oscillation method has been developed. There, it was established a technology to convert the information of the charge from an electric field, and a focused ultrasoun

Research Products

• [Journal Article] Measuring technique for static electricity using focused sound (2013)
  • Author(s): K. Kikunaga, T. Hoshi, H. Yamashita, Y.Fujii and K. Nonaka
  • Journal Title: Journal of Electrostatics Volume: vol. 71 Issue: 3 Pages: 554-557
  • DOI: 10.1016/j.elstat.2012.11.031
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 集束超音波を用いた非近接型静電気計測技術 (2013)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Journal Title: 静電気学会講演論文集 Volume: - Pages: 51-54
• [Journal Article] 誘起電界を用いた静電気計測技術 (2012)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Journal Title: 電気学会研究会資料 Volume: IM-12 Pages: 19-22
  • NAID: 10031141897
• [Journal Article] 音波を用いて静電気を計測する技術を開発 (2012)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Journal Title: 産総研Today Volume: 12-6 Pages: 23-23
• [Journal Article] A Study of Electrostatic Charge on Insulating Film by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • Author(s): K. Kikunaga, K. Toosaka, T. Kamohara, K.Sakai and K. Nonaka
  • Journal Title: Journal of Physics: Conference Series Volume: vol. 301 Pages: 012043-012043
  • DOI: 10.1088/1742-6596/301/1/012043
  • Year and Date: 2011-06-23
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 誘起電界を用いた静電気計測技術
  • Author(s): 菊永 和也、山下 博史、藤井 義貴、野中一洋
  • Journal Title: 電気学会研究会資料 Volume: vol. IM-12 Pages: 19-22
  • NAID: 10031141897
• [Presentation] 静電気計測のための誘導低周波電界に関する研究 (2013)
  • Author(s): 菊永和也
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 神奈川工科大学(神奈川県)
  • Year and Date: 2013-03-27
• [Presentation] 集束超音波を用いた非近接型静電気計測技術 (2013)
  • Author(s): 菊永和也
  • Organizer: 静電気学会
  • Place of Presentation: 東京大学(東京都)
  • Year and Date: 2013-03-07
• [Presentation] 誘起電界を用いた静電気計測技術 (2012)
  • Author(s): 菊永和也
  • Organizer: 電気学会計測研究会
  • Place of Presentation: 佐賀大学(佐賀県)
  • Year and Date: 2012-11-29
• [Presentation] 集束超音波を用いた静電気分布計測技術の開発 (2012)
  • Author(s): 菊永和也
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 愛媛大学(愛媛県)
  • Year and Date: 2012-09-12
• [Presentation] 音波振動を用いた静電気計測技術 (2012)
  • Author(s): 菊永和也
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 早稲田大学(東京都)
  • Year and Date: 2012-03-16
• [Presentation] 音波振動を用いた静電気計測技術 (2012)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 早稲田大学（東京都）
• [Presentation] Neutralization effect of Static Electricity in Localized Region on Wafer by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • Author(s): K. Kikunaga
  • Organizer: International Symposium on Surface Science
  • Place of Presentation: Tower Hall Funabori, Tokyo
  • Year and Date: 2011-12-14
• [Presentation] Detection of Electrostatic Charge using Charged Material Oscillation (2011)
  • Author(s): K. Kikunaga
  • Organizer: 2nd ISNPEDADM-2011
  • Place of Presentation: Institut de Recherche pour le Developpement, New Caledonia
  • Year and Date: 2011-11-15
• [Presentation] 音波を用いた帯電計測手法の開発 (2011)
  • Author(s): 菊永和也
  • Organizer: 電気学会
  • Place of Presentation: 東京工業大学(東京都)
  • Year and Date: 2011-09-21
• [Presentation] 帯電体振動法を用いた静電気計測技術の開発 (2011)
  • Author(s): 菊永和也
  • Organizer: 静電気学会
  • Place of Presentation: 東京理科大学(東京都)
  • Year and Date: 2011-09-12
• [Presentation] 音波を用いた静電気計測技術の開発 (2011)
  • Author(s): 菊永和也
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 山形大学(山形県)
  • Year and Date: 2011-08-29
• [Presentation] A Study of Electrostatic Charge on Insulating Film by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • Author(s): K. Kikunaga
  • Organizer: 13th International Conference on Electrostatics
  • Place of Presentation: Bangor university , United Kingdom
  • Year and Date: 2011-04-11
• [Presentation] A Study of Electrostatic Charge on Insulating Film by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 13th International Conference on Electrostatics
  • Place of Presentation: Bangor University （British）
• [Presentation] 音波を用いた静電気計測技術の開発 (2011)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 山形大学（山形県）
• [Presentation] 帯電体振動法を用いた静電気計測技術の開発 (2011)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 静電気学会
  • Place of Presentation: 東京理科大学（東京都）
• [Presentation] 音波を用いた帯電計測手法の開発 (2011)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 電気学会
  • Place of Presentation: 東京工業大学（東京都）
• [Presentation] Detection of Electrostatic Charge using Charged Material Oscillation (2011)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 2nd ISNPEDADM-2011
  • Place of Presentation: Institutde Recherche pour le Développement （New Caledonia）
• [Presentation] Neutralization effect of Static Electricity in Localized Region on Wafer by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: International Symposium on Surface Science
  • Place of Presentation: Tower Hall Funabori （Tokyo）
• [Presentation] 静電気計測のための誘導低周波電界に関する研究
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [Presentation] 集束超音波を用いた非近接型静電気計測技術
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 静電気学会
  • Place of Presentation: 東京大学（東京都）
• [Presentation] 誘起電界を用いた静電気計測技術
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 電気学会計測研究会
  • Place of Presentation: 佐賀大学（佐賀県）
• [Presentation] 集束超音波を用いた静電気分布計測技術の開発
  • Author(s): 菊永 和也
  • Organizer: 応用物理学会
  • Place of Presentation: 愛媛大学（愛媛県）
• [Patent(Industrial Property Rights)] 静電気量計測装置、静電気量計測方法 (2012)
  • Inventor(s): 菊永和也
  • Industrial Property Rights Holder: 独立行政法人産業技術総合研究所
  • Filing Date: 2012-04-11
  • Overseas
• [Patent(Industrial Property Rights)] 静電気量計測装置、静電気量計測方法 (2012)
  • Inventor(s): 菊永 和也
  • Industrial Property Rights Holder: 独立行政法人産業技術総合研究所
  • Industrial Property Rights Type: 特許
  • Filing Date: 2012-04-11
  • Overseas