Deep-UV Nano-Raman Imaging Microscope: Development and Applications

• Project/Area Number: 23H00155
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 18:Mechanics of materials, production engineering, design engineering, and related fields
• Research Institution: Hokkaido University
• Principal Investigator: 田口 敦清 北海道大学, 電子科学研究所, 准教授 (70532109)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 矢地 謙太郎 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (90779373)
• Project Period (FY): 2023-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥46,670,000 (Direct Cost: ¥35,900,000、Indirect Cost: ¥10,770,000); Fiscal Year 2025: ¥10,140,000 (Direct Cost: ¥7,800,000、Indirect Cost: ¥2,340,000); Fiscal Year 2024: ¥12,480,000 (Direct Cost: ¥9,600,000、Indirect Cost: ¥2,880,000); Fiscal Year 2023: ¥10,010,000 (Direct Cost: ¥7,700,000、Indirect Cost: ¥2,310,000)
• Keywords: 深紫外ラマン顕微鏡 / 深紫外プラズモン / 先端増強ラマン分光イメージング / ワイドギャップマテリアル / 深紫外ラマン分光 / アルミニウム / 先端増強ラマン散乱分光 / 金属プローブ / 反射対物レンズ / 非球面

Outline of Research at the Start

本研究では、光の回折限界を超える10 nm以下の空間分解能、単一分子レベルの検出感度、高いイメージング再現性で実用的かつ汎用的にナノ構造を観察する深紫外近接場ラマンイメージング装置を実現することを目的とする。これにより、最先端ナノ材料および半導体デバイス、有機分子デバイス、量子デバイスなど次世代の集積ナノデバイスの新しい画像分析評価装置としての役割を目指すとともに、デバイス開発やプロセス構築、ナノ医療分野への展開を図る。