Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
本研究では,高周波電流を利用した金属-半導体間の異材界面における原子の再配列を実現する.これは,電子と原子の力学的相互作用,すなわち電子風力を原子配列の「揺さぶり」として作用させることにより,自発的に原子を最小ポテンシャルエネルギーの位置へと再配列させる独創的な手法である.これにより,結晶方位の整列,結晶粒の増大,最密結晶面の増加,欠陥の消滅を誘起し,前人未到の異材界面における原子配列制御を実現し,半導体製造プロセスにおける原子スケール界面制御手法を創出する.さらに,高周波電流がなす原子の駆動機構を解明し,熱処理に依らない電子風力を基盤とした原子配列・結晶構造の制御法として学理構築を目指す.