Project/Area Number |
23H01313
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Single-year Grants |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
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Research Institution | The University of Tokyo |
Principal Investigator |
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
高橋 哲 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (30283724)
門屋 祥太郎 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (60880234)
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Project Period (FY) |
2023-04-01 – 2026-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2023)
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Budget Amount *help |
¥18,720,000 (Direct Cost: ¥14,400,000、Indirect Cost: ¥4,320,000)
Fiscal Year 2023: ¥6,890,000 (Direct Cost: ¥5,300,000、Indirect Cost: ¥1,590,000)
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Keywords | 回折格子 / 内面形状 / 光周波数コム / 計測理論 / 寸法計測 |
Outline of Research at the Start |
本研究では、内面構造の寸法・形状を高精度に計測する原理の確立を目指す。3次元形状計測において、基準点は不動であるべきであるが現実的には揺らぎ、それが計測不確かさにつながる。そこで、内面構造の狭空間においてこの基準点揺らぎをナノスケールで計測しつつ、測定面までの形状を高精度に計測することで高精度な内面構造を計測する。具体的な提案として、1: 単一光路で座標原点の3次元位置を計測可能とする2重周期回折格子を用いた位置姿勢計測手法、2: 光周波数コムのパルス精密調整原理による超高繰返し精度計測の達成を目指す。
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