Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
本研究では、超高密度磁場印加型アーク放電により作製する窒化ホウ素膜ナノ結晶集合体の誘電分散解析、高信頼性BN膜設計指針の確立が主要テーマである。特に、インピーダンス分光法を中心とする物性(電気特性)解析を通して、BNナノ結晶集合体の過渡・経時応答メカニズムの解明、そしてBN膜の経時劣化モデル(BNナノ結晶集合体の信頼性物理学)の構築を目指す。