Project/Area Number |
23H01851
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Single-year Grants |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 29020:Thin film/surface and interfacial physical properties-related
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Research Institution | Osaka University |
Principal Investigator |
片山 光浩 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (70185817)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
田畑 博史 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (00462705)
久保 理 岐阜大学, 工学部, 教授 (70370301)
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Project Period (FY) |
2023-04-01 – 2027-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2023)
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Budget Amount *help |
¥18,850,000 (Direct Cost: ¥14,500,000、Indirect Cost: ¥4,350,000)
Fiscal Year 2023: ¥9,490,000 (Direct Cost: ¥7,300,000、Indirect Cost: ¥2,190,000)
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Keywords | 同軸型直衝突イオン散乱分光法 / 表面敏感性 / 低エネルギーアルカリイオン / 二体弾性衝突モデル / 単原子層薄膜 |
Outline of Research at the Start |
研究代表者らが長年にわたって研究開発を進めてきた同軸型直衝突イオン散乱分光法(CAICISS)は、入射イオンのエネルギーを 1 keV 以下に低くすることで、シャドーコーンを大きくすることができ、表面敏感性が高まり、表面最外の単原子層のみを構造解析しうる手法に発展する可能性をもつ。 そこで、本研究では、低エネルギーのアルカリイオンビームをプローブとし、二体弾性衝突モデルが適用可能な範囲で下限の入射エネルギー領域を見い出すことにより、表面超敏感型のCAICISSを開拓し、これを用いて、種々の単原子層薄膜の構造を解明することを目的とする。
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