バレル窒化における窒化膜厚制御を用いた高熱伝導性焼結体用AlN粉末の創成

Research Project

Project/Area Number	23K04451
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
Research Institution	Toyota Technological Institute
Principal Investigator	奥宮正洋豊田工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (20177182)
Project Period (FY)	2023-04-01 – 2026-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help	¥2,730,000 (Direct Cost: ¥2,100,000、Indirect Cost: ¥630,000) Fiscal Year 2025: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000) Fiscal Year 2024: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000) Fiscal Year 2023: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Keywords	表面硬化熱処理 / 窒化アルミニウム / 熱伝導材料 / 膜厚制御
Outline of Research at the Start	工業製品の小型化・薄型化に伴って回路の高集積化が進み，その放熱対策が急務となり，高い熱伝導率，低い熱膨張率，電気絶縁性を持つ窒化アルミニウム（AlN）が高熱伝導性複合材料用フィラーとして注目されている．本研究ではアルミニウム（Al）の融点以下での処理が期待できるバレル窒化法に注目する．中でも，研削材粒度，焼結抑制方法に着目し，これらがAlN粉末の創成に与える影響を検討するとともに，窒化層厚さ制御によって樹脂をバインダーとして用いずにAlN粉末のみでの焼結による高熱伝導バルク材の作製を可能とする．これに伴って融点以下でのAlの窒化メカニズムの解明と，Alの窒化層厚さ制御技術の確立が期待される．