5keV以上でX線を直入射集光するダイヤモンド製屈折レンズの開発

• Project/Area Number: 23K11718
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 80040:Quantum beam science-related
• Research Institution: Japan Synchrotron Radiation Research Institute
• Principal Investigator: 岡田 京子 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 研究員 (70399616)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 加藤 有香子 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 主任研究員 (90509837)
• Project Period (FY): 2023-04-01 – 2026-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2023)
• Budget Amount: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2025: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000); Fiscal Year 2024: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000); Fiscal Year 2023: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
• Keywords: 放射光 / X線 / ダイヤモンド / レーザー加工 / 集光素子

Outline of Research at the Start

本研究では、「低エネルギーでも使え、～100nmφのX線を実現する直入射の高熱負荷の集光素子「ダイヤモンド製屈折レンズ（放物線凸型）」の開発を行う。さらに、この屈折レンズを用いて研究も行う。
ダイヤモンド製屈折レンズの実現に必要な「長直径～200um、短直径～100umの放物面穴の、ダイヤモンド基板への100um深さ以上の垂直穴加工」の深掘り技術は、グリーン波長のピコ秒パルスレーザーを工夫して用いれば可能である。そこで、8、25keV等用のダイヤモンド製屈折レンズを作製し、放射光施設SPring-8のX線を利用して集光性能評価を行い、より高性能の屈折レンズを開発する。