レーザアブレーション加工における衝撃波の圧力計測に基づいたインプロセス計測

Research Project

Project/Area Number	23K13235
Research Category	Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Allocation Type	Multi-year Fund
Review Section	Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Research Institution	Osaka University
Principal Investigator	上野原努大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (10868920)
Project Period (FY)	2023-04-01 – 2025-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help	¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2024: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000) Fiscal Year 2023: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
Keywords	レーザ微細加工 / フォトニックナノジェット / 衝撃波 / インプロセス計測 / 振動計測
Outline of Research at the Start	本研究では，レーザアブレーション加工の際に発生する衝撃波を計測することによって，加工径や深さといった加工量をレーザ照射と同時に行うインプロセス計測手法の確立を目指す．加工分解能を向上させるためにフォトニックナノジェットという光ビームを用いる．超短パルスレーザを用いて生成したフォトニックナノジェットを材料に照射した際に発生する衝撃波の圧力が加工量に依存する性質に基づいて，衝撃波の圧力をその場で計測することで加工量の高分解能かつ高精度なインプロセス計測を実現する．