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Large-size growth of two-dimensional semiconductor using confined space

Research Project

Project/Area Number 23K13633
Research Category

Grant-in-Aid for Early-Career Scientists

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Basic Section 28030:Nanomaterials-related
Research InstitutionOkayama University

Principal Investigator

鈴木 弘朗  岡山大学, 環境生命自然科学学域, 助教 (20880553)

Project Period (FY) 2023-04-01 – 2025-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2024: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2023: ¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
Keywords二次元半導体 / 遷移金属カルコゲナイド / 化学気相成長法 / マイクロリアクタ / その場観測 / 気相‐液相-固相成長 / 光電子物性 / 光電子デバイス
Outline of Research at the Start

半導体二次元材料の遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)を閉じ込め空間を反応場として合成する手法を研究する.申請者らはこれまで,基板を積層したマイクロリアクタ内で高品質な大面積TMDCの合成に成功した.本研究では,マイクロリアクタの閉じ込め空間における金属塩液体,原料拡散の動的振る舞いや,結晶の成長過程の理解を通して,核生成や結晶成長を制御する技術を開発し,これまで困難であった超大面積・単層TMDC単結晶の実現を目指す.

Outline of Annual Research Achievements

本年度は主に,マイクロリアクタ中の単層WS2のその場観測に取り組んだ.その場観測のために新たなCVD装置を立ち上げた.CVD装置に長作動距離のズーム顕微鏡を取り付けることで,その場観測を可能にした.加熱方式としては,従来研究と同様のコールドウォール型にするために,赤外加熱方式を取り入れた.小型の赤外加熱炉を採用することで,高温下でもチャンバー内部の観察を容易にした.また,真空プロセスを採用し,硫黄原料として窒素でバブリングした有機硫黄液体を用いることで,ガス流による外乱を抑制し,従来の大気圧CVDに比べ,その場観察を容易にした.基板を積層したマイクロリアクタ内部を観測するために,アルカリ金属塩原料をスピンコートしたシリコン基板上に透明なサファイア基板を乗せ,内部をその場観測可能なマイクロリアクタを構築した.この合成システムを用いることで,マイクロリアクタ中で単層WS2が成長する様子をその場観測することに成功した.原料液滴から固相のWS2が析出成長する気相-液相-固相(VLS)成長における,複数の異なる成長モードの観測に成功した.①WS2結晶が三角形状に大きくなる一般的な成長様式,②液滴から核発生しエッジと液滴が動くことで結晶成長する様式,③粒子状液滴が動き回ることで線状に結晶成長する様式,などを観測することに成功した.また,①の成長モードにおいて,結晶成長速度を同定し,単層WS2の成長速度が典型的な一次反応モデルで表わせることを明らかにした.

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

結晶成長のその場観測は本研究の主軸であったが,本年度はその場観測装置の立ち上げと結晶成長のその場観測に成功した.さらに,液滴の動的振る舞いと結晶成長が関わる,様々な結晶成長モードを明瞭に観測することに成功した.これらは当初計画に期待していたよりも大きな成果であり,当初の計画以上に進展している.

Strategy for Future Research Activity

今後はその場観測合成を軸にして,原料液滴の動的振る舞いと結晶成長の関係性を解明していく.また,より良い観測結果を得るために,外部の振動を抑制する装置環境の構築を試みる.様々な合成条件下で観測を行い,マイクロリアクタ内の結晶成長の全体像を明らかにしていく.

Report

(1 results)
  • 2023 Research-status Report
  • Research Products

    (14 results)

All 2024 2023 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (11 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Self-Limiting Growth of Monolayer Tungsten Disulfide Nanoribbons on Tungsten Oxide Nanowires2023

    • Author(s)
      Suzuki Hiroo、Kishibuchi Misaki、Misawa Masaaki、Shimogami Kazuma、Ochiai Soya、Kokura Takahiro、Liu Yijun、Hashimoto Ryoki、Liu Zheng、Tsuruta Kenji、Miyata Yasumitsu、Hayashi Yasuhiko
    • Journal Title

      ACS Nano

      Volume: - Issue: 10 Pages: 9455-9467

    • DOI

      10.1021/acsnano.3c01608

    • Related Report
      2023 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Intermediate State between MoSe<sub>2</sub> and Janus MoSeS during Atomic Substitution Process2023

    • Author(s)
      Suzuki Hiroo、Liu Yijun、Misawa Masaaki、Nakano Chiyu、Wang Yingzhe、Nakano Ryo、Ishimura Kentaro、Tsuruta Kenji、Hayashi Yasuhiko
    • Journal Title

      Nano Letters

      Volume: - Issue: 10 Pages: 4533-4540

    • DOI

      10.1021/acs.nanolett.3c00972

    • Related Report
      2023 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Synthesis of WxOy Nanowire Templates for WS2 Nanoribbon Growth by Combination Process of Multi-Step Atmosphere Exposure and Annealing2024

    • Author(s)
      Yutaro Senda, Yasuhiko Hayashi, Hiroo Suzuki
    • Organizer
      2024年 第66回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] Direct observation chemical vapor deposition system for in-situ monitoring of vapor-liquid-solid growth of monolayer WS2 in microreactor2024

    • Author(s)
      Shuhei Aso, Koki Tanaka, Yutaro Senda, Yasuhiko Hayashi, Hiroo Suzuki
    • Organizer
      2024年 第66回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] Surface diffusion-limited growth of monolayer WS2 using substrate-stacked microreactor for optoelectronic device applications2023

    • Author(s)
      H. Suzuki, R. Hashimoto, M. Misawa, K. Tsuruta, Y. Miyata, Y. Hayashi
    • Organizer
      International conference on the Science and Applications of Nanotubes and Low-Dimensional Materials
    • Related Report
      2023 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 高品質ヤーヌスMoSeS生成に向けた単層MoSe2の合成条件最適化2023

    • Author(s)
      王英喆,石村拳太郎,林靖彦,鈴木弘朗
    • Organizer
      2023年 応用物理学会中国四国支部合同学術講演会
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] 単層二セレン化モリブデンの金属塩を用いた化学気相成長法による成長形態制御2023

    • Author(s)
      石村拳太郎,林靖彦,宮田耕充,鈴木弘朗
    • Organizer
      2023年 応用物理学会中国四国支部合同学術講演会
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] 単結晶WS2上へのスピンコート法によるMAPbI3のヘテロエピタキシャル成長2023

    • Author(s)
      堤皓政,Hytham Elbohy,西川亘,林靖彦,鈴木弘朗
    • Organizer
      2023年 応用物理学会中国四国支部合同学術講演会
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] Growth of monolayer WS2 nanoribbons on WxOy nanowires2023

    • Author(s)
      Hiroo Suzuki, Masaaki Misawa, Zheng Liu, Kenji Tsuruta, Yasumitsu, Miyata, Yasuhiko Hayashi
    • Organizer
      2023年 第65回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] Growth of Monolayer WS2 at Interface Between Hexagonal Boron Nitride Flakes and Substrate2023

    • Author(s)
      Takahiro Kokura, Yasuhiko Hayashi, Hiroo Suzuki
    • Organizer
      2023年 第65回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] 鈴木弘朗,宮田耕充,林靖彦2023

    • Author(s)
      酸化タングステンナノワイヤ上に成長した単層二硫化タングステンナノリボンの光学特性
    • Organizer
      2023年 第84回 応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] 大面積単層WS2上へのMAPbI3ナノロッドのヘテロエピタキシャル成長2023

    • Author(s)
      堤皓政,Elbohy Hytham,西川亘,林靖彦,鈴木弘朗
    • Organizer
      2023年 第84回 応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] Tracking Optical Properties During Atomic Substitution Process from MoSe2 to Janus MoSeS2023

    • Author(s)
      Hiroo Suzuki, Masaaki Misawa, Yingzhe Wang, Kenji Tsuruta, Yasuhiko Hayashi
    • Organizer
      2023年 第84回 応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Remarks] ナノデバイス・材料物性学研究室のHP

    • URL

      https://hayashi-lab.org/archives/conference/

    • Related Report
      2023 Research-status Report

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Published: 2023-04-13   Modified: 2024-12-25  

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