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Development of next generation ISFET pH sensor to identify upwelling area of deep ocean circulation

Research Project

Project/Area Number 23K17464
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Medium-sized Section 63:Environmental analyses and evaluation and related fields
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

茅根 創  東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 教授 (60192548)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 中嶋 秀  東京都立大学, 都市環境科学研究科, 准教授 (10432858)
Project Period (FY) 2023-06-30 – 2026-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥23,140,000 (Direct Cost: ¥17,800,000、Indirect Cost: ¥5,340,000)
Fiscal Year 2025: ¥4,940,000 (Direct Cost: ¥3,800,000、Indirect Cost: ¥1,140,000)
Fiscal Year 2024: ¥9,360,000 (Direct Cost: ¥7,200,000、Indirect Cost: ¥2,160,000)
Fiscal Year 2023: ¥8,840,000 (Direct Cost: ¥6,800,000、Indirect Cost: ¥2,040,000)
Keywords海洋pH / 湧昇域 / 深層海洋循環 / 次世代半導体pHセンサー
Outline of Research at the Start

我々が開発した、次世代半導体ISFET pH センサーの1)精度,感度,応答速度、繰り返し再現性を、常圧・高圧で室内実験により試験して、適切な炭素素材を選定して、センサーの性能を実験室において確認する。2)作成された次世代型半導体センサーを、浅海域において試験する。3)海域において性能を評価したセンサーによって、湧昇ホットスポットとされる伊豆-小笠原海嶺と周辺海域において、表層から水深6000mまでの pHの高密度時空計測を実施する。4)こうして得られたpH計測結果を、物理量の計測結果とあわせて、深層水の湧昇域を特定する。

Outline of Annual Research Achievements

深層海洋循環は、全球規模の熱輸送を通じて長期の気候変動を支配し、炭素や栄養塩の循環を駆動している。その北部北大西洋や南極海での海水の沈み込みの理解は進んでいるが、北太平洋における湧昇域は不明な部分が多い。中深層水のpHは7.3-7.7と低く、局所的な沿岸湧昇による表層海水のpH低下も確認されている。pHを、水温・塩分とは独立の化学パラメータとして、水深6000mまで繰り返し取得することができれば、 湧昇域を特定することができる。 しかし、現行のガラス電極やISFET電極は、参照電極として銀―塩化銀/塩化カリウムを用いているため、高圧での計測は困難だった。本研究の目的は、我々が開発した、半導体を隔離し、内部液をもたない次世代半導体 ISFET pH センサーによって、高圧の深海のpHを高精度で計測して、湧昇域を特定することである。
次世代センサーの製作について、まず5mm角のシリコンウェハー上に、スパッタ装置を用いて酸化タンタル薄膜を成膜し,ISFETセンサーの感応膜を作製した。次に、カーボンファイバーテープまたはカーボンペーストによってISFET センサーのゲート電位検出部を作製した。感応膜とゲート電位検出部を一体化し、これらを半導体から切り離すことによって、微小で耐圧性が高く、安価でセンサーチップの交換を容易に行える次世代半導体 ISFET pHセンサーを作成した。
こうして開発したISFETセンサーの温度特性、応答速度、pH分解能、繰り返し再現性等の性能を、5つの異なるpH標準液で繰り返し計測することによって評価した。またこの次世代センサーを、4000mの高圧で計測するための圧力容器を作成し、フロートに標準的に搭載するために企業との協力も得られ、開発をはじめている。また小笠原近海の湧昇域ホットスポットを,海洋物理データにより特定して、令和6年度の現地計測を準備した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

当初計画通り、次世代センサーを製作し、実験室と海洋においてその性能を評価することができた。さらに、その原理的な革新性について評価し、海洋計測機器やいくつかの企業との製品化の道を開くことができた。

Strategy for Future Research Activity

次世代センサーの製作について、標準的な製作方法を検討して、安定したセンサーの製作、評価方法を確立して、現場計測のためのセンサーを提供する。昨年度末に耐圧容器の製作とその試験が終わり、またターゲットとなる海域が特定できたことから、本年度早々に耐圧センサーを作成して海水試験を行って、適当な調査航海に同乗して計測をはじめる。

Report

(2 results)
  • 2023 Comments on the Screening Results   Research-status Report
  • Research Products

    (2 results)

All 2024 2023

All Presentation (2 results)

  • [Presentation] Microfluidic-Based ISFET Sensor Using Carbon Fiber Tape for Monitoring of Seawater pH2024

    • Author(s)
      Kazuhiro Morioka, Toshimasa Miyawaki, Kenta Suzuki, Nori Fujita, Shoji Yamamoto, Hizuru Nakajima, Akihide Hemmi, Hajime Kayanne,
    • Organizer
      PITTCON2024
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] マルチチャンネル型ISFET-pHセンサーを用いる海底堆積物中の間隙水のpH測定2023

    • Author(s)
      小川良太,山本将史,鈴木拳太,森岡和大,辺見彰秀,武田智子;,茅根創,中嶋秀
    • Organizer
      日本分析化学会第72年会
    • Related Report
      2023 Research-status Report

URL: 

Published: 2023-07-04   Modified: 2024-12-25  

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