Research Project
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
ビーム断面において放射状に偏光した径偏光(ラジアル偏光)ビームは、焦点に強い軸方向電場(縦電場)が生じ、かつ従来の光ビームよりも微小なスポットを形成する超解像特性を持つ。本研究では、この径偏光ビームの持つ特異な集光特性をレーザー微細加工に適用することを目指し、焦点で集光スポットの強度分布や偏光や位相の空間分布を3次元的にデザインすることで軸方向電場による加工効果を最大化する新たなレーザー加工法の開発を目的とする。