Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
義手等に実装可能な人工皮膚シートに向けたフレキシブル圧力センサ回路の開発ニーズは高まっている。しかし,従来のCMOS技術を踏襲したnチャネル形とpチャネル形FETを併用する構造では,二種類の半導体層を精度良く配置する必要があり,フレキシブル基板上への実装は困難とされている。これに対し,一種類の半導体層からなる新規CMOS用FETを作製することでこの課題を解決する。現状、ホール注入に比べて電子を半導体層に効率よく注入する技術が確立できていない。そこで、電極と半導体層界面に金属配位錯体を形成することにより良好な電子注入性を実現し,一種類の半導体層でも作製可能なCMOSセンサ用FETを実現する。