Project/Area Number |
23K22481
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 14030:Applied plasma science-related
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Research Institution | Nagoya University |
Principal Investigator |
豊田 浩孝 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70207653)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鈴木 陽香 名古屋大学, 工学研究科, 講師 (80779356)
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Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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Budget Amount *help |
¥3,770,000 (Direct Cost: ¥2,900,000、Indirect Cost: ¥870,000)
Fiscal Year 2024: ¥3,770,000 (Direct Cost: ¥2,900,000、Indirect Cost: ¥870,000)
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Keywords | 弱減圧プラズマ / マイクロ波プラズマ |
Outline of Research at the Start |
本研究はこれまでに詳細な研究が進められていなかった大気圧よりやや減圧化された弱減圧環境でのプラズマ生成とその応用を進めるものである.具体的には,従来にない新たな手法である高速流誘起減圧環境を用いて真空ポンプを用いることなく容易にプラズマ生成を実現するとともに,本装置の最適な流路構造を明らかにする.さらに,本装置の応用展開としてさまざまな材料の表面改質に取り組む.
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