Development of X-ray CMOS sensor with high sensitivity and wide energy coverage in X-ray for the space use

• Project/Area Number: 23K22540
• Project/Area Number (Other): 22H01269 (2022-2023)
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund (2024); Single-year Grants (2022-2023)
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 16010:Astronomy-related
• Research Institution: Tokyo University of Science
• Principal Investigator: 幸村 孝由 東京理科大学, 創域理工学部先端物理学科, 教授 (20365505)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 萩野 浩一 東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 助教 (70762061)
• Project Period (FY): 2022-04-01 – 2025-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥16,380,000 (Direct Cost: ¥12,600,000、Indirect Cost: ¥3,780,000); Fiscal Year 2024: ¥7,410,000 (Direct Cost: ¥5,700,000、Indirect Cost: ¥1,710,000); Fiscal Year 2023: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000); Fiscal Year 2022: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
• Keywords: X線 / SOI / X線天文学 / CMOSセンサー / 放射線耐性 / X線CMOSSOI / 放射線損傷 / TID / X-ray / CMOS sensor / X-ray Astronomy

Outline of Research at the Start

本研究では以下の性能を有する新型の裏面のX線CMOSを開発する。
1. 1ピクセルサイズが10-30um四角、200umを超える厚い空乏層を持ち、1-30keVの広いX線のエネルギー帯域で高い検出効率を持つこと。
2. パイルアップを回避するために1msec以上の高い時間分解能を持つこと。
3. 高エネルギー宇宙線によるTotal Ionization Dozeによる分光性能の劣化を抑えること。
4. X線CCDと同程度のエネルギー分解能を持つこと。

Outline of Annual Research Achievements

本研究では、Silicon On Insulator (SOI) 技術を用いて、CMOSの読み出し回路層とセンサー層の間に絶縁酸化膜を挟み込んで検出部・読 み出し回路一体型の半導体ピクセル検出器であるX線CMOSセンサーの開発を行っている。今年度はX線の分光性能を向上させることを目的に、暗電流を低減する対策を行った。
これまで開発したX線CMOSセンサーでは、バックバイアスを高くすると、絶縁酸化膜層の下にインプラントしたp領域(BPW;buried p well)のポテンシャル障壁が下がり、BPWから裏面側に微弱な電流が流れ、その結果、暗電流が高くなる問題があった。そこで、ポテンシャル障壁を上げるために、BNW(buried n well)の濃度を高くする方法を考案し、そのBNWの濃度を最適なものを選定したテストデバイスを用いて暗電流の評価を行ったところ、BNWの濃度を高くすることで暗電流を低く抑えられることが分かった。また、量子科学技術研究開発機構 量子生命・医学部門のがん治療装置(HIMAC)において、そのテストデバイスに対し宇宙線を模擬したプロトン照射実験を行った結果、従来のX線CMOSセンサーに比べ、TID効果への耐性が最も良いものであることが分かった。
宇宙空間で利用するものとしては、今年度試作したテストデバイスのTID耐性は十分ではあるものの、プロトンの照射量が10kradを超えたあたりで、暗電流が高くなることが分かった。そこでTCADのシミュレーションを用いて、原因の究明したところ、絶縁酸化膜に帯電したホールの影響で、絶縁酸化膜とセンサー層の境界面で空乏化が促進され、その空乏化した領域で界面準位が増加し、暗電流が生成しやすくなったことが原因であることが分かった。そこで、さらに暗電流を低減するためには、界面の空乏化を抑制することが必要であることが分かった。

Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

本研究では、宇宙空間で実用化することを目的に、国産のX線CMOSセンサーの開発を行っている。
開発の課題は、X線CCDに匹敵するX線の分光性能を実現すること、また、宇宙空間で使用するためにTID効果への耐性を確立することがなどが挙げられる。2022年度は、暗電流の抑制方法としてBNWの濃度を高くする改良に加え、BPWの濃度についても10倍程度高くすることで、さらなる暗電流の低減を実現できる見通しを得た。一方、分光性能については、CMOSセンサーのピクセル間のゲインのバラツキの補正、表面照射より裏面照射の方が光電吸収で生成する光電子の回収率が低いことなど、継続して取り組むべき課題がある。

Strategy for Future Research Activity

TID効果の抑制方法について、すでにBPWの濃度を10倍まで高くしたテストデバイスを試作してあり、2023年度には高強度のX線や、重粒子線を照射し、TID効果による暗電流の増加をさらに抑制できるか検証を行い、TID効果の抑制方法を確立する。
一方、CMOSセンサーのピクセル間のゲインのバラツキの補正、並びに、表面照射より裏面照射の方が光電吸収で生成する光電子の回収率が低いことについては、前者は照射するX線のエネルギーによってゲインのバラツキがどう変わるか評価実験を行い、バラツキの補正方法を確立する。後者については、センサー層のシリコンの内部での光電子の振る舞いを理解するために、TCADシミュレーションとGeant4シミュレーションを組み合わせたシミュレーションを行い、光電子がどのような理由で失われているか原因を究明する。

Research Products

• [Journal Article] Single event tolerance of x-ray silicon-on-insulator pixel sensors (2022)
  • Author(s): Hagino Kouichi、Hayashida Mitsuki、Kohmura Takayoshi、Doi Toshiki、Tsunomachi Shun、Kitajima Masatoshi、Tsuru Takeshi G.、 et al.
  • Journal Title: Journal of Astronomical Telescopes, Instruments, and Systems Volume: 8 Issue: 04 Pages: 046001-046001
  • DOI: 10.1117/1.jatis.8.4.046001
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Journal Article] A broadband x-ray imaging spectroscopy in the 2030s: the FORCE mission (2022)
  • Author(s): Koji Mori, Takeshi G. Tsuru, Tetsu Kitayama (31番目), 他
  • Journal Title: Proceedings of SPIE Astronomical Telescopes and Instrumentation Volume: 12181 Pages: 1218122-1218122
  • DOI: 10.1117/12.2628772
  • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Xtend, the soft x-ray imaging telescope for the x-ray imaging and spectroscopy mission (XRISM) (2022)
  • Author(s): Mori Koji、Tomida Hiroshi、Nakajima Hiroshi、（他52名）
  • Journal Title: Proceedings of the SPIE Volume: 12181 Pages: 11-11
  • DOI: 10.1117/12.2626894
  • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Proton radiation damage tolerance of wide dynamic range SOI pixel detectors (2022)
  • Author(s): Tsunomachi Shun、Kohmura Takayoshi、Hagino Kouichi、Kitajima Masatoshi、Doi Toshiki、Aoki Daiki、Ohira Asuka、Shimizu Yasuyuki、Fujisawa Kaito、Yamazaki Shizusa、Uchida Yuusuke、Shimizu Makoto、Itoh Naoki、Arai Yasuo、Miyoshi Toshinobu、Nishimura Ryutaro、Tsuru Takeshi G.、Kurachi Ikuo
  • Journal Title: Proc. SPIE Volume: 12191 Pages: 12191-12191
  • DOI: 10.1117/12.2629771
• [Journal Article] X-ray radiation damage effects on double-SOI pixel detectors for the future astronomical satellite FORCE (2022)
  • Author(s): Kitajima Masatoshi、Hagino Kouichi、Kohmura Takayoshi、Hayashida Mitsuki、Oono Kenji、Negishi Kousuke、Yarita Keigo、Doi Toshiki、Tsunomachi Shun、Tsuru Takeshi G.、et al.
  • Journal Title: Journal of Astronomical Telescopes, Instruments, and Systems Volume: 8 Issue: 02 Pages: 26007-26007
  • DOI: 10.1117/1.jatis.8.2.026007
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Presentation] X線分光撮像衛星XRISM搭載軟X線撮像装置Xtendの開発の状況 (11) (2023)
  • Author(s): 野田博文, 森浩二, , 冨田洋, 中嶋大, , 林田清, 鈴木寛大, 小林翔悟, 内田裕之, 萩野浩一,... , 田中孝明, 村上弘志, 信川正順H, 信川久実子, 内山秀樹, 吉田鉄生, 米山友景, 幸村孝由 et al
  • Organizer: 日本物理学会2023年春季大会
• [Presentation] X 線分光撮像衛星 (XRISM) 搭載軟 X 線撮像装置 (Xtend) の開発の現状 (9) (2023)
  • Author(s): 信川久実子, 森浩二, , 冨田洋, 中嶋大, , 林田清, 野田博文, 鈴木寛大, 小林翔悟, 内田裕之, 萩野浩一,... , 田中孝明, 村上弘志, 信川正順H, 内山秀樹, 吉田鉄生, 米山友景, 幸村孝由 et al
  • Organizer: 日本物理学会2023年春季大会
• [Presentation] 宇宙X線観測向け大面積SOIピクセル検出器におけるアナログ信号応答の性能評価 (2023)
  • Author(s): 武田彩希, 森浩二, 西岡祐介, 行元雅貴, 石田辰徳, 岩切卯月, 泉大輔, 川島陸斗, 眞方恒陽, 鶴剛, 内田裕之, 上ノ町水紀, 天野雄輝, 佳山一帆, 松田真宗, 島添健次, 高橋浩之, 幸村孝由, 内田悠介、他
  • Organizer: 日本物理学会2023年春季大会
• [Presentation] 月探査機搭載用チェレンコフ検出器 Lunar-RICheS(Ring Image Cherenkov Spectrometer)の開発 (2023)
  • Author(s): 永松 愛子, 玉川 徹, 幸村 孝由, 内山 慶祐, 大 田 尚享, 武田 朋志, 内田 悠介, 藤澤 海斗, 伊藤 尚輝, 萩野 浩一, 行松 和輝
  • Organizer: 応用物理学会 2023年（令和6年）春季学術講演会
• [Presentation] 宇宙 X 線観測用 SOI ピクセル検出器の放射線耐性の評価 (2023)
  • Author(s): 幸村 孝由, 内田 悠介, 北島 正隼, 角町 駿, 土居 俊輝, 武居 悠貴, 伊藤 尚輝, 清水 真, 萩野 浩一, 鶴 剛, 内田 裕之, 上ノ町 水紀, 天野 雄輝, 佳山 一 帆, 松田 真宗, 他
  • Organizer: 応用物理学会 2023年（令和6年）春季学術講演会
• [Presentation] 月周回探査機搭載用 RICheS エネルギースペクトロメー タのDSSD位置検出器開発 (2023)
  • Author(s): 藤澤 海斗, 幸村 孝由, 内田 悠介, 永松 愛子, 行 松 和輝, 玉川 徹, 内山 慶祐, 大田 尚享, 武田 朋志, 高橋 忠幸, 武田 伸一郎, 長澤 俊作, 萩野 浩 一
  • Organizer: 応用物理学会 2023年（令和6年）春季学術講演会
• [Presentation] X 線分光撮像衛星 (XRISM) 搭載軟 X 線撮像装置 (Xtend) の開発の現状 (9) (2023)
  • Author(s): 信川久実子, 森浩二, , 冨田洋, 中嶋大, , 林田清, 野田博文, 鈴木寛大, 小林翔悟, 内田裕之, 萩野浩一,... , 田中孝明, 村上弘志, 信川正順H, 内山秀樹, 吉田鉄生, 米山友景, 幸村孝由 et al
  • Organizer: 日本天文学会2023年春季年会
• [Presentation] PDD構造を搭載したX線SOIピクセル検出器のサブピクセルレベルのX線応答特性の評価 (2023)
  • Author(s): 土居俊輝, 幸村孝由, 内田悠介, 角町駿, 武居悠貴, 清水真, 青木大輝, 藤澤海斗, 伊藤尚輝、他
  • Organizer: 第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [Presentation] X線分光撮像衛星XRISM搭載のX線CCDの軟X線帯域の検出効率の測定 (2023)
  • Author(s): 青木 大輝、幸村 孝由、小林 翔悟、角町 駿、土居 俊輝、清水 康行、藤澤 海斗、冨田 洋、中嶋大、萩野 浩一、中村 彰太郎、亀井 貴光、森 浩二
  • Organizer: 第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [Presentation] 月探査機搭載用チェレンコフ検出器Lunar-RICheSの開発 (2023)
  • Author(s): 永松愛子, 行松和輝, 玉川 徹, 内山 慶祐,大田 尚享, 武田 朋志, 幸村 孝由, 内田 悠介, 藤澤 海斗
  • Organizer: 第23回 宇宙科学シンポジウム
• [Presentation] X線CMOSセンサーの放射線耐性の評価 (2023)
  • Author(s): 幸村 孝由, 内田 悠介, 角町 駿, 土居 俊輝, 青木 大輝, 藤澤 海斗, 清水 康行, 武居 悠貴, 伊藤 尚輝, 清水 真(東理大), 萩野浩一(東大), 鶴 剛, 内田 裕之, 上ノ町 水紀, 天野 雄輝, 佳山 一帆, 松田 真宗、他
  • Organizer: 第23回 宇宙科学シンポジウム
• [Presentation] X線分光撮像衛星(XRISM)搭載軟X線撮像装置(Xtend)の開発状況 (2023)
  • Author(s): 村上弘志, 冨田洋,石田学, 前田良知, 堂谷忠靖, 尾崎正伸, 吉田鉄生、米山友景, 林田清、野田博, 松本浩典,常深博,朝倉一統,..., 鶴剛,内田裕之, 中嶋大,萩野浩一,..., 森浩二、山内誠,廿日出勇,..., 幸村孝由,小林翔悟,他
  • Organizer: 第23回 宇宙科学シンポジウム
• [Presentation] HyENEXSSを用いたX線SOIピクセルの放射線損傷機構の研究 (2022)
  • Author(s): 萩野浩一, 北島正隼, 幸村孝由, 武居悠貴, SOI team
  • Organizer: 2022年度TAC総会・研究会
• [Presentation] HyENEXSSを用いた放射線損傷のTID効果によるPDD構造のXRPIXの暗電流増加の抑制方法の検討 (2022)
  • Author(s): 幸村孝由, 武居悠貴, 倉知郁生, 萩野浩一, 内田悠介, 北島正隼, 角町駿, 土居俊輝, 清水真、他
  • Organizer: 2022年度TAC総会・研究会
• [Presentation] Study on suppression method of dark current increase due to radiation damage of X-ray SOI pixel detector using TCAD simulation (2022)
  • Author(s): 武居悠貴, 幸村孝由, 内田悠介, 北島正隼, 角町駿, 土居俊輝, 清水真、他
  • Organizer: THE 4TH WORKSHOP ON QUANTUM BEAM ; IMAGINGQBI2022
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Development of X-ray SOI CMOS sensor with pinned-depleted-diode structure (2022)
  • Author(s): 行元雅貴, 森浩二, 武田彩希, 西岡祐介, 三枝紀嵐, 米村修斗, 石田辰徳, 泉大輔, 岩切卯月, 梅野飛羽, 鶴剛, 内田裕之, 天野雄輝, 佳山一帆, 松田真宗, 倉知郁生, 新井康夫, 幸村孝由, 北島正隼, 土居俊輝、他
  • Organizer: THE 4TH WORKSHOP ON QUANTUM BEAM ; IMAGINGQBI2022
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 高エネルギー陽子線を用いたCMOSイメージセンサーの空乏層厚の測定 (2022)
  • Author(s): 角町駿, 幸村孝由, 内田悠介, 北島正隼, 土居俊輝, 武居悠貴, 清水真, 大平明日香, 山崎静咲, 倉知郁生, 萩野浩一、他
  • Organizer: THE 4TH WORKSHOP ON QUANTUM BEAM ; IMAGINGQBI2022
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Evaluation of X-ray response in subpixel level for X-ray SOI pixel detector with PDD structure (2022)
  • Author(s): 土居俊輝, 幸村孝由, 内田悠介, 北島正隼, 角町駿, 藤澤海斗, 清水真, 伊藤尚輝、他
  • Organizer: THE 4TH WORKSHOP ON QUANTUM BEAM ; IMAGINGQBI2022
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] SOI 技術を用いた新型 X 線撮像分光器の開発 54 : PDD 構造を有する X線SOI-CMOS 検出器 XRPIX の TID 効果測定試験 (2022)
  • Author(s): 岩切卯月, 森浩二, 武田彩希, 西岡祐介, 行元雅貴, 石田辰徳, 泉大輔, 鶴剛, 内田裕之, 天野 雄輝, 佳山一帆, 松田真宗, 倉知郁生, 新井康夫, 幸村孝由, 土 居俊輝, 角町駿, 武居悠貴, 清水真、他
  • Organizer: 日本天文学会2022年秋季大会
• [Presentation] SOI 技術を用いた新型 X 線撮像分光器の開発 55:現在の到達点と今後の開発 (2022)
  • Author(s): 鶴 剛, 内田裕之, 上ノ町水紀，池田智法，佳山一帆, 松田真宗, 天野雄輝, 森浩二, 武田彩 希, 西岡祐介, 行元雅貴, 石田辰徳, 泉大輔, 岩切卯月, 幸村孝由, 土居俊輝，角町駿, 武居悠 貴, 清水真、他
  • Organizer: 日本天文学会2022年秋季大会
• [Presentation] XRISM 搭載軟X線撮像検出器 SXI のフライト用 CCD 素子の地上較正試験に おける分光性能の評価 (2022)
  • Author(s): 宮﨑啓太郎,..., 内田裕之, 鶴剛, 鈴木寛 大, 田中孝明, 朝倉一統, 野田博文, 林田清, 松本浩典, 米山友景, 吉田鉄生, 冨田洋, 萩野 浩一, 中嶋大, 村上弘志, 内山秀樹, 山内誠, 廿日出勇, 小林翔悟, 幸村孝由, 他
  • Organizer: 日本天文学会2022年秋季大会
• [Presentation] 軟X線から硬X線の広帯域を高感度で撮像分光する衛星計画 FORCE の現状(14) (2022)
  • Author(s): 森浩二, 中澤知洋, 村上弘志, 久保田あや, 小林翔悟, 幸村孝由, 高橋忠幸, 馬場彩, 小高裕和, 谷本敦, 寺田幸功, 榎戸輝揚, 内山泰伸, 佐藤寿紀, 石村康生, 北山哲, 谷津陽一、他
  • Organizer: 日本天文学会2022年秋季大会
• [Presentation] X 線分光撮像衛星 XRISM 搭載 CCD 検出器における Goffset のシミュレーション (2022)
  • Author(s): 小林翔悟, 鈴木寛大, 森浩二, 冨田洋, 中嶋大, 林田清, 野田博文, 内田裕之, 萩野浩一,...,田中孝明, 村上弘志, 信川正順, 信川久実子, 内山秀樹, 吉田鉄生, 米山友景, 幸村孝由、他
  • Organizer: 日本天文学会2022年秋季年会
• [Presentation] XRISM 搭載軟X線撮像検出器 SXI のイベント検出アルゴリズムのパラメタ 決定 (2022)
  • Author(s): 大塚芳徳, ... , 森浩二, 信川久実子, 信川正順, 内田裕之, 鶴剛, 鈴木寛大, 田中孝明, 野田博文, 林田清, 松本浩典, 米山友景, 吉田鉄生, 冨田洋, 萩野浩一, 中嶋大, 平賀純子, 村上弘志, 内山秀樹, 山内誠, 廿日出勇, 小林翔悟, 幸村孝由、他
  • Organizer: 日本天文学会2022年秋季大会
• [Presentation] X 線分光撮像衛星 XRISM 搭載 X 線 CCD の軟 X 線帯域の検出効率の測定 (2022)
  • Author(s): 青木大輝, 幸村孝由, 小林翔悟, 角町駿, 土居俊輝, 清水康行, 藤澤海斗, 他
  • Organizer: 日本天文学会2022年秋季大会
• [Presentation] X線分光撮像衛星XRISM搭載軟X線撮像装置Xtendの開発の状況 (10) (2022)
  • Author(s): 鈴木寛大, 小林翔悟, 森浩二, 冨田洋, 中嶋大, 林田清, 野田博文, 内田裕之, 萩野浩一, ... , 田中孝明, 村上弘志, 信川正順, 信川久実子, 内山秀樹, 吉田鉄生, 米山友景, 幸村孝由, 他
  • Organizer: 日本物理学会2022年秋季大会
• [Presentation] 宇宙X線観測向けSOIピクセル検出器の大面積化におけるアナログ信号応答の改良 (2022)
  • Author(s): 武田彩希, 森浩二, 西岡祐介, 行元雅貴, 石田辰徳, 岩切卯月, 泉大輔, 川島陸斗, 眞方恒陽, 鶴剛, 内田裕之, 上ノ町水紀, 天野雄輝, 佳山一帆, 松田真宗, 島添健次, 高橋浩之, 幸村孝由, 他
  • Organizer: 日本物理学会2022年秋季大会
• [Presentation] 宇宙X線観測向けSOIピクセル検出器の放射線耐性の評価 (2022)
  • Author(s): 幸村孝由, 北島隼正, 角町駿, 土居俊輝, 武居悠貴, 清水真, 他
  • Organizer: 日本物理学会2022年秋季大会
• [Presentation] 広帯域X線の高感度観測衛星 FORCE：2022年秋におけるミッション提案の現状 (2022)
  • Author(s): 中澤知洋, 森浩二, 村上弘志, 久保田あや, 小林翔悟, 幸村孝由, 高橋忠幸, 馬場彩, 小高裕和, 谷本敦, 寺田幸功, 榎戸輝揚, 内山泰伸, 佐藤寿紀, 石村康生, 北山哲, 谷津陽一, 他
  • Organizer: 日本物理学会2022年秋季大会
• [Presentation] Xtend, the Soft X-ray Imaging Telescope for the X-ray Imaging and Spectroscopy Mission (XRISM) (2022)
  • Author(s): Mori K、Tomida H、Nakajima H、Okajima T、Noda H、Tanaka T、Uchida H、Hagino K、Kobayashi S、Suzuki H、Yoshida T、Murakami H、Uchiyama H、Nobukawa M、Nobukawa K.、Yoneyama T、Matsumoto H、Tsuru T.、Yamauchi M、Hatsukade I、Ishida M、Maeda Y、... 、Kohmura T、et al
  • Organizer: SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation 2022
  • Invited
• [Presentation] A broadband X-ray imaging spectroscopy in the 2030s: the FORCE mission (2022)
  • Author(s): Mori K、Tsuru T.G.、Nakazawa K、Ueda Y、Watanabe S、Tanaka T、Ishida M、Matsumoto H、Awaki H、Murakami H、Nobukawa M、Takeda A、Fukazawa Y、Tsunemi H、Takahashi T、Hornschemeier A.E.、Okajima T、Zhang W.W、Williams BJ.、Venters T、Madsen K、Yukita M、Akamatsu H、Hagino K、Kohmura T. et al
  • Organizer: SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation 2022
  • Invited
• [Presentation] Recent progress in development of trigger-output event-driven x-ray astronomy SOI pixel sensors (2022)
  • Author(s): Tsuru, T., Uchida,H., Kayama, K., Amano, Y., Mori,K., Takeda, A., Nishioka, Y., Yukumoto, M., Mieda, K., Yonemura, S., Ishida, T., Izumi, D., Iwakiri, U., Umeno, T, Rikuto Kawashima, Koyo Magata, Takaaki Tanaka, Hiromasa Suzuki, Takayoshi Kohmura, Kouichi Hagino, Masatoshi Kitajima
  • Organizer: SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation 2022
  • Invited
• [Presentation] Proton radiation damage tolerance of wide dynamic range SOI pixel detectors (2022)
  • Author(s): Shun Tsunomachi, Takayoshi Kohmura, Kouichi Hagino, Masatoshi Kitajima, Toshiki Doi, Asuka Ohira, Daiki Aoki, Yasuyuki Shimizu, Kaito Fujisawa, Shizusa Yamazaki,et al
  • Organizer: SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation 2022
  • Invited
• [Presentation] Design study and spectroscopic performance of SOI pixel detector with a pinned depleted diode structure for X-ray astronomy (2022)
  • Author(s): M. Yukumoto, K. Mori, A. Takeda, Y. Nishioka, K. Mieda, S. Yonemura, T. Ishida, D. Izumi, U. Iwakiri, T. Umeno, T. G. Tsuru, H. Uchida, Y. Amano, K. Kayama, M. Matsuda, I. Kurachi , Y. Arai T. Kohmura, M. Kitajima, T. Doi, et al
  • Organizer: 23rd International Workshop on Radiation Imaging Detectors
  • Invited
• [Presentation] 宇宙X線観測用X線検出器の放射線耐性の評価 (2022)
  • Author(s): 幸村孝由, 北島隼正, 角町駿, 土居俊輝, 武居悠貴, 清水真, 萩野浩一, 鶴剛, 内田裕之, 上ノ町水紀, 天野雄輝, 佳山一帆, 松田真宗, 他
  • Organizer: 2021年度HIMAC共同利用研究成果発表会
• [Remarks]
  • URL: https://www.rs.tus.ac.jp/tkohmura/index.html