Project/Area Number |
23K22648
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
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Research Institution | Tokyo Metropolitan University |
Principal Investigator |
金子 新 東京都立大学, システムデザイン研究科, 教授 (30347273)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
河野 貴裕 東京都立大学, システムデザイン研究科, 助教 (30801790)
角田 陽 東京工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (60224359)
武田 伊織 法政大学, 理工学部, 助手 (70792266)
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Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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Budget Amount *help |
¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000)
Fiscal Year 2024: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000)
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Keywords | トランスファプリント / 光触媒 / 常温接合 / 接着力 / 薄膜 |
Outline of Research at the Start |
安全安心な社会システムを構築するため,様々な機器へ多種多様なセンサの搭載が進んでおり,多品種小量生産かつ低環境負荷なMEMS作製技術の開発が求められている.トランスファプリントは有力な候補技術の1つで,薄膜(蒸着・スパッタ膜,粒子膜)をスタンプで転写してナノ・マイクロスケールの構造を作製する.トランスファプリントの実用化・応用範囲拡大には形状精度と歩留まりの向上が課題だが,その主因子であるスタンプ-薄膜および薄膜-基板の接着性の制御技術が未確立である.そこで本研究では,光触媒と常温接合をトランスファプリントに応用し,薄膜の接着力減少または増加を発現させて上記課題の解決を目指す.
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